太阳能电池的制备方法及太阳能电池技术

本申请提供了一种太阳能电池的制备方法与太阳能电池，所述制备方法包括对硅基底进行第一次制绒后，在硅基底背面制备隧穿层与本征非晶硅层；在所述硅基底背面的第一区域、第二区域分别设置第一掺杂源层、第二掺杂源层；退火，使得第一区域、第二区域分别形成第一掺杂多晶硅层与第二掺杂多晶硅层；再对硅基底的正面进行第二次制绒；并依次进行清洗、镀膜与金属化，得到相应的太阳能电池。上述制备方法通过第一次制绒后在硅基底背面形成相应的绒面结构，再沉积隧穿层与本征非晶硅层，改善后续金属电极与第一掺杂多晶硅层、第二掺杂多晶硅层的接触性能，降低接触电阻；再通过第二次制绒确保所述硅基底正面的减反射性能，提高电池转换效率。转换效率。转换效率。

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池的制备方法及太阳能电池


[0001]本申请涉及太阳能电池生产
，尤其涉及一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池。

技术介绍

[0002]近年，随着光伏技术与市场的快速发展，业内对太阳能电池的转换效率也提出越来越高的需求。TOPCon(Tunnel Oxide Passivated Contact，隧穿氧化层钝化接触)电池通过在表面制备一层超薄的隧穿氧化层和一层掺杂多晶硅层，提高表面钝化性能，有效提升电池的开路电压与短路电流。上述TOPCon电池生产过程中通常包括将硅基底表面清洗、抛光，再依次沉积制备上述隧穿氧化层与掺杂多晶硅层，所述硅基底的表面形态对其表面膜层性能影响较大。业内还公开一种POLO-IBC电池，将上述电池钝化结构与背电池设计相结合，以提高电池转换效率。但整体生产工艺较为复杂，工艺精度要求也比较严格，电池生产成本也较高，产业化应用较为困难。
[0003]鉴于此，有必要提供一种新的太阳能电池的制备方法及太阳能电池。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种太阳能电池的制备方法及太阳能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于：对硅基底进行第一次制绒；在硅基底的背面制备隧穿层与本征非晶硅层；在所述硅基底背面的第一区域、第二区域分别设置第一掺杂源层、第二掺杂源层；退火，使得第一区域、第二区域分别形成第一掺杂多晶硅层与第二掺杂多晶硅层，所述第一掺杂多晶硅层与第二掺杂多晶硅层两者的掺杂类型相反；对硅基底的正面进行第二次制绒；依次进行清洗、镀膜与金属化。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述第一次制绒与第二次制绒均采用碱溶液对硅基底进行刻蚀，所述第一次制绒过程控制所述硅基底的背面的绒面高度介于0.5～1.5μm；所述第二次制绒过程控制所述硅基底的正面的绒面高度介于2～4μm。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述“在所述硅基底背面的第一区域、第二区域分别设置第一掺杂源层、第二掺杂源层”是指在所述硅基底背面的第一区域的本征非晶硅层上设置硼浆，并在所述硅基底背面的第二区域的本征非晶硅层上设置磷浆。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述第一区域包括若干第一条形区，所述第二区域包括若干第二条形区，所述第一条形区与第二条形区依次交替排布且呈相互间隔设置；所述第一条形区与第二条形区两者的宽度均设置为40～500μm，相邻所述第一条形区与第二条形区的间隙宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员：李兵，邵亚辉，罗宇驰，邓伟伟，蒋方丹，
申请(专利权)人：嘉兴阿特斯技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：