本实用新型专利技术公开了易碎材料用真空吸盘以及真空吸附装置，该易碎材料用真空吸盘包括：基座，基座上开设有用于连接真空发生器的第一孔部，基座的下部开设有多个第二孔部，第二孔部和第一孔部连通；吸附件，设置在基座的下部，吸附件上开设有多个第三孔部，各第三孔部分别和各第二孔部一一相对；吸附件的材料为邵氏硬度A在40度以下的海绵材料，且在未受压的情况下，吸附件的厚度为5mm以上。根据该易碎材料用真空吸盘，能够至少一定程度上抑制真空吸盘抵接易碎材料时候的作用力，降低易碎材料破碎的风险。风险。风险。
【技术实现步骤摘要】
易碎材料用真空吸盘以及真空吸附装置
[0001]本技术涉及气动
，尤其涉及易碎材料用真空吸盘以及真空吸附装置。
技术介绍
[0002]目前，真空吸盘作为用于吸取零部件的重要的气动部件，广泛应用于自动化设备当中。在这些设备当中，真空吸盘起到机械手的末端的手指的作用，能够用于吸取例如：TPT复合膜、易碎贴、作为太阳能电池的衬底的硅片以及玻璃片、晶圆等片状且轻盈的材料。
[0003]然而，由于TPT复合膜、易碎贴、作为太阳能电池的衬底的硅片以及玻璃片、晶圆等片状时，由于这些部件厚度非常薄且极容易破碎，现有的真空吸盘在吸附这些薄且易碎的部件时，经常会出现由于真空吸盘抵接产品的力度过大等导致部件破碎的情况。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此，本技术提出了一种易碎材料用真空吸盘，能够至少一定程度上抑制真空吸盘抵接易碎材料时候的作用力，降低易碎材料破碎的风险。此外，本技术还提出了使用该真空吸盘的真空吸附装置。
[0005]根据本技术第一方面的易碎材料用真空吸盘，包括：
[0006]基座，所述基座上开设有用于连接真空发生器的第一孔部，所述基座的下部开设有多个第二孔部，所述第二孔部和所述第一孔部连通；吸附件，设置在所述基座的下部，所述吸附件上开设有多个第三孔部，各所述第三孔部分别和各所述第二孔部一一相对；所述吸附件的材料为邵氏硬度A在40度以下的海绵材料，且在未受压的情况下，所述吸附件的厚度为5mm以上。
[0007]根据本技术的易碎材料用真空吸盘，具有如下有益效果：能够至少一定程度上抑制真空吸盘抵接易碎材料时候的作用力，降低易碎材料破碎的风险。
[0008]在一些实施例中，所述吸附件的材料为发泡海绵材料。
[0009]在一些实施例中，所述吸附件的邵氏硬度A为28度以上且32度以下。
[0010]在一些实施例中，所述吸附件的厚度为12mm以下。
[0011]在一些实施例中，所述吸附件通过粘接件贴附到所述基座的下部。
[0012]在一些实施例中，多个所述第二孔部在所述基座的下部沿前后方向形成有多排，相邻的两排所述第二孔部沿左右方向相互错位。
[0013]在一些实施例中，所述第二孔部在所述基座的下表面的位置的直径为0.5mm以下。
[0014]在一些实施例中，所述基座的下部开设有多个凹部，所述第二孔部分别开设在所述凹部内。
[0015]在一些实施例中，所述第三孔部的直径大于所述凹部在基座的下表面的位置的直径。
[0016]根据本技术第二方面的真空吸附装置，包括：真空发生器以及上述任一项的易碎材料用真空吸盘，所述易碎材料用真空吸盘通过所述基座的第一孔部和所述真空发生器的输出端连通。
附图说明
[0017]图1是本技术第一方面的易碎材料用真空吸盘的一种实施例的仰视方向的立体图。
[0018]图2是图1中的易碎材料用真空吸盘的俯视方向的立体图。
[0019]图3是图2中的A
‑
A处的剖视图。
[0020]图4是本技术第二方面的真空吸附装置的一种实施例的示意图。
具体实施方式
[0021]以下将结合实施例对本实施方式的构思及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实施方式的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实施方式的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实施方式的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实施方式保护的范围。
[0022]在本实施方式实施例的描述中，如果涉及到方位描述，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实施方式的限制。
