炉室充气除尘系统技术方案

本发明专利技术属于碳化硅合成领域，具体的说是炉室充气除尘系统，包括炉体、平台架和炉室抽气管道；所述炉体与平台架之间固定连接；所述炉体的炉顶盘的表面固连有第一充气管；所述炉体的炉底盘的表面固连有第二充气管；所述平台架的表面固连有总抽气管；所述总抽气管固连有管路沉积仓；所述炉体的中部位置固连有吸尘罩；所述吸尘罩的排气口固连有炉室抽气管道；通过本发明专利技术有效的实现了对合成炉的炉内挥发物以及粉尘等物质的清理，通过上下对流的加压气流，大幅提高了对挥发物以及粉尘清理效果，提高对炉内清理效率，并且清理后的气体会通过负压抽吸的方式快速导出，在合成炉开炉前，保证了对其内部的快速充分净化。了对其内部的快速充分净化。了对其内部的快速充分净化。

【技术实现步骤摘要】
炉室充气除尘系统


[0001]本专利技术属于碳化硅合成领域，具体的说是炉室充气除尘系统。

技术介绍

[0002]CSP
‑
PC
‑
150型碳化硅立式感应合成炉，是应用中频感应加热方式，以摩尔比配比的高纯碳粉和高纯硅粉及定量的高纯添加剂均匀混合，装在高纯石墨坩埚内，并在洁净环境中，充入高纯氩气、氮气或其它气体，以设定的步骤，逐步完成升温、保温、置换氩气、氮气或其它气氛气体，降温等过程，使碳粉和硅粉合成为高纯碳化硅原料。
[0003]公开号为CN112516916A超高真空碳化硅原料合成炉系统，该专利技术所述的超高真空碳化硅原料合成炉系统中，炉室为圆筒形立式双层水冷结构，炉室上安装炉盖，炉盖为双层水冷结构，红外测温组件位于炉盖顶端，炉盖可由电动升降机实现升降并旋开；炉室通过闸板阀、泵抽弯管与分子泵连接，组成系统主抽管路，炉室通过角阀、波纹管与机械泵相连，组成系统旁抽管路；样品支撑机构与炉室底盘固定，感应加热组件、测量组件分别与炉室侧面法兰固定。
[0004]现有技术中，合成炉完成合成后，在炉体的内部会产生碳化物和硅化物等挥发物以及灰尘等，这些物质不及时进行清理会影响单晶炉内碳化硅单晶的质量，同时开炉前不进行有效清理，也会污染周围空气问题。
[0005]为此，本专利技术提供炉室充气除尘系统。

