下载一种冗余驱动大行程柔性精密运动平台的技术资料

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本实用新型公开了一种冗余驱动大行程柔性精密运动平台,包括框架、精密运动机构、三个第一支座、三个音圈电机、三个第二支座、两个第三支座和两个位移传感器;框架包括外框和底座;三个第一支座均固定在底座上;三个音圈电机的定子分别固定在三个第一支座上,...
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