[0023]在本实施方式实施例的描述中，如果某一特征被称为“设置”、“固定”、“连接”、“安装”在另一个特征，它可以直接设置、固定、连接在另一个特征上，也可以间接地设置、固定、连接、安装在另一个特征上。在本实施方式实施例的描述中，如果涉及到“若干”，其含义是一个以上，如果涉及到“多个”，其含义是两个以上，如果涉及到“大于”、“小于”、“超过”，均应理解为不包括本数，如果涉及到“以上”、“以下”、“以内”，均应理解为包括本数。如果涉及到“第一”、“第二”，应当理解为用于区分技术特征，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0024]参照图1至图3，根据本技术一方面的易碎材料用真空吸盘(为便于说明，后面也会称“真空吸盘”)，包括：基座101和设置在基座101的下部的吸附件102。其中，基座101上开设有用于连接真空发生器200(参照图4，后述)的第一孔部103。基座101的下部开设有多个第二孔部104，第二孔部104和第一孔部103连通。吸附件102上开设有多个第三孔部105，各第三孔部105分别和各第二孔部104一一相对。吸附件102的邵氏硬度A在40度以下(可以通过市售的邵氏A硬度计进行测定)，且在未受压的情况下，吸附件102的厚度为5mm以上。
[0025]根据本实施方式的易碎材料用真空吸盘，能够至少一定程度上抑制真空吸盘抵接易碎材料时候的作用力，降低易碎材料破碎的风险。具体而言，作为易碎材料，包括例如在受到轻微的压力的情况下即有可能碎裂的材料。作为这些易碎材料，可列举：TPT复合膜、易碎贴、作为太阳能电池的衬底的硅片以及玻璃片、晶圆等。
[0026]以硅片的衬底或者晶圆为例，由于其厚度非常薄，且基于硅的材质，其非常容易破碎。在本实施方式中，吸附件102使用海绵材料，由于海绵材料具有多孔状蜂窝结构，且具有
很好的柔软性，因此能够降低吸附件102接触衬底或者晶圆时，撞击衬底或者晶圆的作用力。此外，由于使用海绵材料的吸附件102的邵氏硬度A在40度以下，因此，该吸附件102相当柔软，能够有效地抑制吸附件102和衬底或者晶圆接触时，在衬底或者晶圆的表面所产生的作用力，降低易碎材料破碎的风险。进一步地，由于吸附件102的厚度为5mm以上，因此能够加长吸附件102可缓冲的距离，从而进一步降低易碎材料破碎的风险。另外，由于在基座101上开设有多个第二孔部104，以及在吸附件102上开设有多个第三孔部105，因此，能够根据需要适当地缩小各第二孔部104或者第三孔部105的孔径，确保真空吸附时的可靠性，同时能够增加吸附件102可产生真空吸附力的位置，确保吸附件102能够可靠地吸附这些衬底或者晶圆等的易碎部件。
[0027]基座101可以通过例如铝合金加工而成。基座101的形状并不特别限定，例如可以选择正方体形状、长方体形状或者圆柱状等。第一孔部103可以开设在基座101的上部，第一孔部103直接和真空本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.易碎材料用真空吸盘，其特征在于，包括：基座(101)，所述基座(101)上开设有用于连接真空发生器(200)的第一孔部(103)，所述基座(101)的下部开设有多个第二孔部(104)，所述第二孔部(104)和所述第一孔部(103)连通；吸附件(102)，设置在所述基座(101)的下部，所述吸附件(102)上开设有多个第三孔部(105)，各所述第三孔部(105)分别和各所述第二孔部(104)一一相对；所述吸附件(102)的材料为邵氏硬度A在40度以下的海绵材料，且在未受压的情况下，所述吸附件(102)的厚度为5mm以上。2.根据权利要求1所述的易碎材料用真空吸盘，其特征在于，所述吸附件(102)的材料为发泡海绵材料。3.根据权利要求1所述的易碎材料用真空吸盘，其特征在于，所述吸附件(102)的邵氏硬度A为28度以上且32度以下。4.根据权利要求2或3所述的易碎材料用真空吸盘，其特征在于，所述吸附件(102)的厚度为12mm以下。5.根据权利要求1所述的易碎材料用真空吸盘，其特征在于，所述吸附件...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文鹏，
申请(专利权)人：深圳鹏斐克科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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