用于光声光谱探测的钳式晶振及其气体探测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于光声光谱探测的钳式晶振及采用该钳式晶振的气体探测装置，所述钳式晶振包括晶振基底及振臂，所述晶振基底的两侧顶部向上延伸分别设置所述振臂，相邻所述振臂之间开设有第一空隙，所述振臂的内侧开设有圆弧缺口，一对所述圆弧缺口及部分所述第一空隙组合形成圆形空隙。还涉及一种气体探测装置，其包括上述所述的用于光声光谱探测的钳式晶振。本发明专利技术的该钳式晶振具有全新设计的结构和形状，经过几何参数设计，使其具备35.6kHz的低频谐振频率，适合于光声光谱探测。基于钳式晶振的光声光谱探测装置具有采样体积小、响应速度快等特点，通过变换激光器波长，可以实现其它多种气体探测，能够有效提高光声光谱的探测能力。测能力。测能力。

【技术实现步骤摘要】
用于光声光谱探测的钳式晶振及其气体探测装置


[0001]本专利技术涉及气体传感技术，具体涉及一种用于光声光谱探测的钳式晶振及采用该钳式晶振的气体探测装置。

技术介绍

[0002]微量气体检测技术已广泛用于许多领域，包括工业过程控制，医学诊断，环境监测等。传统的检测技术，譬如气相色谱/质谱和电化学的非光学技术具有成本高，结构复杂和反应速度慢等技术缺陷。光学传感技术具有灵敏度高、选择性强、响应速度快等特点近年来得以广泛研究。在众多的光学传感技术中，光声光谱技术由于不需要使用光电探测器，而具有独特优势。光声光谱的原理是基于光声效应，目标气体吸收调制光辐射后，由于局部压力和温度的变化而产生声波。使用诸如麦克风或悬臂梁等声换能器将声信号转换为电信号。光声光谱的优点是结构紧凑，和直接吸收光谱、波长调制光谱、腔增强光谱等相比，其最大优点是光声效应的强弱不依赖于光学吸收路径的长度。因此光声光谱仪器的体积可以微型化和模块化。另外一个优点是光声光谱的探测部分是探测声波信号，而不探测光学信号，因此光声光谱仪器无需采用光电探测器。光声光谱的探测部分，不受其激发部分光学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光声光谱探测的钳式晶振(10)，其特征在于，包括：所述钳式晶振(10)包括晶振基底(11)及振臂(12)，所述晶振基底(11)的两侧顶部向上延伸分别设置所述振臂(12)，相邻所述振臂(12)之间开设有第一空隙(13)，所述振臂(12)的内侧开设有圆弧缺口，一对所述圆弧缺口及部分所述第一空隙(13)组合形成圆形空隙(14)。2.根据权利要求1所述的用于光声光谱探测的钳式晶振(10)，其特征在于，所述钳式晶振(10)的厚度尺寸为0.25至0.35mm。3.根据权利要求1所述的用于光声光谱探测的钳式晶振(10)，其特征在于，所述圆形空隙(14)的直径为第一尺寸(D)，所述第一空隙(13)的宽度为第二尺寸(G)，所述第一尺寸(D)及第二尺寸(G)比例为0.5：0.1至0.9：0.5。4.根据权利要求1所述的用于光声光谱探测的钳式晶振(10)，其特征在于，所述振臂(12)的顶端到晶振基底(11)顶端之间的距离为第三尺寸(I)，所述振臂(12)的顶端到晶振基底(11)底端之间的第四尺寸(L),所述为第三尺寸(I)及第四尺寸(L)的比例为3.4：5.8至3.8：6.2。5.根据权利要求1所述的用于光声光谱探测的钳式晶振(10)，其特征在于，所述圆形空隙(14)的圆心到晶振基底(11)顶端之间的距离为第五尺寸(H)，所述振臂(12)的顶端到晶振基底(11)顶端之间的距离为第三尺寸(I)，所述第五尺寸(...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑华丹，吴潜，林灏杨，朱文国，钟永春，余健辉，
申请(专利权)人：暨南大学，
类型：发明
国别省市：