一种pvd膜检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种pvd膜检测装置，涉及一种能够对pvd膜进行盐雾试验检测的装置，属于材料工程领域。提供的一种通过将多个试样的沉积面密封贴合，通过内部的循环系统，配合盐雾进行沉积面位置的pvd膜盐雾试验的检测的装置，包括主体固定装置、雾化装置、试样放置装置，所述固定装置包括主体箱、底座、中部隔板、进液管、排液管、内箱体、箱盖、控制柜、压力控制箱，主体箱置于底座上，压力控制箱置于底座上，且位于主体箱一侧，控制柜置于压力控制箱上，箱盖盖合置于主体箱上，内箱体置于主体箱内，中部隔板置于内箱体和主体箱之间，内箱体和中部隔板之间通过连接板连接，能够仅针对覆膜面进行盐雾试验，且能够同步进行多组试样的试验。验。验。

【技术实现步骤摘要】
一种pvd膜检测装置


[0001]本技术提供一种pvd膜检测装置，涉及一种能够对pvd膜进行盐雾试验检测的装置，属于试验器械领域。

技术介绍

[0002]目前，材料学研究过程中，会在不同的材料表面沉积涂层或PVD膜，通过上述结构提高材料的物化性能，针对pvd膜能够提高材料基础的抗腐蚀能力，因此被用于各个行业，在通过沉积pvd膜后需要进行相关的腐蚀性试验，其中盐雾试验是主要的试验之一，盐雾试验是通过盐雾俯视试样，得到其耐蚀性的一种试验手段，也是通过电化学反应进行pvd膜致密性检测的方式之一，现有的盐雾试验结构通过加热形成盐雾，并通过自由扩散进行俯视，整体试验效率低，要知道对应部分产品进行盐雾试验时长有的需要30
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60天，甚至更长，此外，现有的盐雾试验箱内的盐雾不均匀，容易出现局部腐蚀过度的情况，降低了试验检测的准确性，其现有的针对试样的盐雾试验，都是将整体的放入进行盐雾腐蚀，但由于试样的部分位置缺少pvd膜覆盖，容易提前出现腐蚀，影响判断；
[0003]公开号CN213239873U公开了一种盐雾试验箱，包括盐雾试验装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种pvd膜检测装置，其特征在于：包括主体固定装置、雾化装置、试样放置装置，所述固定装置包括主体箱(1)、底座(9)、中部隔板(17)、进液管(15)、排液管(10)、内箱体(13)、箱盖(3)、控制柜(7)、压力控制箱(8)，主体箱(1)置于底座(9)上，压力控制箱(8)置于底座(9)上，且位于主体箱(1)一侧，控制柜(7)置于压力控制箱(8)上，箱盖(3)盖合置于主体箱(1)上，内箱体(13)置于主体箱(1)内，中部隔板(17)置于内箱体(13)和主体箱(1)之间，内箱体(13)和中部隔板(17)之间通过连接板连接，所述内箱体(13)上设置有连通通道，所述连通通道位于连接板上侧，进液管(15)依次贯穿主体箱(1)、中部隔板(17)和内箱体(13)连通，排液管(10)依次贯穿主体箱(1)、中部隔板(17)和内箱体(13)底部连通。2.根据权利要求1所述的一种pvd膜检测装置，其特征在于：所述雾化装置包括雾化管(2)、分流塔(4)、负压泵(6)、吸入管(12)、加热管(14)、导流帽(16)、盐液槽(11)，盐液槽(11)置于内向体中部位置，导流帽(16)置于内箱体(13)内，且边缘和内箱体(13)内壁点连接，导流帽(16)悬置于盐液槽(11)上方，吸入管(12)置于导流帽(16)上，且延伸至盐液槽(11)内，吸入管(12)置于导流帽(16)上，且和吸入管(12)相连通，负压泵(6)置于吸入管(12)内，所述负压...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭维伟，
申请(专利权)人：南京准非晶真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：