静电消除的方法和设备技术

本发明专利技术提供了一种静电消除的方法和设备，包括：实时量测设置于产品载台上的各点位的电压，并根据各电压确定产品载台上存在静电的目标点位的位置坐标；向位置坐标的产品载台喷射静电液，并向位置坐标进行吹气式风干。本发明专利技术的方法应用于静电消除设备，集量测电压、自动定位静电位置和消除静电于一体，可以及时发现静电并清除静电，保证产品质量的同时提高了生产效率。产效率。产效率。

【技术实现步骤摘要】
静电消除的方法和设备


[0001]本专利技术涉及静电消除的
，尤其是涉及一种静电消除的方法和设备。

技术介绍

[0002]在生活生产中，静电是无处不在的，而静电的本质是物质电子分布不平衡的产物，其产生方式包括接触、剥离、摩擦、高能辐射、高温、感应起电等。目前在面板显示屏行业，防止静电产生是面板显示屏生产过程中的一个重要环节，主要分为产品方面以及设备方面。产品方面，在使用阵列厂电测设备量测时，一般采用静电消除器清洁产品表面的金属、非金属、玻璃碎屑等异物，消除产品表面静电。设备方面，一般采用的都是设备接地。但由于设备连续生产，产品被不间断的传送至测试腔内与产品的载台接触，在接触、测试、分离的过程中，载台腔内也会积累静电，静电在某些情况下形成放电电路，会导致产品线路炸裂，影响产品品质，因此存在静电保护缺陷。
[0003]目前，常用的电测设备分为电子束技术(Electron
‑
beam Technology，EBT)、交流电(Alternating Current，AC)两种，EBT阵列检查机采用高压电子束量测，腔室内电荷较多，且活跃，产品量测时易出现产品表面线路炸裂，且出现异常时需开腔调查原因，影响产品品质以及生产效率。奥宝设备AC机型采用陶瓷制作产品的载台，设备接地防静电，未对陶瓷载台做静电保护。
[0004]综上，现有的电测设备存在静电保护缺陷，难以及时发现并清除静电，易影响产品品质以及生产效率。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种静电消除的方法和设备，以缓解现有电测设备存在静电保护缺陷，难以及时发现并清除静电，易影响产品品质以及生产效率的技术问题。
[0006]第一方面，本专利技术实施例提供了一种静电消除的方法，应用于静电消除设备，所述方法包括：
[0007]实时量测设置于产品载台上的各点位的电压，并根据各电压确定所述产品载台上存在静电的目标点位的位置坐标；
[0008]向所述位置坐标的产品载台喷射静电液，并向所述位置坐标进行吹气式风干。
[0009]进一步的，实时量测设置于产品载台上的各点位的电压，并根据各电压确定所述产品载台上存在静电的目标点位的位置坐标，包括：
[0010]当所述静电消除设备工作时，将产品放置于所述产品载台上后，量测所述产品载台上各点位的第一电压；
[0011]若所述第一电压中存在目标第一电压不在预设电压范围内，则确定所述产品存在静电，机台停止工作，将所述产品退出所述静电消除设备，并对所述产品进行标记；
[0012]量测所述产品载台上与所述目标第一电压对应的目标点位的第二电压；
[0013]若所述第二电压不在所述预设电压范围内，则确定所述产品载台存在静电，并定位所述目标点位的位置坐标。
[0014]进一步的，所述方法还包括：
[0015]若所述第一电压均在所述预设电压范围内，则确定所述产品载台和所述产品都不存在静电。
[0016]进一步的，所述方法还包括：
[0017]若所述第二电压在所述预设电压范围内，则确定所述产品载台不存在静电。
[0018]进一步的，在向所述位置坐标进行吹气式风干之后，所述方法还包括：
[0019]对所述目标点位的电压进行量测，并根据量测结果确定所述目标点位的静电是否消除；
[0020]若所述目标点位的静电未消除，则继续向所述位置坐标的产品载台喷射静电液，并向所述位置坐标进行吹气式风干，直至将所述目标点位的静电消除。
[0021]进一步的，定位所述目标点位的位置坐标，包括：
[0022]采用机械相机定位读取所述目标点位的位置坐标。
[0023]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种静电消除的设备，所述静电消除的设备包括：量测定位装置、静电消除装置和风干装置；
[0024]所述量测定位装置，用于实时量测产品载台上各点位的电压，并根据各电压确定所述产品载台上存在静电的目标点位的位置坐标；
