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本发明属于碳化硅合成领域，具体的说是炉室充气除尘系统，包括炉体、平台架和炉室抽气管道；所述炉体与平台架之间固定连接；所述炉体的炉顶盘的表面固连有第一充气管；所述炉体的炉底盘的表面固连有第二充气管；所述平台架的表面固连有总抽气管；所述总抽气管...
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