承载平台及检测设备制造技术

本申请提供了一种承载平台及检测设备，包括：支撑台；承载件，具有承载端面，所述承载端面用于承载工件；接料结构，包括若干个接料件，每一所述接料件的一端设置于所述支撑台上，另一端沿竖直方向活动穿设于所述承载件上并相互配合形成与所述承载端面相平行的接料端面；以及承载驱动件，设置于所述支撑台上，且所述承载驱动件与所述承载件驱动连接，用于驱动所述承载件相对于接料件沿竖直方向运动，以改变所述承载端面相对于所述接料端面在竖直方向上的位置。可看出，本申请的承载平台能够实现对工件的自动化上下料，并且兼容性高，结构简单。单。单。

【技术实现步骤摘要】
承载平台及检测设备


[0001]本申请属于晶圆检测
，更具体地说，是涉及一种承载平台及检测设备。

技术介绍

[0002]随着集成电路应用的多元化发展，智能手机、物联网、汽车电子、高性能计算、5G、人工智能等新兴领域对芯片的需求量呈指数级增长，对芯片的质量和可靠性也提出了更高要求。在许多产品应用中，对芯片缺陷和故障是零容忍。
[0003]所以，在将晶圆分割成芯片前需要对晶圆进行缺陷和尺寸进行检测，例如对晶圆的脏污、划伤、破损、bump缺失等进行检测，以及对晶圆的线宽线距、球高球径等重要尺寸进行检测，以减少分割后不良品出现，提高产品良率。因此需要承载平台对晶圆进行承载，以便于检测设备对晶圆进行检测，但是现有承载平台结构复杂，不便于晶圆的上下料。

