一种直拉单晶硅可视热处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种直拉单晶硅可视热处理装置，包括：炉体、安装架、安装孔、热成像仪、热成像显示屏、电控柜、功能按键、转轴、嵌孔、托架；所述炉体的侧部设有安装架，且安装架的底部通螺栓固定在炉体的底部；所述安装架上开设有安装孔，且安装孔的内部镶嵌有热成像仪；所述热成像仪与热成像显示屏通过电缆通信连接；所述热成像显示屏镶嵌在电控柜的前端；所述电控柜设在炉体左侧的底部；所述电控柜的前端镶嵌有功能按键；本实用新型专利技术通过对一种直拉单晶硅热处理装置的改进，具有结构合理，可视化，方便控温，多点采集，可视质量较高，方便观看的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。的问题和不足。的问题和不足。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉单晶硅可视热处理装置


[0001]本技术涉及单晶硅加工
，更具体的说，尤其涉及一种直拉单晶硅可视热处理装置。

技术介绍

[0002]直拉单晶硅技术主要是将多晶硅放入石英坩埚中，在单晶炉热场内加热融化，并采取合适掺杂，利用籽晶及温度控制从熔体中提拉生长晶体的一种方法。
[0003]温度控制是影响晶体生长拉速的关键因素。现有直拉单晶硅热处理装置在生产的过程中，炉场内的热分布状况不可视，不便于控温，影响产出效率与产出质量。
[0004]有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种直拉单晶硅可视热处理装置，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种直拉单晶硅可视热处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题和不足。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种直拉单晶硅可视热处理装置，由以下具体技术手段所达成：
[0007]一种直拉单晶硅可视热处理装置，包括：炉体、安装架、安装孔、热成像仪、热成像显示屏、电控柜、功能按键、转轴、嵌孔、托架；所述炉体的侧部设有安装架，且安装架的底部通螺栓固定在炉体的底部；所述安装架上开设有安装孔，且安装孔的内部镶嵌有热成像仪；所述热成像仪与热成像显示屏通过电缆通信连接；所述热成像显示屏镶嵌在电控柜的前端；所述电控柜设在炉体左侧的底部；所述电控柜的前端镶嵌有功能按键；所述电控柜底端的左侧焊接有转轴；所述转轴的底端镶嵌在嵌孔的内部，且转轴与嵌孔通过轴承转动连接；所述嵌孔开设在托架的左端；所述托架的右端通过螺栓固定在炉体的侧部表面上。
[0008]作为本技术方案的进一步优化，本技术一种直拉单晶硅可视热处理装置，所述安装架呈L形板状，且安装架在炉体的四周环形阵列有多处。
[0009]作为本技术方案的进一步优化，本技术一种直拉单晶硅可视热处理装置，所述安装孔为贯通孔，且安装孔在安装架的竖直方向上直线阵列有多处。
[0010]作为本技术方案的进一步优化，本技术一种直拉单晶硅可视热处理装置，所述热成像仪采用THERMOVIEWTV40工业热像仪。
[0011]作为本技术方案的进一步优化，本技术一种直拉单晶硅可视热处理装置，所述电控柜呈矩形状。
[0012]作为本技术方案的进一步优化，本技术一种直拉单晶硅可视热处理装置，所述托架俯视呈T形板状，且托架与安装架交错设置。
[0013]由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
[0014]1、本技术通过设置热成像仪，使得炉场内的热分布状况可视，方便控温，有利
于产出效率与产出质量的提高。
[0015]2、本技术通过设置安装架在炉体的四周环形阵列有多处，且安装孔在安装架的竖直方向上直线阵列有多处，并且安装孔内设有热成像仪，便于多点热采集，提高炉场内的热分布状况可视的质量。
