双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉制造技术

技术编号:33179125 阅读:13 留言:0更新日期:2022-04-22 15:03
本实用新型专利技术公开了渗氮炉技术领域的双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉,包括炉体,所述炉体的内壁固定安装有阳极内胆,所述炉体的顶部固定安装有第一箱体,所述炉体的左侧固定安装有第二箱体,本实用新型专利技术在放置工件的时候,首先摇动摇把使夹杆分离,然后将工件放置在夹杆的内侧,然后再反向旋转摇把,通过夹杆的夹持作用来对工件进行夹紧固定,从而完成对工件的安装工作,在本实用新型专利技术中,夹杆的直径要远远小于传统放料板的面积,能够最大限度的降低工件的接触面积,使氮化效果更佳,并且该装置中的夹杆为可移动式设计,能够夹持不同大小和不同形状的工件,以提升该设备的通用性,非常值得推广。非常值得推广。非常值得推广。

【技术实现步骤摘要】
双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉


[0001]本技术涉及渗氮炉
,具体为双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉。

技术介绍

[0002]绝缘栅场效应管的种类较多,有PMOS、NMOS和VMOS功率管等,但应用最多的是MOS管。MOS绝缘栅场效应管也即金属一氧化物一半导体场效应管,通常用MOS表示,简称作MOS管。它具有比结型场效应管更高的输入阻抗(可达1012Ω以上),并且制造工艺比较简单,使用灵活方便,非常有利于高度集成化。
[0003]双极型晶体管是一种电流控制器件,电子和空穴同时参与导电,同场效应晶体管相比,双极型晶体管开关速度慢,输入阻抗小,功耗大,双极型晶体管体积小、重量轻、耗电少、寿命长、可靠性高,已广泛用于广播、电视、通信、雷达、计算机、自控装置、电子仪器、家用电器等领域,起放大、振荡、开关等作用,晶体管:用不同的掺杂方式在同一个硅片上制造出三个掺杂区域,并形成两个PN结,就构成了晶体管。
[0004]氮化处理是指一种在一定温度下一定介质中使氮原子渗入工件表层的化学热处理工艺。经氮化处理的制品具有优异的耐磨性、耐疲劳性、耐蚀性及耐高温的特性,场效应管和双极型晶体管在组装的过程中需要使用到复合器件,为了提升复合器件的特性,需要在其生产的过程中进行氮化处理,市场上主流的氮化设备为渗氮炉,但是现有的渗氮炉存在一定缺陷,在渗氮过程中,工件主要是放置在网状的支架上,由于渗氮的过程需要气体轰击工件表面进行渗氮,而工件与网状支架之间的接触面积过多,在接触面处的轰击效果较差,从而降低了产品整体的渗氮质量。
[0005]基于此,本技术设计了双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉,以解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉,包括炉体,所述炉体的内壁固定安装有阳极内胆,所述炉体的顶部固定安装有第一箱体,所述炉体的左侧固定安装有第二箱体,所述炉体的底部固定安装有配电箱;
[0008]所述炉体的内壁固定安装有上料组件,所述第一箱体的内部设置有抽真空机构,所述第二箱体的内部设置有进气机构,所述炉体的正面设置有开合门机构;
[0009]所述炉体内腔的底部固定安装有加热器。
[0010]优选的,所述上料组件包括盒体,所述盒体的两侧均焊接有横梁,所述横梁的一端固定安装在炉体的内部,所述盒体的内部转动连接有蜗杆,所述蜗杆的底部啮合有蜗轮,所
述蜗轮的内壁焊接有转杆,所述转杆的两端均贯穿到横梁的内部,所述转杆的两端均焊接有丝杆,所述丝杆的另一端与横梁的内壁转动连接,所述丝杆的表面螺纹连接有套筒,所述套筒的底部焊接有夹板,所述夹板的表面固定安装有陶瓷安装座,所述陶瓷安装座的表面固定安装有夹杆,所述夹杆的内壁固定安装有阴极导电柱。
[0011]优选的,所述抽真空机构包括真空泵,所述真空泵固定安装在第一箱体的内部,所述真空泵的进气端连通有抽气管,所述抽气管贯穿到炉体的内部,所述抽气管的表面固定安装有第一电磁阀,所述真空泵的排气端贯穿到第一箱体的外部。
[0012]优选的,所述进气机构包括抽气机,所述抽气机固定安装在第二箱体的内部,所述抽气机的进气端连通有分气管,所述分气管的左侧连通有进气管,所述进气管的左端贯穿到第二箱体的外部,所述进气管的表面固定安装有第二电磁阀,所述抽气机的排气端连通有出气管,所述出气管的另一端贯穿到炉体的内部,所述出气管的表面固定安装有第三电磁阀。
