一种磁控异形镀膜翻转工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控异形镀膜翻转工装，包括镀膜机本体和辅助机构，镀膜机本体的内部设有翻转环，翻转环的两侧均对称设有定位机构，辅助机构包括安装环，安装环固定连接于翻转环的背面，安装环的一侧开设有条形通孔，条形通孔的内腔滑动套接有辅助板，安装环内壁的一侧开设有条形槽，辅助板的一侧与条形槽的内腔活动套接，辅助板的一侧固定连接有U型拉环。本实用新型专利技术利用安装环和辅助板的设置，通过安装环将辅助板安装在翻转环的一侧，从而对定位中的基材起到辅助支撑的作用，提高了基材定位工作的便捷性。了基材定位工作的便捷性。了基材定位工作的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控异形镀膜翻转工装


[0001]本技术涉及镀膜设备
，特别涉及一种磁控异形镀膜翻转工装。

技术介绍

[0002]磁控镀膜一般指磁控溅射镀膜，磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术。
[0003]现如今在使用磁控镀膜机对基材进行镀膜工作时，为了对基材进行连续的双面镀膜工作，一般会在磁控镀膜机的内部设置有翻转工装，由于翻转工作的两面均需处于开口的状态，故会存在基材不易定位的问题，降低了基材定位工作的便捷性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种磁控异形镀膜翻转工装，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种磁控异形镀膜翻转工装，包括镀膜机本体和辅助机构，所述镀膜机本体的内部设有翻转环，所述翻转环的两侧均对称设有定位机构；
[0006]所述辅助机构包括安装环，所述安装环固定连接于翻转环的背面，所述安装环的一侧开设有条形通孔，所述条形通孔的内腔滑动套接有辅助板，所述安装环内壁的一侧开设有条形槽，所述辅助板的一侧与条形槽的内腔活动套接，所述辅助板的一侧固定连接有U型拉环。
[0007]优选的，所述定位机构包括螺纹孔，所述螺纹孔开设于安装环的一侧，所述螺纹孔的内腔螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端转动连接有定位杆。
[0008]优选的，所述螺纹杆的另一端固定连接有转块，所述转块的外壁开设有均匀分布的条形纹。
[0009]优选的，所述翻转环的两侧均对称设有限位机构，所述限位机构包括限位滑孔，所述限位滑孔的内腔滑动套接有限位滑杆，所述限位滑杆的外壁固定连接有连接块，所述连接块的一侧与定位杆的外壁固定连接。
[0010]优选的，所述镀膜机本体的内部开设有条形驱动腔，所述条形驱动腔内壁的顶部开设有电器腔，所述电器腔的内腔固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有传动齿轮，所述传动齿轮的外壁啮合连接有不完全齿轮，所述传动齿轮和不完全齿轮均设置于条形驱动腔的内部，所述不完全齿轮的底部固定连接有第一转轴，所述第一转轴的底端贯穿条形驱动腔内壁的底部并与翻转环的顶部固定连接。
[0011]优选的，所述翻转环的底部固定连接有第二转轴，所述第二转轴的底端与镀膜机本体内壁的底部转动连接。
[0012]本技术的技术效果和优点：
[0013](1)本技术利用安装环和辅助板的设置，通过安装环将辅助板安装在翻转环
的一侧，从而对定位中的基材起到辅助支撑的作用，提高了基材定位工作的便捷性；
[0014](2)本技术利用限位滑杆和限位滑孔的设置，通过限位滑杆和限位滑孔之间的相对运动，从而保证定位杆不会跟随螺纹杆发生转动，提高了定位杆运动的平稳性，同时也提高了对基材定位的稳固性。
附图说明
[0015]图1为本技术镀膜机中剖立体结构示意图。
[0016]图2为本技术翻转环正面剖视结构示意图。
[0017]图3为本技术图1中A处局部放大结构示意图。
[0018]图4为本技术安装环正面剖视结构示意图。
[0019]图中：1、镀膜机本体；2、翻转环；3、安装环；4、辅助板；5、螺纹杆；6、定位杆；7、转块；8、限位滑杆；9、连接块；10、伺服电机；11、传动齿轮；12、不完全齿轮；13、第一转轴；14、第二转轴；15、U型拉环。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]本技术提供了如图1
