一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，包括连接管和负压真空泵，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵的出去口连接，所述连接管上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀，所述连接管上设有截止球阀和真空压力表。本实用新型专利技术真空负压装置结构简单，操作方便，制造成本低，可用于特气管道的进行五项测试前的清洗、检漏预测试以及日常检修维护和清洗，填补了特气管道定期检修维护和清洗设备的空白。的空白。的空白。

【技术实现步骤摘要】
一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置


[0001]本技术涉及特气输送
，特别是一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置。

技术介绍

[0002]特气（又称电子气体）是半导体、微电子、太阳能电池等高科技行业必不可少的耗材，被广泛用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、清洗等工艺的反应气或者载气。随着半导体和微电子技术的发展，对特气的纯度要求越来越高。为保证特气纯度，一方面需要提升特气纯度，目前气体纯化技术可制备8N
‑
9N纯度的特气。另一方面特气需要通过特气管道输送至使用端，特气管道的洁净度和密封性，防止特气输送过程中的污染对保证特气纯度也至关重要。
[0003]特气管道的材质为不锈钢材质，在不锈钢炼制过程中，每吨不锈钢可吸收高达200g左右的气体，在管道成型过程中，不锈钢表面也会沾染颗粒等污物，这些吸附的气体和污物会污染在管道中流动的特气。此外不锈钢管道需要焊接，若焊口密封性不佳，空气也会渗透进管道污染特气。因此特气管道的清洗和密封性对于保证特气纯度至关重要。特气管道工程安装结束后，需要进行压力测试、氦检漏测试、颗粒测试、水分测试、氧分测试，当五项测试合格后，特气管道工程才被认定合格。特气管道在日常使用过程中，需要定期检修维护和清洗，目前尚无专用设备。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种结构简单，操作方便，制造成本低的用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置。
[0005]本技术采用以下方案实现：一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，包括连接管和负压真空泵，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵的出去口连接，所述连接管上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀，所述连接管上设有截止球阀和真空压力表。
[0006]进一步的，所述连接管上旁接有与其连通的支管，真空压力表连接于支管端部。
[0007]进一步的，所述连接管、排空管和支管均采用EP级不锈钢管。
[0008]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：本技术真空负压装置结构简单，操作方便，制造成本低，可用于特气管道的进行五项测试前的清洗、检漏预测试以及日常检修维护和清洗，填补了特气管道定期检修维护和清洗设备的空白。
[0009]为使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下将通过具体实施例和相关附图，对本技术作进一步详细说明。
附图说明
[0010]图1是本技术实施例构造示意图；
[0011]图中标号说明：1
‑
负压真空泵、2
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截止球阀、3
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真空压力表、4
‑
排空球阀、5
‑
连接
管。
具体实施方式
[0012]应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0013]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0014]如图1所示，一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，包括连接管5和负压真空泵1，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵1的出去口连接，所述连接管5上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀4，所述连接管上设有截止球阀2和真空压力表3；该真空负压装置结构简单，操作方便，制造成本低，可用于特气管道的进行五项测试前的清洗、检漏预测试以及日常检修维护和清洗，填补了特气管道定期检修维护和清洗设备的空白。
[0015]可检测外部气体是否漏入管道内：用此装置将特气管道内的气体压力抽至负压，进行保压测试，但特气管道的气密性不佳时，空气会渗入特气管道，导致真空压力表示数上升。如果特气管道气密性良好，则真空压力表示数不变。
[0016]可用于特气管道的清洗：用此装置将管道抽成负压，然后向管道中通入清洗气体（一般为高纯氮气），如此循环往复清洗特气管道中吸附的气体、水分以颗粒物。
[0017]在本实施例中，所述连接管上旁接有与其连通的支管，真空压力表连接于支管端部。
[0018]在本实施例中，所述连接管、排空管和支管均采用EP级不锈钢管。
[0019]本技术用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置使用方法如下：
[0020]1、用于检测外部气体是否漏入特气管道内：
[0021]（1）将真空负压装置与特气管道连接；
[0022]（2）关闭气源阀门；
[0023]（3）打开特气管道中所有阀门，保证气源阀门至真空负压装置所有管道畅通。
[0024]（4）打开真空负压装置的排空球阀；
[0025]（5）观察压力真空表，压力为1bar时关闭排空球阀；
[0026]（6）打开负压真空泵的电源；
[0027]（7）打开真空负压装置的截止球阀；
[0028]（8）观察压力真空表的压力，当真空压力表压力不再下降时，根据特气管道的长度，继续抽真空30
‑
60分钟；
[0029]（9）关闭真空负压装置截止球阀；
[0030]（10）关闭负压真空泵；
[0031]（11）记录压力真空表的读数，保压24小时以上，压力真空表的读数不变为合格，压力上升为不合格。
[0032]2、用于特气管道的清洗：
[0033]（1）将真空负压装置与特气管道连接，关闭真空负压装置的排空球阀与截止球阀，打开负压真空泵电源；
[0034]（2）将清洗管道的高纯氮气连接在特气管道供气气源；
[0035]（3）打开管道中所有阀门，保证气源手阀至真空负压装置所有管道畅通；
[0036]（4）打开高纯氮气气源开关，调节高压调压阀、终端调压阀，保证输出压力为4bar左右，关闭高纯氮气气源开关；
[0037]（5）打开真空负压装置排空球阀，观察压力真空表的压力为1bar时关闭排空球阀；
[0038]（6）打开真空负压装置的截止球阀；
[0039]（7）观察压力真空表的压力，当压力不再下降时，再抽真空10分钟以上，关闭真空负压装置的截止球阀；
[0040]（8）打开高纯氮气气源开关，观察压力真空表的压力为4bar时，1分钟后关闭高纯氮气气源开关；
[0041]（9）重复5
‑
8步操作10
‑
15次；
[0042]（10）关闭特气管道与真空负压装置连接处的手阀；
[0043]（11）关闭负压真空泵电源；
[0044]（本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于无尘洁净室特气管道清洗和检漏的真空负压装置，其特征在于：包括连接管和负压真空泵，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵的出去口连接，所述连接管上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀，所述连接管上设有截止球阀和真空压力表。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李调阳，陈国圣，林本慧，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：新型
国别省市：