[0016]3、本技术通过设置转轴与嵌孔通过轴承转动连接，方便改变热成像显示屏的朝向，方便观看。
[0017]4、本技术通过对一种直拉单晶硅热处理装置的改进，具有结构合理，可视化，方便控温，多点采集，可视质量较高，方便观看的优点，从而有效的解决了本技术在
技术介绍
一项中提出的问题和不足。
附图说明
[0018]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]图2为本技术的俯视结构示意图；
[0021]图3为本技术的安装孔结构示意图；
[0022]图4为本技术的嵌孔结构示意图；
[0023]图5为本技术的托架结构示意图；
[0024]图6为本技术的可视化流程图结构示意图。
[0025]图中：炉体1、安装架2、安装孔3、热成像仪4、热成像显示屏5、电控柜6、功能按键7、转轴8、嵌孔9、托架10。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]需要说明的是，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]同时，在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]请参见图1至图6，本技术提供一种直拉单晶硅可视热处理装置的具体技术实施方案：
[0030]一种直拉单晶硅可视热处理装置，包括：炉体1、安装架2、安装孔3、热成像仪4、热
成像显示屏5、电控柜6、功能按键7、转轴8、嵌孔9、托架10；炉体1的侧部设有安装架2，且安装架2的底部通螺栓固定在炉体1的底部；安装架2上开设有安装孔3，且安装孔3的内部镶嵌有热成像仪4；热成像仪4与热成像显示屏5通过电缆通信连接；热成像显示屏5镶嵌在电控柜6的前端；电控柜6设在炉体1左侧的底部；电控柜6的前端镶嵌有功能按键7；电控柜6底端的左侧焊接有转轴8；转轴8的底端镶嵌在嵌孔9的内部，且转轴8与嵌孔9通过轴承转动连接；嵌孔9开设在托架10的左端；托架10的右端通过螺栓固定在炉体1的侧部表面上。
[0031]具体的，请参阅图1，安装架2呈L形板状，且安装架2在炉体1的四周环形阵列有多处。
[0032]具体的，请参阅图3，安装孔3为贯通孔，且参阅图1，安装孔3在安装架2的竖直方向上直线阵列有多处。
[0033]具体的，热成像仪4采用THERMOVIEWTV40工业热像仪。
[0034]具体的，请参阅图1，电控柜6呈矩形状，电控柜6通过底部的转轴8可实现转动，方便调节热成像显示屏5的使用方向。
[0035]具体的，请参阅图5，托架10俯视呈T形板状，且参阅图2，托架10与安装架2交错设置。
[0036]具体实施步骤：
[0037]转动电控柜6可调节热成像显示屏5的使用方向，参阅图6，通过热成像仪4可采集炉体1内的热分布状况并及分析处理，后通过热成像显示屏5显示热分布状况图像，实现炉体1内温度的可视化。
[0038]综上所述：该一种直拉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉单晶硅可视热处理装置，包括：炉体(1)、安装架(2)、安装孔(3)、热成像仪(4)、热成像显示屏(5)、电控柜(6)、功能按键(7)、转轴(8)、嵌孔(9)、托架(10)；其特征在于：所述炉体(1)的侧部设有安装架(2)，且安装架(2)的底部通螺栓固定在炉体(1)的底部；所述安装架(2)上开设有安装孔(3)，且安装孔(3)的内部镶嵌有热成像仪(4)；所述热成像仪(4)与热成像显示屏(5)通过电缆通信连接；所述热成像显示屏(5)镶嵌在电控柜(6)的前端；所述电控柜(6)设在炉体(1)左侧的底部；所述电控柜(6)的前端镶嵌有功能按键(7)；所述电控柜(6)底端的左侧焊接有转轴(8)；所述转轴(8)的底端镶嵌在嵌孔(9)的内部，且转轴(8)与嵌孔(9)通过轴承转动连接；所述嵌孔(9)开设在托架(10)的左端...

【专利技术属性】
技术研发人员：马晓霞，
申请(专利权)人：马晓霞，
类型：新型
国别省市：