[0013]优选的,所述开合门机构包括密封槽,所述密封槽固定安装在炉体的正面,所述密封槽的内部滑动连接有活动门,所述活动门的顶部焊接有连接板,所述连接板的两端均焊接有连接块,所述炉体的两侧均固定安装有电动缸,所述电动缸的伸缩端与连接块固定安装。
[0014]优选的,所述转杆表面的两侧均套设有轴承,所述转杆通过轴承与盒体转动连接,所述蜗杆的正面固定安装有摇把。
[0015]优选的,所述横梁内腔的顶部固定安装有限位板,所述套筒的顶部开设有限位槽,所述套筒通过限位槽在限位板的表面滑动。
[0016]与现有技术相比,本技术的有益效果是:本技术在放置工件的时候,首先摇动摇把使夹杆分离,然后将工件放置在夹杆的内侧,然后再反向旋转摇把,通过夹杆的夹持作用来对工件进行夹紧固定,从而完成对工件的安装工作,在本技术中,夹杆的直径要远远小于传统放料板的面积,能够最大限度的降低工件的接触面积,使氮化效果更佳,并且该装置中的夹杆为可移动式设计,能够夹持不同大小和不同形状的工件,以提升该设备的通用性,非常值得推广。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术结构示意图;
[0019]图2为本技术炉体正视剖面图;
[0020]图3为本技术夹杆立体示意图;
[0021]图4为本技术横梁和盒体的正视剖面图;
[0022]图5为本技术蜗杆和蜗轮的局部左视图;
[0023]图6为本技术套筒的左视图;
[0024]图7为本技术图2中A处局部放大图。
[0025]附图中,各标号所代表的部件列表如下:
[0026]1、炉体;2、阳极内胆;3、第一箱体;4、第二箱体;5、配电箱;6、上料组件;61、盒体;62、横梁;63、蜗杆;64、蜗轮;65、转杆;66、丝杆;67、套筒;68、夹板;69、陶瓷安装座;610、夹杆;611、阴极导电柱;7、抽真空机构;71、真空泵;72、抽气管;73、第一电磁阀;8、进气机构;81、抽气机;82、分气管;83、进气管;84、第二电磁阀;85、出气管;86、第三电磁阀;9、开合门机构;91、密封槽;92、活动门;93、连接板;94、连接块;95、电动缸;10、加热器;11、限位板。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0028]实施例一
[0029]请参阅附图,本技术提供技术方案:双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉,包括炉体1,炉体1的内壁固定安装有阳极内胆2,炉体1的顶部固定安装有第一箱体3,炉体1的左侧固定安装有第二箱体4,炉体1的底本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的内壁固定安装有阳极内胆(2),所述炉体(1)的顶部固定安装有第一箱体(3),所述炉体(1)的左侧固定安装有第二箱体(4),所述炉体(1)的底部固定安装有配电箱(5);所述炉体(1)的内壁固定安装有上料组件(6),所述第一箱体(3)的内部设置有抽真空机构(7),所述第二箱体(4)的内部设置有进气机构(8),所述炉体(1)的正面设置有开合门机构(9);所述炉体(1)内腔的底部固定安装有加热器(10)。2.根据权利要求1所述的双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉,其特征在于:所述上料组件(6)包括盒体(61),所述盒体(61)的两侧均焊接有横梁(62),所述横梁(62)的一端固定安装在炉体(1)的内部,所述盒体(61)的内部转动连接有蜗杆(63),所述蜗杆(63)的底部啮合有蜗轮(64),所述蜗轮(64)的内壁焊接有转杆(65),所述转杆(65)的两端均贯穿到横梁(62)的内部,所述转杆(65)的两端均焊接有丝杆(66),所述丝杆(66)的另一端与横梁(62)的内壁转动连接,所述丝杆(66)的表面螺纹连接有套筒(67),所述套筒(67)的底部焊接有夹板(68),所述夹板(68)的表面固定安装有陶瓷安装座(69),所述陶瓷安装座(69)的表面固定安装有夹杆(610),所述夹杆(610)的内壁固定安装有阴极导电柱(611)。3.根据权利要求1所述的双极型三极管和绝缘栅场效应管复合器件加热离子渗氮炉,其特征在于:所述抽真空机构(7)包括真空泵(71),所述真空泵(71)固定安装在第一箱体(3)的内部,所述真空泵(71)的进气端连通有抽气管(72),所述抽气管(72)贯穿到炉体(1)的内部...

【专利技术属性】
技术研发人员:林燕刘欣杰刘有为
申请(专利权)人:武汉等离子渗氮炉有限公司
类型:新型
国别省市:

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