一种红外光学窗口及光学透镜外表面上增透膜的制作方法技术

一种红外光学窗口及光学透镜外表面上增透膜的制备方法，涉及光学薄膜制备技术领域，对增透膜基体清洗后，打开镀膜机的电源、启动机械泵，打开预阀将镀膜机内的废气抽出；再对增透膜基体抽高真空，到100Hz时，关闭低阀依次打开预阀和高阀，恢复真空达到6.0

【技术实现步骤摘要】
一种红外光学窗口及光学透镜外表面上增透膜的制作方法


[0001]本专利技术涉及光学薄膜制备
，尤其是涉及一种用于红外光学窗口及光学系统透镜外表面的高强硬质增透膜的制作方法。

技术介绍

[0002]公知的，针对红外光学窗口及光学系统透镜外表面需要具备一定的抗环境侵蚀的能力，又要保证光学系统冷反射不影响成像，传统的硬膜膜系ZNS、氟化镱和Ge，在外表面镀制氧化锆，膜层较硬，具备一定的抗环境侵蚀能力，但长期的环境侵蚀对膜层仍具有腐蚀性。

技术实现思路

[0003]为了克服
技术介绍
中的不足，本专利技术公开了一种红外光学窗口及光学透镜外表面上增透膜的制作方法。
[0004]为了实现所述专利技术目的，本专利技术采用如下技术方案：一种红外光学窗口及光学透镜外表面上增透膜的制备方法，具体包括如下步骤：（1）、对增透膜基体清洗后，打开镀膜机的电源、启动机械泵，打开预阀将镀膜机内的废气抽出；（2）、打开低阀将增透膜基体放入镀膜机的真空室内抽低真空为3.0
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4.0E
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3pa；（3）、再对增透膜基体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种红外光学窗口及光学透镜外表面上增透膜的制备方法，其特征是：具体包括如下步骤：（1）、对增透膜基体清洗后，打开镀膜机的电源、启动机械泵，打开预阀将镀膜机内的废气抽出；（2）、打开低阀将增透膜基体放入镀膜机的真空室内抽低真空为3.0
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4.0E
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3pa；（3）、再对增透膜基体抽高真空，到100Hz时，关闭低阀依次打开预阀和高阀，恢复真空达到6.0
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6.5E
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3Pa ；（4）、在真空室内对增透膜基体进行加热，加热温度为250
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270℃，保持55
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65min；并对真空室进行气流控制，接通反应气体流量计，流量设定（3.0+/
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0.5）sccm；（5）、将用于涂膜层的氧化锆、二氧化硅和二氧化钛分别放入镀膜机的三个坩埚内，打开离子源控制电源，检查各个指针归零；调节屏极在（250+/
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5）V，调节各级电流、电压，使束流值稳定在（80+/
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5）V，在样品进行膜层蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：李双双，黄江波，
申请(专利权)人：洛阳微米光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：