双压力传感器制造技术

本申请公开了双压力传感器。一种控制器(120)，被配置成用于监测压力传感器组件(110)的干扰，所述压力传感器组件(110)包括至少两个传感器(112、114)，其中传感器(112、114)被配置成用于测量压力，并且其中至少两个传感器(112、114)具有传感器相关的针对压力的测量灵敏度Sm，并且传感器(112、114)中的至少一个传感器对具有传感器相关的干扰灵敏度Sd的干扰敏感，其中对于至少两个传感器(112、114)，测量灵敏度和干扰灵敏度的比率Sm/Sd是不同的，控制器(120)被配置成用于通过比较至少两个传感器的输出来检测干扰。器的输出来检测干扰。器的输出来检测干扰。

【技术实现步骤摘要】
双压力传感器


[0001]本专利技术涉及压力传感器领域。更具体地说，本专利技术涉及一种传感器系统和控制器，其被配置成用于监测压力传感器组件的干扰。

技术介绍

[0002]压力传感器可包括组织在膜上的多个元件，诸如例如应力敏感元件或应变敏感元件。当膜因该膜两侧之间的压差变化而偏转时，这可能导致敏感元件的电阻率变化。这种变化可导致压力传感器信号的变化，该信号可用作膜两侧之间压差的指示。
[0003]此类压力传感器可用于安全关键应用，诸如例如用于汽车应用。汽车安全完整性等级(ASIL)是由ISO 26262
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道路车辆功能安全标准定义的风险分类方案。在该标准中定义了不同的等级。ASIL
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D代表保证最终的安全要求时所应用的最高程度的汽车危险和最高程度的严格性。功能安全度量在每个系统的FMEDA(故障模式、影响和诊断分析)中计算。
[0004]需要两个传感器以制造ASIL
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D集成压力传感器。冗余是提高功能安全性的关键概念，但由于常见的原因故障，冗余可能不足够，尤其是不足以达到ASI本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种被配置成用于监测压力传感器组件(110)的干扰的控制器(120)，所述压力传感器组件(110)包括至少两个传感器(112、114)，其中所述传感器(112、114)被配置成用于测量压力，并且其中所述至少两个传感器(112、114)具有传感器相关的针对所述压力的测量灵敏度Sm，并且所述传感器(112、114)中的至少一个传感器对具有传感器相关的干扰灵敏度Sd的干扰敏感，其中对于所述至少两个传感器(112、114)，所述测量灵敏度和所述干扰灵敏度的比率Sm/Sd是不同的，所述控制器(120)被配置成用于通过比较所述至少两个传感器的输出来检测所述干扰。2.一种用于测量压力的传感器系统(100)，所述传感器系统(100)包括：
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压力传感器组件(110)，包括至少两个传感器(112、114)，其中所述传感器(112、114)被配置成用于测量所述压力，并且其中每个传感器(112、114)具有传感器相关的针对所述压力的测量灵敏度Sm，并且所述传感器中的至少一个传感器对具有传感器相关的干扰灵敏度Sd的干扰敏感，其中对于所述至少两个传感器(112、114)，所述测量灵敏度和所述干扰灵敏度的比率Sm/Sd是不同的，
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根据权利要求1所述的控制器(120)，被配置成用于监测所述压力传感器组件(110)的干扰。3.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器(112、114)在同一衬底上制成。4.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器(112、114)使用所述相同的感测原理。5.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器(112、114)针对所述压力具有不同的灵敏度。6.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中至少一个传感器(112、114)对所述干扰基本不敏感。7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：迈来芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：