技术实现思路

[0006]为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。
[0007]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的炉室充气除尘系统，包括炉体、平台架和炉室抽气管道；所述炉体与平台架之间固定连接；所述平台架包括有底层架和顶层架；所述炉体的炉顶盘的表面固连有第一充气管；所述炉体的炉底盘的表面固连有第二充气管，且第一充气管和第二充气管均外接空气压缩机；所述平台架的表面固连有总抽气管，且总抽气管外接负压源；所述总抽气管固连有管路沉积仓；所述管路沉积仓与总抽气管之间连有气动蝶阀；所述炉体的中部位置固连有吸尘罩；所述吸尘罩的排气口固连有炉室抽气管道，且炉室抽气管道的一端与炉体的炉内连通，另一端与管路沉积仓之间相互连通；工作时，通过在炉顶盘和炉底盘的表面分别设置第一充气管和第二充气管，通过用大压力、大流量的压缩空气，加大气体流速带走挥发物、粉尘等，并且充气过程中，要求停炉、待炉子冷却后，以及在开炉前上下快速对吹，避免炉子未冷却条件下，吹进压缩空气，空气与炉内介质发生化学反应影响晶体质量，携带挥发物和粉尘的气体会被吸入吸尘罩，大流速吹气，炉内的灰尘等挥发物被较大范围的吹起，灰尘顺着气流的方向从流速大的地方被吹到炉室中部，并通过吸尘罩表面的炉室抽气管道导入管路沉积仓，通过管路沉积仓对空气中的挥发物以及灰尘进行过滤，达到除尘的目的，然后经过过滤的气体会通过总抽气管导出，管路沉积仓内灰尘沉积较多时，此时可以将管路沉积仓内打开，并进行内部清理，
通过上下吹中间吸方式有利于挥发物的快速除去通过本专利技术有效的实现了对合成炉的炉内挥发物以及粉尘等物质的清理，通过上下对流的加压气流，大幅提高了对挥发物以及粉尘清理效果，提高对炉内清理效率，并且清理后的气体会通过负压抽吸的方式快速导出，在合成炉开炉前，保证了对其内部的快速充分净化。
[0008]优选的，所述总抽气管的进气口连有地面吸尘管道；所述总抽气管的进气口连有平台吸尘管道；所述地面吸尘管道和平台吸尘管道的端面均固连有平台吸尘控制阀门接口；工作时，由于合成炉长时间运行后，平台架的底层架和顶层架灰尘较多，通过设置地面吸尘管道和平台吸尘管道，利用总抽气管内负压，使得地面吸尘管道和平台吸尘管道产生较大负压压力，需要使用时，通过平台吸尘控制阀门接口外接管路，实现对平台架的各部位表面的灰尘进行吸附。
[0009]优选的，所述第一充气管、第二充气管、炉室抽气管道的数量均为三，且均沿着炉体的外圈均匀分布；所述第一充气管和第二充气管的表面靠近炉体位置均固连有真空电磁阀；工作时，碳化硅合成炉在长晶期间，充气系统处于常闭的状态，考虑到炉子运行期间，连接压缩空气的第一充气管和第二充气管影响整机的性能，压缩空气用的第一充气管和第二充气管行程太长，对真空度和密封性能有影响，所以第一充气管和第二充气管的连接管口位置用硬管连接真空电磁阀，真空电磁阀只在开炉前打开，使得压缩空气充充入炉内，其他时间均为常闭状态。
[0010]优选的，所述炉室抽气管道均为“L”形结构设计；所述炉室抽气管道的拐角位置开设有清理孔；所述炉室抽气管拐角的清理孔位置设有法兰盲板；工作时，通过设置法兰盲板，法兰盲板便于拆卸，便于对三个炉室抽气管道的内部进行清理，使得炉室抽气管道内部长期沉积的挥发物以及灰尘得到有效清除，保证炉室抽气管道畅通，避免炉室抽气管道严重变窄甚至完全堵塞问题。
[0011]优选的，所述炉室抽气管道的表面开设有螺纹；所述炉室抽气管道的表面螺纹连接有封塞；所述炉室抽气管道远离封塞的一端位置设有卷盘；所述卷盘的内部设有弹片；所述卷盘的内部转动连接有转柱；所述转柱的表面卷绕有连绳；所述炉室抽气管道的内部滑动连接有清理盘，连绳穿过清理盘并与封塞相连，且连绳与清理盘之间固定连接；工作时，通过设置卷盘，通过卷盘内部的弹片作用，使得连绳始终趋向于收卷到转柱的表面，通过将法兰盲板替换为封塞，封塞可以被拧开，进而清理维护人员会拉扯连绳，连绳会带动清理盘运动，并且连绳会从卷盘的内部放卷出来，清理盘运动可以对炉室抽气管道内表面粘附的挥发物和灰尘等进行有效清理，使得这些物质被清理到靠近清理孔的口部位置，便于工作人员对灰尘等进行快速清理，极大了提高了清理效率，完成清理后，只需要放开拉绳，在卷盘内部的弹片作用下，连绳自动被收卷入卷盘的内部，同时清理盘自动复位，然后再把封塞拧紧即可。
[0012]优选的，所述清理孔的口部位置开设有导槽；所述封塞的表面转动连接有连块，且连块滑动连接于导槽的内部，连绳与连块之间固定连接；工作时，通过设置连块，且连块滑动连接于导槽的内部，当工作人员旋拧封塞时，连块不会随之转动，进而连块也不会带动连绳转动，避免了连绳严重扭曲问题。
[0013]优选的，所述炉室抽气管道的内部靠近卷盘位置开设有安装槽；所述安装槽的内部均固连有导环；所述导环的内部开设有环形槽；所述环形槽的内部固连有清理环，且连绳
穿过清理环的内部；工作时，通过设置导环，导环的内部设置清理环，当连绳收卷过程中，为了避免连绳的表面粘附挥发物或灰尘，进而这些物质随着连绳导入卷盘的内部，影响卷盘的正常工作，通过清理环可以对连绳的表面粘附物进行清理。
[0014]优选的，所述连绳为耐高温弹性材料设计；所述连绳的内部开设有进孔；所述连绳的内部于进孔的底部位置开设有出孔；工作时，通过在连绳的内部开设进孔和出孔，通过进孔导入液体，出孔导出液体，液体可以对连绳进行降温，避免炉内为充分降温的情况下，吸入到炉室抽气管道的气体温度较高，对连绳产生损坏。
[0015]优选的，所述清理盘的表面开设有环形清理槽；所述环形清理槽与进孔之间开设有均匀布置的第一连孔；所述环形清本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.炉室充气除尘系统，其特征在于：包括炉体(1)、平台架(2)和炉室抽气管道(3)；所述炉体(1)与平台架(2)之间固定连接；所述平台架(2)包括有底层架(4)和顶层架(5)；所述炉体(1)的炉顶盘的表面固连有第一充气管(6)；所述炉体(1)的炉底盘的表面固连有第二充气管(7)，且第一充气管(6)和第二充气管(7)均外接空气压缩机；所述平台架(2)的表面固连有总抽气管(8)，且总抽气管(8)外接负压源；所述总抽气管(8)固连有管路沉积仓(9)；所述管路沉积仓(9)与总抽气管(8)之间连有气动蝶阀(10)；所述炉体(1)的中部位置固连有吸尘罩(11)；所述吸尘罩(11)的排气口固连有炉室抽气管道(3)，且炉室抽气管道(3)的一端与炉体(1)的炉内连通，另一端与管路沉积仓(9)之间相互连通。2.根据权利要求1所述炉室充气除尘系统，其特征在于：所述总抽气管(8)的进气口连有地面吸尘管道(12)；所述总抽气管(8)的进气口连有平台吸尘管道(13)；所述地面吸尘管道(12)和平台吸尘管道(13)的端面均固连有平台吸尘控制阀门接口(14)。3.根据权利要求1所述炉室充气除尘系统，其特征在于：所述第一充气管(6)、第二充气管(7)、炉室抽气管道(3)的数量均为三，且均沿着炉体(1)的外圈均匀分布；所述第一充气管(6)和第二充气管(7)的表面靠近炉体(1)位置均固连有真空电磁阀(15)。4.根据权利要求1所述炉室充气除尘系统，其特征在于：所述炉室抽气管道(3)均为“L”形结构设计；所述炉室抽气管道(3)的拐角位置开设有清理孔(16)；所述炉室抽气管拐角的清理孔(16)位置设有法兰盲板(17)。5.根据权利要求4所述炉室充气除尘系统，其特征在于：所述炉室抽气管道(3)的表面开设有螺纹；所述炉室抽气管道(3)的表面螺纹连接有封塞(18)；所述炉室抽气管道(3)远...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎志欣，张瑶勇，叶锋，邢臻，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：