【技术实现步骤摘要】
一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置
[0001]本技术涉及一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置。
技术介绍
[0002]八氟环丁烷(英文名Octafluorocyclobutane，简称C318)，分子式CF2CF2CF2CF2。性质稳定、无毒且消耗臭氧潜能值(ODP)为零、拥有良好的绝缘性等，近年来在高压绝缘、清洗蚀刻、等离子处理等
得到广泛应用。用作等离子蚀刻剂的C318要求极高的纯度，至少达到99.999%(摩尔)纯度，一般该纯度的气体称为电子级气体，极少量的杂质也可能会提高制造高密度集成电路的缺陷率，由于八氟环丁烷脱除含氟烯烃杂质，针对四氟乙烯热裂解生产的八氟环丁烷，不适用于回收二氟一氯甲烷裂解制四氟乙烯过程中得到的八氟环丁烷，目前还没有能去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置。
技术实现思路
[0003]本技术提供了一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，它使得含氟烯烃杂质被氧化为聚醚酰氟，通脱碱洗水洗脱水精馏，从而达到提纯八氟环丁烷的效果。
[0004]本技术采用了以下技术方案：一...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种去除八氟环丁烷中少量含氟烯烃的装置，其特征是它主要包括反应釜（1）、汽化器（2）、碱洗塔（3）、水洗塔（4）、吸附装置和精馏塔（5），所述的反应釜（1）的顶部设有进口Ⅰ（6），氧气输送管（7）通过进口Ⅰ（6）伸入到反应釜（1）内，在反应釜（1）的底部设有出口Ⅰ（8），汽化器（2）的底部设有进口Ⅱ（9），在出口Ⅰ（8）与进口Ⅱ（9）之间通过输送管Ⅰ（10）相连通，在汽化器（2）的顶部设有出口Ⅱ（11），碱洗塔（3）的侧面设有进口Ⅲ（12），在出口Ⅱ（11）与进口Ⅲ（12）之间通过输送管Ⅱ（13）相连通，碱洗塔（3）的顶部设有出口Ⅲ（14），水洗塔（4）的侧面设有进口Ⅳ（15），在出口Ⅲ（14）与进口Ⅳ（15）之间通过输送管Ⅲ（16）相连通，水洗塔（4）的顶部设有出口Ⅳ（17），出口Ⅳ（17）经过吸附装置与精馏塔（5）塔体侧面进口
Ⅴ
（18）相连通，精馏塔（5）塔体的底部设有再分布器（19），再分布器（19）的侧面设有出口
Ⅴ
（20）。...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱厚琴，胡经宇，徐明，吴玉勋，
申请(专利权)人：泰兴梅兰新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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