[0025]所述静电消除装置，用于向所述位置坐标的产品载台喷射静电液；
[0026]所述风干装置，用于向所述位置坐标进行吹气式风干。
[0027]进一步的，所述量测定位装置包括：电压传感器、红外扫描仪和机械相机。
[0028]进一步的，还包括：转动架；
[0029]所述转动架分别与所述量测定位装置、所述静电消除装置和所述风干装置连接，用于对所述所述量测定位装置、所述静电消除装置和所述风干装置进行转动。
[0030]进一步的，所述风干装置中设置有高压惰性气体。
[0031]在本专利技术实施例中，提供了一种静电消除的方法，应用于静电消除设备，包括：实时量测设置于产品载台上的各点位的电压，并根据各电压确定产品载台上存在静电的目标点位的位置坐标；向位置坐标的产品载台喷射静电液，并向位置坐标进行吹气式风干。通过上述描述可知，本专利技术的静电消除的方法，应用于静电消除设备，集量测电压、自动定位静电位置和消除静电于一体，具有自动电压、自动喷射静电液、自动风干静电液等功能，可以及时发现静电并自动清除静电，缓解了现有电测设备存在静电保护缺陷，难以及时发现并清除静电，易影响产品品质以及生产效率的技术问题。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]图1为本专利技术实施例提供的一种静电消除的方法的流程图；
[0034]图2为本专利技术实施例提供的产品载台的物理坐标系的示意图；
[0035]图3为本专利技术实施例提供的产品载台的量测点位分布的示意图；
[0036]图4为本专利技术实施例提供的根据电压确定静电点位坐标的方法流程图；
[0037]图5为本专利技术实施例提供的验证静电是否清除的方法流程图；
[0038]图6为本专利技术实施例提供的静电消除的方法的整体的流程图；
[0039]图7为本专利技术实施例提供的一种静电消除的设备的示意图。
具体实施方式
[0040]下面将结合实施例对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0041]目前，常用的电测设备EBT阵列检查机采用高压电子束量测，腔室内电荷较多，且活跃，产品量测时易出现产品表面线路炸裂，且出现异常时需开腔调查原因，影响产品品质以及生产效率。奥宝设备AC机型采用陶瓷制作产品的载台，设备接地防静电，未对陶瓷载台做静电保护。
[0042]基于此，本专利技术的静电消除的方法具有量测电压、自动定位静电位置、自动消除静电的功能，可以及时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电消除的方法，其特征在于，应用于静电消除设备，所述方法包括：实时量测设置于产品载台上的各点位的电压，并根据各电压确定所述产品载台上存在静电的目标点位的位置坐标；向所述位置坐标的产品载台喷射静电液，并向所述位置坐标进行吹气式风干。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，实时量测设置于产品载台上的各点位的电压，并根据各电压确定所述产品载台上存在静电的目标点位的位置坐标，包括：当所述静电消除设备工作时，将产品放置于所述产品载台上后，量测所述产品载台上各点位的第一电压；若所述第一电压中存在目标第一电压不在预设电压范围内，则确定所述产品存在静电，机台停止工作，将所述产品退出所述静电消除设备，并对所述产品进行标记；量测所述产品载台上与所述目标第一电压对应的目标点位的第二电压；若所述第二电压不在所述预设电压范围内，则确定所述产品载台存在静电，并定位所述目标点位的位置坐标。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：若所述第一电压均在所述预设电压范围内，则确定所述产品载台和所述产品都不存在静电。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：若所述第二电压在所述预设电压范围内，则确定所述产品载台不存在静电。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈成，杨青山，
申请(专利权)人：浙江泰嘉光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：