技术实现思路

[0004]本申请在于提供承载平台及检测设备，以解决上述
技术介绍
所提到的技术问题。
[0005]本申请采用的技术方案是一种承载平台，包括：
[0006]支撑台；
[0007]承载件，具有承载端面，所述承载端面用于承载工件；
[0008]接料结构，包括若干个接料件，每一所述接料件的一端设置于所述支撑台上，另一端沿竖直方向活动穿设于所述承载件上并相互配合形成与所述承载端面相平行的接料端面；以及
[0009]承载驱动件，设置于所述支撑台上，且所述承载驱动件与所述承载件驱动连接，用于驱动所述承载件相对于接料件沿竖直方向运动，以改变所述承载端面相对于所述接料端面在竖直方向上的位置。
[0010]可看出，本申请的承载平台通过承载驱动件驱动承载件相对于接料件在竖直方向运动的方式，以改变承载端面与接料端面在竖直方向的位置关系，将工件的上料过程分成接料过程和承接过程，能够很好地防止上料装置与承接件之间发生干涉，实现对工件的自动化上下料，并且兼容性高，结构简单。
[0011]此外，当承载平台设置于检测设备或加工设备上时，由于本申请的承载平台采用的是承载驱动件驱动承载件相对于接料件运动的方式，当承载端面承接接料端面上的工件后，还可通过承载驱动件继续驱动承载件沿竖直方向运动的方式，即可调节工件与检测组件或与加工组件之间在竖直方向的距离，而不需要再额外设置一个升降装置进行调节，能够很大程度地降低检测设备和加工设备的成本。
[0012]进一步地，所述承载件上设置有吸附结构，当所述承载端面与工件接触时，所述吸附结构对所述工件进行吸附。
[0013]进一步地，还包括定位结构，所述定位结构包括定位件和压紧件；其中，
[0014]所述定位件和压紧件分别相对设置于所述承载端面的两端，并且所述压紧件可朝
靠近所述定位件的方向移动，以推动所述工件卡持于所述定位件上。
[0015]进一步地，所述定位件上靠近压紧件的一侧设置有定位槽，所述压紧件带动所述工件卡持于所述定位槽内。
[0016]进一步地，两个所述定位柱之间的距离小于所述承载端面所能承载最小尺寸工件的直径。
[0017]进一步地，在所述承载件上设置有便于所述压紧件移动的避空孔。
[0018]进一步地，所述接料结构还包括接料安装件，所述接料安装件设置于所述支撑台上，并与所述接料件可拆卸连接。
[0019]进一步地，还包括若干个缓冲结构，所述缓冲结构设置于所述支撑台上，当所述承载驱动件驱动承载件沿竖直向下运动时，所述缓冲结构对所述承载件进行缓冲。
[0020]一种检测设备，包括工作台、驱动组件、检测组件以及如上所述的承载平台；其中，
[0021]所述检测组件和承载平台分别设置于所述工作台上，且所述检测组件和承载平台能够在驱动组件的作用下进行相对运动，以使所述检测组件对承载平台上的工件进行检测。
[0022]可看出，本申请的检测设备采用上述所提到的承载平台，能够实现对承载平台上所承载的工件进行检测，并且检测设备所采用的驱动组件可以是沿水平方向移动的二维运动平台，而不需要再设置升降装置也能够实现工件在三维方向上的运动，降低整个检测设备的成本。
[0023]进一步地，所述检测组件包括检测安装件和第一检测结构；
[0024]其中，所述第一检测结构包括第一检测件和第二检测件，所述第一检测件和第二检测件分别通过所述检测安装件设置于所述工作台上，所述第一检测件用于检测所述工件的缺陷，所述第二检测件用于检测所述工件的脏污。
[0025]进一步地，所述第一检测结构还包括检测光路，所述检测光路上设置有第一进光口、第一出光口和第二出光口；其中，
[0026]所述第一检测件与所述第一出光口连接，所述第二检测件与所述第二出光口连接；以及
[0027]在所述检测光路内对应所述第一出光口和第二出光口的位置上还设置有第一反射镜；
[0028]所述工件上反射的光线经所述第一进光口进入检测光路后，一部分所述光线穿过所述第一反射镜并经第一出光口进入所述第一检测件，另一部分所述光线经所述第一反射镜反射并经第二出光口进入所述第二检测件。
[0029]进一步地，所述第一检测结构还包括内光源，所述检测光路上设置有第二进光口，所述内光源与所述第二进光口连接；以及
[0030]在所述检测光路内对应所述第二进光口的位置上还设置有第二反射镜，所述内光源发射的照明光经所述第二进光口进入检测光路后，通过所述第二反射镜的反射，使该光线经由所述第一进光口射出至所述工件上。
[0031]进一步地，所述第一检测结构还包括外光源，所述外光源活动设置于所述第一进光口处，用于直接向所述工件发射照明光。
[0032]进一步地，所述第一检测结构还包括物镜切换器，所述物镜切换器设置于所述第
一进光口处，所述工件上反射的光线经所述物镜切换器上所切换的物镜后进入到所述第一进光口。
[0033]进一步地，所述检测组件还包括第二检测结构，所述第二检测结构通过所述检测安装件设置于所述工作台上，用于检测所述工件的尺寸。
[0034]进一步地，所述检测组件还包括角度调节件，所述第二检测结构通过所述角度调节件活动设置于所述检测安装件上。
附图说明
[0035]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0036]图1为本申请实施例提供的承载平台的结构示意图；
[0037]图2为图1所示承载平台中压紧件与压紧驱动件的结构示意图；
[0038]图3为图1所示承载平台中接料结构的结构示意图；
[0039]图4为本申请实施例提供的检测设备的结构示意图；
[0040]图5为图4所示检测设备中检测组件的结构示意图；
[0041]图6为图5所示检测组件中第一检测结构的结构示意图；
[0042]图7为图6所示检测组件中第一检测结构的原理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种承载平台，其特征在于，包括：支撑台；承载件，具有承载端面，所述承载端面用于承载工件；接料结构，包括若干个接料件，每一所述接料件的一端设置于所述支撑台上，另一端沿竖直方向活动穿设于所述承载件上并相互配合形成与所述承载端面相平行的接料端面；以及承载驱动件，设置于所述支撑台上，且所述承载驱动件与所述承载件驱动连接，用于驱动所述承载件相对于接料件沿竖直方向运动，以改变所述承载端面相对于所述接料端面在竖直方向上的位置。2.如权利要求1所述的承载平台，其特征在于，所述承载件上设置有吸附结构，当所述承载端面与工件接触时，所述吸附结构对所述工件进行吸附。3.如权利要求1或2所述的承载平台，其特征在于，还包括定位结构，所述定位结构包括定位件和压紧件；其中，所述定位件和压紧件分别相对设置于所述承载端面的两端，并且所述压紧件可朝靠近所述定位件的方向移动，以推动所述工件卡持于所述定位件上。4.如权利要求3所述的承载平台，其特征在于，所述定位件上靠近压紧件的一侧设置有定位槽，所述压紧件带动所述工件卡持于所述定位槽内。5.如权利要求4所述的承载平台，其特征在于，所述定位件包括定位安装板和至少两个定位柱，所述定位安装板设置于承载件上，两个定位柱分别设置于定位安装板靠近压紧的一端并形成所述定位槽，且两个所述定位柱之间的距离小于所述承载端面所能承载最小尺寸工件的直径。6.如权利要求4所述的承载平台，其特征在于，在所述承载件上设置有便于所述压紧件移动的避空孔。7.如权利要求1或2所述的承载平台，其特征在于，所述接料结构还包括接料安装件，所述接料安装件设置于所述支撑台上，并与所述接料件可拆卸连接。8.如权利要求1或2所述的承载平台，其特征在于，还包括若干个缓冲结构，所述缓冲结构设置于所述支撑台上，当所述承载驱动件驱动承载件沿竖直向下运动时，所述缓冲结构对所述承载件进行缓冲。9.一种检测设备，其特征在于，包括工作台、驱动组件、检测组件以及如权利要求1～8任意一项所述的承载平台；其中，所述检测组件和承载平台分别设置于所述工作台上，且所述检测组件和承载平台能够在驱动组件的作用下进行相对运动，以使所述检测组...

【专利技术属性】
技术研发人员：高泂，邱国良，周志坚，杜荣钦，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：