【技术实现步骤摘要】
一种等离子气相沉积制备疏水膜的方法
[0001]本专利技术涉及一种等离子气相沉积制备疏水膜的方法，属于疏水材料制备领域。
技术介绍
[0002]20世纪60年代中期，有学者利用电子显微镜发现荷叶表面的结构形态，由此解开了荷叶疏水的秘密。在此之后的几十年间，疏水材料成为研究者们关注的重点。材料的疏水性能与表面结构、材料组成、润湿性均有一定的关系。可以通过增加材料表面粗糙度和降低材料表面能这两种手段可以达到疏水目的。层层组装、溶液浸泡以及电化学方法都是常用的疏水膜制备方法，但其存在工艺复杂、不适合大批量生产等问题。等离子气相沉积技术作为一种新兴和发展中的技术，工艺简单，易于掌握，适合大规模生产，可以采用不同结构的化合物制备多功能的疏水材料，在镀膜方面具有广阔的应用前景。
[0003]由于疏水表面独特的润湿性，水滴很难在疏水表面停留，因此疏水材料在众多领域有广阔的应用前景，例如防雾防水玻璃、防水织物、自清洁衣物、污水处理等。目前疏水材料通常为含氟材料，对人体和环境存在潜在危害，尤其是氟化物对眼、鼻、皮肤具有强烈的刺激及腐蚀...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种等离子气相沉积制备疏水膜的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：基材的活化处理；将镀膜材料汽化；所述镀膜材料具有对称结构且含有硅元素；将汽化的镀膜材料通入反应腔，开启射频电源，设定射频功率和真空度，以在基材表面沉积镀膜材料形成疏水膜。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述镀膜材料为六甲基二硅氧烷、六甲基二硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、八甲基环四硅氧烷中的至少一种。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，采用脉冲波的方式进行镀膜材料的沉积；该沉积过程中，提供等离子体的电源为射频电源，电源功率为200
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300W，反应腔的温度控制在40
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60℃，真空度保持在0.01
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0.2mbar之间。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，沉积时间为20
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40min。5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，将镀膜材料在加热杯中汽化，加热杯的加热温度是50
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100℃。6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁宸，吕伟桃，毛静静，李嘉惠，莫德禧，
申请(专利权)人：佛山市思博睿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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