一种冗余驱动大行程柔性精密运动平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种冗余驱动大行程柔性精密运动平台，包括框架、精密运动机构、三个第一支座、三个音圈电机、三个第二支座、两个第三支座和两个位移传感器；框架包括外框和底座；三个第一支座均固定在底座上；三个音圈电机的定子分别固定在三个第一支座上，三个音圈电机的动子分别与精密运动机构三个相隔侧边连接；三个第二支座分别固定在底座上且位于相邻音圈电机之间；精密运动机构与其下方的三个第二支座固定连接；两个第三支座分别固定在任意两个第二支座上；两个位移传感器分别设置在两个第三支座上。本实用新型专利技术结构紧凑，可用于狭小空间内的定位或跟踪需求，也可以作为多级运动平台的第一级或者中间级实现大行程高精度的运动补偿。度的运动补偿。度的运动补偿。

【技术实现步骤摘要】
一种冗余驱动大行程柔性精密运动平台


[0001]本技术涉及精密制造与精密装配
，更具体的说是涉及一种冗余驱动大行程柔性精密运动平台。

技术介绍

[0002]大行程精密运动平台是光刻机等高端制造装备中的核心配套装置。传统转动副因受到摩擦、间隙、回程差等固有特性的影响，利用其制作的运动装置精密性会极大地受到限制。而柔性机构通过部件的变形来完成运动或力的传递，因此可以避免上述误差，是现阶段最常用的精密运动的实现方式，另外，音圈电机以其无接触驱动，大功率密度等优点经常被用作大行程柔性运动平台的驱动。
[0003]但是，精密柔性的两自由度运动平台通常采用一体化切割成型，配有少量的紧固件进行固定，为了实现X和Y方向的解耦和，现有的两自由度运动平台通过多个柔性梁横纵布置，由于平台的运动主要由结构的变形来提供，当结构比较复杂的时候，本身的质量也会上升，同时变形需要的驱动力也会变大，这样会极大地影响系统的带宽；而通过缩减材料来实现运动的方式在一定程度上会缓解上述问题，但是会引起支撑刚度不足，承载能力弱的新的问题。
[0004]因此，提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冗余驱动大行程柔性精密运动平台，其特征在于，包括：框架，所述框架包括外框和底座，所述外框围设在所述底座顶部；精密运动机构，所述精密运动机构呈六边形；所述精密运动机构位于所述框架内部；三个第一支座，三个所述第一支座均固定在所述底座上且分别位于所述精密运动机构三个相隔侧边的外围；三个音圈电机，三个所述音圈电机的定子分别固定在三个所述第一支座上，三个所述音圈电机的动子分别通过驱动连接件与所述精密运动机构三个相隔侧边连接，并且相邻所述音圈电机的轴线之间夹角为120
°
；三个第二支座，三个所述第二支座分别固定在所述底座上且位于相邻所述音圈电机之间；所述精密运动机构与其下方的三个所述第二支座固定连接；两个第三支座，两个所述第三支座分别固定在任意两个所述第二支座上；两个位移传感器，两个所述位移传感器分别设置在两个所述第三支座上，且两个所述位移传感器的中心线之间夹角为120
°
；三个所述音圈电机的轴线和两个所述位移传感器的中心线重合于所述精密运动机构的中心垂线。2.根据权利要求1所述的一种冗余驱动大行程柔性精密运动平台，其特征在于，所述精密运动机构包括三个运动支撑单元、三个刚...

【专利技术属性】
技术研发人员：马付雷，曾志，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：新型
国别省市：