一种蒸发舟挡板组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蒸发舟挡板组件，包括环形底板、环形盖板和多个弧形挡板。环形盖板绕自身轴线转动，同时环形盖板带动弧形挡板的第二端沿环形盖板的径向方向滑动，此时弧形挡板的第一端绕与环形底板的连接位置转动，实现多个弧形挡板围成的窗口的尺寸的调节，实现蒸发舟挡板组件对蒸发角度的调节；弧形挡板的第二端沿环形盖板滑动的距离不同，多个弧形挡板围成的窗口的尺寸也就不同，增大了蒸发舟挡板组件窗口的调节范围，增强了蒸发舟挡板组件对蒸镀场景的适应性。对蒸镀场景的适应性。对蒸镀场景的适应性。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发舟挡板组件


[0001]本技术涉及新能源
，特别涉及一种蒸发舟挡板组件。

技术介绍

[0002]在半导体制造领域，蒸发镀膜是一种常见的镀膜沉积工艺。
[0003]蒸发镀膜设备的挡板能够改善蒸发速率在不同角度的渐变性，以提高蒸发镀膜的均匀性。
[0004]现有技术中，蒸发镀膜设备常用的挡板一般为半圆形或者矩形形状的挡板，且个数为两个，两个挡板通过气动装置控制开合，两个挡板只能在特定的方向开合，挡板调节窗口范围小，适应的蒸镀场景有限。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术提供了一种蒸发舟挡板组件，以增强挡板的窗口的调节范围。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种蒸发舟挡板组件，包括环形底板、环形盖板和多个弧形挡板，
[0008]所述环形底板、所述弧形挡板和所述环形盖板自下而上依次设置，
[0009]多个所述弧形挡板自下而上依次层叠布置，所述弧形挡板的第一端与所述环形底板转动连接，所述弧形挡板的第二端与所述环形盖板滑动配合，所述弧形挡板的第二端的滑动方向沿所述环形盖板的径向方向，
[0010]其中，所述弧形挡板的第一端和所述弧形挡板的第二端分别为所述弧形挡板的所在圆弧的两端，
[0011]所述环形盖板与所述环形底板转动配合，所述环形盖板的内圈的直径至少等于所述环形底板的内圈的直径，所述环形盖板绕自身轴线转动同时带动所述弧形挡板的第二端沿所述环形盖板的径向方向滑动以调节多个所述弧形挡板围成的窗口的尺寸，实现蒸发角的调节。
[0012]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述环形盖板上开设有沿所述环形盖板的径向方向的滑槽，所述弧形挡板的第二端设置有滑块，所述环形盖板通过与所述滑槽滑动配合的滑块实现与所述弧形挡板的第二端的滑动配合，所述滑槽的个数与所述弧形挡板的个数相等。
[0013]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述弧形挡板的第一端设置有转动杆，所述环形底板上设置有凹槽，所述弧形挡板通过与所述转动杆配合的凹槽与所述环形底板转动连接，所述凹槽的个数与所述弧形挡板的个数相等。
[0014]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述弧形挡板的宽度至多等于所述环形底板的宽度，所述弧形挡板与所述环形底板同轴布置。
[0015]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述环形盖板的外圈设置有拨杆，所述拨杆用
于驱动所述环形盖板绕自身轴线转动。
[0016]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述拨杆与所述环形盖板一体成型。
[0017]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述环形底板的外圈设置有限位挡板，所述限位挡板高于所述环形底板的上表面，所述环形盖板位于所述限位挡板围成的圆环内且所述环形盖板的外圈与所述限位板的内壁贴合，
[0018]所述限位挡板上开设有限位槽，所述拨杆穿过所述限位槽与所述环形盖板连接，所述限位槽用于对所述拨杆进行沿所述环形底板的周向方向上的限位，用于防止所述拨杆转动过渡导致所述滑块滑出所述滑槽。
[0019]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，还包括环形压板，所述环形压板位于所述环形盖板的上方，用于压紧所述环形盖板在所述环形底板上，所述环形压板的内圈的直径至少等于所述环形盖板的内圈的直径，所述环形压板与所述环形底板可拆卸连接。
[0020]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述环形压板的外圈设置有卡钩，所述限位挡板上设置有与所述卡钩配合的卡槽，所述卡钩能够嵌入所述卡槽内。
[0021]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，还包括旋转杆和驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述旋转杆绕自身轴线转动，所述旋转杆的上端通过连接杆与所述环形底板连接，所述旋转杆的轴线与所述环形底板的轴线平行，所述旋转杆与所述连接杆垂直。
[0022]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述旋转杆与所述连接杆通过连接件连接，
[0023]所述连接杆为棱柱形杆，所述旋转杆为圆柱形杆；
[0024]所述连接件上开设有第一通孔、第二通孔和第三通孔，
[0025]其中，所述第一通孔用于供所述连接杆穿过，
[0026]所述第二通孔用于供所述旋转杆穿过，所述第二通孔的孔壁设置有内螺纹，所述旋转杆上设置有与所述内螺纹配合的外螺纹，