‑
4所示的一种磁控异形镀膜翻转工装，包括镀膜机本体1和辅助机构，辅助机构对基材的定位工作起到辅助的作用，镀膜机本体1的内部设有翻转环2，翻转环2的两侧均对称设有定位机构，定位机构用于基材的定位工作，四个定位机构处结构相同；
[0022]辅助机构包括安装环3，安装环3固定连接于翻转环2的背面，安装环3的一侧开设有条形通孔，条形通孔的内腔滑动套接有辅助板4，辅助板4对定位中的基材起到限位承载的作用，安装环3内壁的一侧开设有条形槽，辅助板4的一侧与条形槽的内腔活动套接，辅助板4的一侧固定连接有U型拉环15，U型拉环15便于工作人员施力带动辅助板4运动；
[0023]定位机构包括螺纹孔，螺纹孔开设于安装环3的一侧，螺纹孔的内腔螺纹连接有螺纹杆5，螺纹孔内转动的螺纹杆5会发生移动，螺纹杆5的一端转动连接有定位杆6，螺纹杆5的另一端固定连接有转块7，转块7便于工作人员施力带动螺纹杆5转动，转块7的外壁开设有均匀分布的条形纹；
[0024]翻转环2的两侧均对称设有限位机构，限位机构用于防止定位杆6跟随螺纹杆5转动，四个限位机构处结构相同，限位机构包括限位滑孔，限位滑孔的内腔滑动套接有限位滑杆8，限位滑杆8的外壁固定连接有连接块9，连接块9对限位滑杆8和定位杆6之间起连接的作用，连接块9的一侧与定位杆6的外壁固定连接；
[0025]镀膜机本体1的内部开设有条形驱动腔，条形驱动腔内壁的顶部开设有电器腔，电器腔的内腔固定安装有伺服电机10，打开伺服电机10的外接开关，伺服电机10会通过传动齿轮11、不完全齿轮12和第一转轴13带动翻转环2转动，伺服电机10的输出端固定连接有传动齿轮11，传动齿轮11的外壁啮合连接有不完全齿轮12，不完全齿轮12具有原本齿轮的一
半齿纹，传动齿轮11和不完全齿轮12均设置于条形驱动腔的内部，不完全齿轮12的底部固定连接有第一转轴13，第一转轴13的底端贯穿条形驱动腔内壁的底部并与翻转环2的顶部固定连接，翻转环2的底部固定连接有第二转轴14，第二转轴14的底端与镀膜机本体1内壁的底部转动连接。
[0026]本技术工作原理：
[0027]在使用磁控镀膜机对基材进行镀膜工作前需要对基材进行定位工作，首先通过U型拉环15带动辅助板4穿过安装环3上的条形通孔进入条形槽内，之后便可将基材的一侧抵在辅助板4的正面并通过转动四个转块7，使四个转块7通过螺纹杆5带动定位杆6进行基材的定位工作，当基材的定位工作结束后通过U型拉环15取走条形通孔内的辅助板4，便可进行镀膜工作，当基材的正面镀膜工作结束后，打开伺服电机10的外接开关，伺服电机10会通过传动齿轮11和不完全齿轮12带动翻转环2和基材进行一百八十度翻转，从而可以对基材的背面进行镀膜工作。
[0028]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控异形镀膜翻转工装，包括镀膜机本体(1)和辅助机构，其特征在于，所述镀膜机本体(1)的内部设有翻转环(2)，所述翻转环(2)的两侧均对称设有定位机构；所述辅助机构包括安装环(3)，所述安装环(3)固定连接于翻转环(2)的背面，所述安装环(3)的一侧开设有条形通孔，所述条形通孔的内腔滑动套接有辅助板(4)，所述安装环(3)内壁的一侧开设有条形槽，所述辅助板(4)的一侧与条形槽的内腔活动套接，所述辅助板(4)的一侧固定连接有U型拉环(15)。2.根据权利要求1所述的一种磁控异形镀膜翻转工装，其特征在于，所述定位机构包括螺纹孔，所述螺纹孔开设于安装环(3)的一侧，所述螺纹孔的内腔螺纹连接有螺纹杆(5)，所述螺纹杆(5)的一端转动连接有定位杆(6)。3.根据权利要求2所述的一种磁控异形镀膜翻转工装，其特征在于，所述螺纹杆(5)的另一端固定连接有转块(7)，所述转块(7)的外壁开设有均匀分布的条形纹。4.根据权利要求1所述的一种磁控异形镀膜翻转工装，其特征在于，所述翻转环(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹廷位，侯宜明，
申请(专利权)人：苏州普提勒新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：