炉室充气除尘系统技术方案

本发明专利技术属于碳化硅合成领域，具体的说是炉室充气除尘系统，包括炉体、平台架和炉室抽气管道；所述炉体与平台架之间固定连接；所述炉体的炉顶盘的表面固连有第一充气管；所述炉体的炉底盘的表面固连有第二充气管；所述平台架的表面固连有总抽气管；所述总抽气管固连有管路沉积仓；所述炉体的中部位置固连有吸尘罩；所述吸尘罩的排气口固连有炉室抽气管道；通过本发明专利技术有效的实现了对合成炉的炉内挥发物以及粉尘等物质的清理，通过上下对流的加压气流，大幅提高了对挥发物以及粉尘清理效果，提高对炉内清理效率，并且清理后的气体会通过负压抽吸的方式快速导出，在合成炉开炉前，保证了对其内部的快速充分净化。了对其内部的快速充分净化。了对其内部的快速充分净化。

【技术实现步骤摘要】
炉室充气除尘系统


[0001]本专利技术属于碳化硅合成领域，具体的说是炉室充气除尘系统。

技术介绍

[0002]CSP
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PC
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150型碳化硅立式感应合成炉，是应用中频感应加热方式，以摩尔比配比的高纯碳粉和高纯硅粉及定量的高纯添加剂均匀混合，装在高纯石墨坩埚内，并在洁净环境中，充入高纯氩气、氮气或其它气体，以设定的步骤，逐步完成升温、保温、置换氩气、氮气或其它气氛气体，降温等过程，使碳粉和硅粉合成为高纯碳化硅原料。
[0003]公开号为CN112516916A超高真空碳化硅原料合成炉系统，该专利技术所述的超高真空碳化硅原料合成炉系统中，炉室为圆筒形立式双层水冷结构，炉室上安装炉盖，炉盖为双层水冷结构，红外测温组件位于炉盖顶端，炉盖可由电动升降机实现升降并旋开；炉室通过闸板阀、泵抽弯管与分子泵连接，组成系统主抽管路，炉室通过角阀、波纹管与机械泵相连，组成系统旁抽管路；样品支撑机构与炉室底盘固定，感应加热组件、测量组件分别与炉室侧面法兰固定。
[0004]现有技术中，合成炉完成合成后，在炉体的内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.炉室充气除尘系统，其特征在于：包括炉体(1)、平台架(2)和炉室抽气管道(3)；所述炉体(1)与平台架(2)之间固定连接；所述平台架(2)包括有底层架(4)和顶层架(5)；所述炉体(1)的炉顶盘的表面固连有第一充气管(6)；所述炉体(1)的炉底盘的表面固连有第二充气管(7)，且第一充气管(6)和第二充气管(7)均外接空气压缩机；所述平台架(2)的表面固连有总抽气管(8)，且总抽气管(8)外接负压源；所述总抽气管(8)固连有管路沉积仓(9)；所述管路沉积仓(9)与总抽气管(8)之间连有气动蝶阀(10)；所述炉体(1)的中部位置固连有吸尘罩(11)；所述吸尘罩(11)的排气口固连有炉室抽气管道(3)，且炉室抽气管道(3)的一端与炉体(1)的炉内连通，另一端与管路沉积仓(9)之间相互连通。2.根据权利要求1所述炉室充气除尘系统，其特征在于：所述总抽气管(8)的进气口连有地面吸尘管道(12)；所述总抽气管(8)的进气口连有平台吸尘管道(13)；所述地面吸尘管道(12)和平台吸尘管道(13)的端面均固连有平台吸尘控制阀门接口(14)。3.根据权利要求1所述炉室充气除尘系统，其特征在于：所述第一充气管(6)、第二充气管(7)、炉室抽气管道(3)的数量均为三，且均沿着炉体(1)的外圈均匀分布；所述第一充气管(6)和第二充气管(7)的表面靠近炉体(1)位置均固连有真空电磁阀(15)。4.根据权利要求1所述炉室充气除尘系统，其特征在于：所述炉室抽气管道(3)均为“L”形结构设计；所述炉室抽气管道(3)的拐角位置开设有清理孔(16)；所述炉室抽气管拐角的清理孔(16)位置设有法兰盲板(17)。5.根据权利要求4所述炉室充气除尘系统，其特征在于：所述炉室抽气管道(3)的表面开设有螺纹；所述炉室抽气管道(3)的表面螺纹连接有封塞(18)；所述炉室抽气管道(3)远...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎志欣，张瑶勇，叶锋，邢臻，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：