[0027]所述第三通孔内设置锁紧螺栓，所述锁紧螺栓用于锁紧所述连接杆在所述第一通孔内，所述第三通孔与所述第二通孔垂直。
[0028]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述旋转杆与所述连接杆铰接连接，
[0029]还包括用于调节所述环形底板与水平面之间的夹角的角度调节器。
[0030]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述角度调节器为伸缩缸，所述伸缩缸的缸体与所述旋转杆铰接，所述伸缩缸的伸缩杆与所述连接杆铰接。
[0031]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述角度调节器为丝杠组件，所述丝杠组件的丝杠与所述旋转杆铰接，所述丝杠组件的螺母与所述连接杆铰接，所述丝杠通过伺服电机驱动。
[0032]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述驱动组件包括电机、第一齿轮和第二齿轮，所述电机的输出轴与所述第一齿轮连接，所述旋转杆的下端与所述第二齿轮连接，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合。
[0033]优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述驱动组件包括电机、第一链轮、链条和第二链轮，所述电机的输出轴与所述第一链轮连接，所述第二链轮与所述旋转杆的下端连接，所述第一链轮和所述第二链轮通过所述链条连接。
[0034]从上述技术方案可以看出，本技术提供的蒸发舟挡板组件，包括环形底板、环形盖板和多个弧形挡板。环形盖板绕自身轴线转动，同时环形盖板带动弧形挡板的第二端
沿环形盖板的径向方向滑动，此时弧形挡板的第一端绕与环形底板的连接位置转动，实现多个弧形挡板围成的窗口的尺寸的调节，实现蒸发舟挡板组件对蒸发角度的调节；弧形挡板的第二端沿环形盖板滑动的距离不同，多个弧形挡板围成的窗口的尺寸也就不同，增大了蒸发舟挡板组件窗口的调节范围，增强了蒸发舟挡板组件对蒸镀场景的适应性。
附图说明
[0035]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0036]图1为本技术实施例提供的蒸发舟挡板组件的结构示意图；
[0037]图2为本技术实施例提供的蒸发舟挡板组件的主视图；
[0038]图3为本技术实施例提供的环形底板与连接杆连接的结构示意图；
[0039]图4为本技术实施例提供的环形盖板的结构示意图；
[0040]图5为本技术实施例提供的弧形挡板的结构示意图；
[0041]图6为本技术实施例提供的连接件的结构示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发舟挡板组件，其特征在于，包括环形底板(1)、环形盖板(2)和多个弧形挡板(3)，所述环形底板(1)、所述弧形挡板(3)和所述环形盖板(2)自下而上依次设置，多个所述弧形挡板(3)自下而上依次层叠布置，所述弧形挡板(3)的第一端与所述环形底板(1)转动连接，所述弧形挡板(3)的第二端与所述环形盖板(2)滑动配合，所述弧形挡板(3)的第二端的滑动方向沿所述环形盖板(2)的径向方向，其中，所述弧形挡板(3)的第一端和所述弧形挡板(3)的第二端分别为所述弧形挡板(3)的所在圆弧的两端，所述环形盖板(2)与所述环形底板(1)转动配合，所述环形盖板(2)的内圈的直径至少等于所述环形底板(1)的内圈的直径，所述环形盖板(2)绕自身轴线转动同时带动所述弧形挡板(3)的第二端沿所述环形盖板(2)的径向方向滑动以调节多个所述弧形挡板(3)围成的窗口的尺寸，实现蒸发角的调节。2.根据权利要求1所述的蒸发舟挡板组件，其特征在于，所述环形盖板(2)上开设有沿所述环形盖板(2)的径向方向的滑槽，所述弧形挡板(3)的第二端设置有滑块，所述环形盖板(2)通过与所述滑槽滑动配合的滑块实现与所述弧形挡板(3)的第二端的滑动配合，所述滑槽的个数与所述弧形挡板(3)的个数相等。3.根据权利要求1所述的蒸发舟挡板组件，其特征在于，所述弧形挡板(3)的第一端设置有转动杆，所述环形底板(1)上设置有凹槽，所述弧形挡板(3)通过与所述转动杆配合的凹槽与所述环形底板(1)转动连接，所述凹槽的个数与所述弧形挡板(3)的个数相等。4.根据权利要求1所述的蒸发舟挡板组件，其特征在于，所述弧形挡板(3)的宽度至多等于所述环形底板(1)的宽度，所述弧形挡板(3)与所述环形底板(1)同轴布置。5.根据权利要求2所述的蒸发舟挡板组件，其特征在于，所述环形盖板(2)的外圈设置有拨杆(4)，所述拨杆(4)用于驱动所述环形盖板(2)绕自身轴线转动。6.根据权利要求5所述的蒸发舟挡板组件，其特征在于，所述拨杆(4)与所述环形盖板(2)一体成型。7.根据权利要求5所述的蒸发舟挡板组件，其特征在于，所述环形底板(1)的外圈设置有限位挡板，所述限位挡板高于所述环形底板(1)的上表面，所述环形盖板(2)位于所述限位挡板围成的圆环内且所述环形盖板(2)的外圈与所述限位挡板的内壁贴合，所述限位挡板上开设有限位槽，所述拨杆(4)穿过所述限位槽与所述环形盖板(2)连接，所述限位槽用于对所述拨杆(4)进行沿所述环形底板(1)的周向方向上的限位，用于防止所述拨杆(4)转动过渡导致所述滑块滑出所述滑槽。8.根据权利要求7所述的蒸发舟挡板组件，其特征在于，还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊继光，肖平，赵志国，刘家梁，李梦洁，赵东明，秦校军，张赟，王雪玲，刘入维，汪强，张杰，
申请(专利权)人：华能新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：