再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法技术

本申请涉及再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法，该方法包括以下连续步骤：（a）用软质擦拭物对所述衬里的表面进行湿式研磨；（b）任选地，在40

【技术实现步骤摘要】
再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法


[0001]本申请涉及蚀刻机或PECVD设备的衬里的表面处理
，更特别涉及再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法。

技术介绍

[0002]蚀刻机或PECVD设备的衬里（又称LINER）是用于保护蚀刻机腔体内部免受等离子腐蚀的装置。实际应用中，由于铝合金具备质量轻和含性能良好的氧化膜的优点，通常使用铝合金材质并进行精密的阳极氧化处理（形成氧化膜，又称皮膜）以用作蚀刻机或PECVD设备的衬里。然而，由于蚀刻机腔体内部腐蚀性的气体作用，会导致蚀刻机或PECVD设备的衬里皮膜被持续刻蚀，以致逐渐失去保护作用。
[0003]因此，当蚀刻机或PECVD设备的衬里使用寿命到期后，就需要重新进行表面工程，生成全新的阳极皮膜，此过程称之为蚀刻机或PECVD设备的衬里的再生。现有技术中，该再生过程一般由剥离皮膜、研磨、遮蔽、阳极氧化、烘干等步骤组成，其实际上与新品蚀刻机或PECVD设备的衬里的生产工艺基本相同，仅仅是增加了剥离氧化膜的工序。然而，由于蚀刻机或PECVD设备的衬里对其厚度稳定性以及其所含的孔（一般本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法，该方法包括以下连续步骤：（a）用软质擦拭物对所述衬里的表面进行湿式研磨；（b）任选地，在40
‑
60℃下，用中性脱脂剂清洗所述衬里的表面；（c）任选地，在40
‑
60℃下，用浓度为0.05重量%
‑
5重量%的柠檬酸溶液清洗所述衬里的表面；和（d）干燥所述衬里的表面。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述步骤（a）中的软质擦拭物为目数不小于1000#的多孔织物。3.根据权利要求2所述的方法，其中所述多孔织物为百洁布或羊绒布或海绵砂。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的方法，其中所述步骤（a）中的湿式研磨采用手动和/或机械驱动进行，优选采用机械驱动进行，更优选采用手持式高速气动研磨机进行。5.根据权利要求4所述的方法，其中所述手持式高速气动研磨机的空载转速为8000
‑
13000转/分钟和/或工作压力为7
‑
8kg。6.根据权利要求5所述的方法，其中所述手持式高速气动研磨机的空载转速为12000转/分钟和/或工作压力为7.5kg。7.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的方法，其中所述步骤（a）中的湿式研磨使用去离子水进行。8.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的方法，其中所述步骤（a）中的湿式研磨使用超纯水进行。9.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的方法，其中所述步骤（a）进行3
‑
8分钟。10.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的方法，其中所述步骤（b）在50
‑
55℃下进行。11.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的方法，其中所述步...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓刚，黄来国，刘超，李仁杰，蔡广云，方斌，
申请(专利权)人：合肥微睿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：