图像感测器及其形成方法技术

本发明专利技术实施例提出一种图像感测器及其形成方法，图像感测器的形成方法包括提供基底，包括多个感测部；形成彩色滤光层于基底上；形成微透镜材料层于彩色滤光层上；以及形成硬掩模图案于微透镜材料层上，其中硬掩模图案具有第一间隙和大于第一间隙的第二间隙。图像感测器的形成方法包括回流硬掩模图案以形成多个圆盖物；将圆盖物转移至微透镜材料层以形成多个微透镜；以及形成顶膜顺应性地于微透镜上。以及形成顶膜顺应性地于微透镜上。以及形成顶膜顺应性地于微透镜上。

【技术实现步骤摘要】
图像感测器及其形成方法


[0001]本专利技术实施例涉及图像感测器及其形成方法，尤其涉及图像感测器的微透镜的配置。

技术介绍

[0002]图像感测器，如互补式金属氧化物半导体图像感测器(complementary metal oxide semiconductor image sensor,CIS)，被广泛地运用在图像拍摄设备中，如数字静止图像相机、数字摄影相机以及其他类似设备。图像感测器的光感测部可检测环境中的色彩变化，并可根据光感测部接收到的光量产生信号电荷。此外，可传输并放大在光感测部中所产生的信号电荷，从而获得图像信号。
[0003]基于工业需求，像素尺寸持续地缩小。为了维持高等级的性能，可将一组相位差自动对焦(phase difference auto focus,PDAF)像素与传统的像素整合。这组相位差自动对焦像素接收到的光可通过彩色滤光器汇聚，并收集在底部对应的感测部，而装置的图像对焦则可被检测到。然而，具有缩小的像素尺寸的图像感测器可能遭受到精准度有些许偏移，其可显著地图像元件的整体性能。因此，上述及相关问题需要通过图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图像感测器的形成方法，包括：提供一基底，包括多个感测部；形成一彩色滤光层于该基底上；形成一微透镜材料层于该彩色滤光层上；形成一硬掩模图案于该微透镜材料层上，其中该硬掩模图案具有一第一间隙和大于该第一间隙的一第二间隙；回流该硬掩模图案以形成多个圆盖物；将多个所述圆盖物转移至该微透镜材料层以形成多个微透镜；以及形成一顶膜顺应性地于多个所述微透镜上。2.如权利要求1所述的图像感测器的形成方法，其中该基底还包括多个深沟槽隔离结构将多个所述感测部分隔开，其中形成多个所述深沟槽隔离结构定义一自动对焦感测单元的尺寸。3.如权利要求2所述的图像感测器的形成方法，其中两个或更多该自动对焦感测单元构成一组自动对焦感测单元，在形成该彩色滤光层于该基底上之前，还包括形成一网格结构于该彩色滤光层内，其中该网格结构围绕该组自动对焦感测单元。4.如权利要求3所述的图像感测器的形成方法，在形成该网格结构之前，还包括形成一遮光结构埋入于该网格结构内，其中形成该硬掩模图案的步骤包括形成该第一间隙于该网格结构内，其中形成该硬掩模图案的步骤包括形成该第二间隙于该网格结构正上方。5.如权利要求2所述的图像感测器的形成方法，其中该第一间隙在该自动对焦感测单元的尺寸的10％和20％之间，且该第二间隙在该自动对焦感测单元的尺寸的30％和40％之间。6.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：林桂安，林绮涵，
申请(专利权)人：采钰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：