用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备制造技术

本发明专利技术涉及激光的测量和光学检测领域。用于测量激光的斐索干涉波长计，平行光束中的一部分光经过由平板后经过第一楔板结构形成密干涉条纹图像；平行光束中的另一部分光经过由平板后经过第二楔板结构形成疏干涉条纹图像；密干涉条纹图像、疏干涉条纹图像经过成像物镜成像在图像摄取装置上，分析装置对密干涉条纹图像数据、疏干涉条纹图像数据，进行分析获得入射激光的波长。光学设备，利用所述的用于测量激光的斐索干涉波长计测量激光源，并根据测量结果校准激光源。本发明专利技术提高波长测试精度、系统内部无运动部件、结构牢固可靠，稳定性好。稳定性好。稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备


[0001]本专利技术涉及激光的测量和光学检测领域，特别是用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备。

技术介绍

[0002]激光因其优异的特性，在各个领域大放异彩。
[0003]激光波长计可以测量激光的波长，可以检验校验激光源，是激光工业的基础，影响包括但不限于国防、军工、工业、高精尖工业、科技研究、环保、食品安全、生物医学、医疗、精准测量、检测分析；具有重要的应用价值和战略价值。
[0004]激光波长测量大多都基于干涉原理,目前典型的商品化波长计有迈克尔逊干涉型、斐索干涉型和F
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Р干涉型等，其中斐索干涉型波长计相比于迈克尔逊干涉波长计，内部无运动部件，稳定性更好，耐用。
[0005]斐索干涉型波长计由于稳定性好、耐用，是全世界范围内使用广泛的波长计，由于知识产权和工业实力的原因，全世界的斐索干涉型波长计一直被美国企业所垄断；且对中国禁运，对中国的激光行业发展速度造成了负面影响。
[0006]传统的斐索干涉型波长计采用双平板斐索干涉模块，只有一个楔，该型波本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于测量激光的斐索干涉波长计，用于测量待测激光的波长，其特征在于：包括由沿光轴依序设置有准直物镜（2）、干涉模块（3）、成像物镜（4）、图像摄取装置（5）和分析装置（6）相连；其中干涉模块由平板（31）和楔板组件（32）组成；楔板组件（32）具有第一楔板结构（321）和第二楔板结构（322）；第一楔板结构（321）与平板（31）之间具有第一楔角（A1）；第二楔板结构（322）与平板（31）之间具有第二楔角（A2）；第一楔角（A1）的角度大于第二楔角（A2）的角度；第一楔板结构（321）具有首端和尾端，第一楔板结构（321）的首端到平板（31）的距离小于第一楔板结构（321）的尾端到平板（31）的距离；第二楔板结构（322）具有首端和尾端，第二楔板结构（322）的首端到平板（31）的距离小于第二楔板结构（322）的尾端到平板（31）的距离；第一楔板结构（321）的尾端到平板（31）的距离等于第二楔板结构（322）的首端到平板（31）的距离；待测激光经过准直物镜（2）后形成平行光束；平行光束中的一部分光经过由平板后经过第一楔板结构（321）形成密干涉条纹图像（M）；平行光束中的一部分光经过由平板后经过第二楔板结构（322）形成疏干涉条纹图像（S）；密干涉条纹图像（M）、疏干涉条纹图像（S）经过成像物镜（4）成像在图像摄取装置上，分析装置（6）从图像摄取装置（5）获得密干涉条纹图像数据、疏干涉条纹图像数据；分析装置（6）对密干涉条纹图像数据（M）、疏干涉条纹图像数据（S），进行分析获得入射激光的波长。2.如权利要求1所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：第一楔板结构（321）的尾端与第二楔板结构（322）的首端相接。3.如权利要求1或权利要求2所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：干涉模块（3）与图像摄取装置的靶面关于成像物镜共轭。4.如权利要求1所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：还包括入射光纤（1），待测激光发出的光束经过入射光纤（1）导入；入射光纤（1）的光纤头在准直物镜（2）的前焦点（J）位置发出，在准直物镜后形成平行光束。...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟鑫，毛桂林，王周兵，刘艺璇，徐斌豪，杨培津，
申请(专利权)人：江苏师范大学，
类型：发明
国别省市：