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射频激励二维列阵波导CO2 激光器制造技术

技术编号:3316143 阅读:241 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
射频激励二维列阵波导CO↓[2]激光器,主要由列阵波导1,射频电极2,接地水冷金属电极3,放电通道4,以及光学谐振腔5组成。结构特点有两块列阵波导,沿轴向放置在射频电极的两面,各列阵波导放电通道4的数量相同,尺寸形状对称一致;在射频电极上开有槽6与列阵波导中的放电通道相对应;每块列阵波导外面,分别设置水冷却接地金属电极,本激光器与一维列阵波导结构相比可进一步利用放电空间,提高激光器的输出功率,提高输出功率重量体积比,有利器件小型化。(*该技术在2014年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于射频激光器技术,涉及列阵波导CO2激光器。射频激励技术用于波导CO2激光器,是在70年代末才开始发展起来的一项新技术。这种技术发展很快,已经从单管式射频波导CO2激光器发展到折叠式射频波导CO2激光器、列阵式射频波导CO2激光器等。使激光器能在较小的体积内得较大的输出功率。美国联合技术研究中心(VTRC)用长50cm的七列阵射频CO2激光器获得了190W激光输出,预计1m长的器件可获得1KW输出。这种列阵式射频CO2激光器,既利用半导体激光列阵的原理,又避免了折叠式射频CO2激光器中存在的光损伤,能承受并得到更大的激光功率输出。这种器件在比同等长度的单管式射频波导CO2激光器稍大的体积内,能得到比单管式大得多的激光功率输出。输出激光经过相互间的相位锁定,在远场叠加,能得到高功率密度和良好质量的光斑。近几年研究表明由于实际上二维单元波导间几何结构的不等同性,使二维多单元波导列阵相干锁定的实现极为困难。因而,目前各国实际应用中仅限于采用一维波导之间的耦合及分波面的方法来实现波导之间的相干耦合。这样,为进一步提高激光器的输出功率和充分利用放电空间受到制约。本专利技术是要突破现有射频激励列阵波导CO2激光器的结构模式,达到进一步提高输出功率和充分利用放电空间的目的。为实现上述目的采用的技术方案它是一种射频激励二维列阵波导CO2激光器,由有放电通道的列阵波导、射频电极、水冷却接地金属电极和光学谐振腔组成。其结构特点有两块列阵波导,每块列阵波导沿轴向放置在射频电极的两面,每块列阵波导中放电通道数量相同,各放电通道形状尺寸对称一致;在射频电极上开有槽与两块列阵波导中的放电通道相对应;沿每块列阵波导轴向的外面,分别设置水冷却接地金属电极。本专利技术的优点1.由于采用二维列阵波导的结构方案,能更有效地利用放电空间,显著提高激光器的输出功率和输出功率重量体积比。2.本方案利用波导脊狭缝和射频电极窄缝漏模场实现二维多单元列阵波导之间的相位耦合锁定;3.本方案采用直接在电极上开槽或缝以形成波导结构并实现诸波导元相互间的耦合,结构简单,易于加工制造。参照附图进一步说明技术方案附图说明图1是现有射频激励一维列阵波导CO2激光器垂直轴向的截面结构示意图。图中1为Al2O3制造的列阵波导、2为射频电极、3为水冷却接地金属电极、4为放电通道、5为光学谐振腔。图2是本方案例1的截面结构示意图。图2所示是本专利技术创造的一种实施例。它有两块Al2O3或氧化铍制造的列阵波导1,在两块列阵波导的中间放置射频电极2,在射频电极上开有槽6,以沟通两块列阵波导间的放电通道4,两块列阵波导放电通道数量相同,尺寸形状一致对称,射频电极上槽6的数量与位置如图2所示,应与放电通道4相对应。每块列阵1的外面分别设置水冷却接地金属电极3。图3是例2的截面结构示意图。图3所示,其基本结构型式与例1类同,在射频电极2的两面分别沿轴向配置两块列阵波导,但两块列阵波导分别与水冷接地金属电极结合一体7,其上开对称一致的槽或缝9形成波导结构4,其两侧沿轴向再安装Al2O3等材料制成的绝缘条8;在射频电极2上开的槽6与列阵波导上的槽或缝9相对应。权利要求1.射频激励二维列阵波导CO2激光器,由有放电通道的列阵波导、射频电极、水冷却接地金属电极以及光学谐振腔组成,其特征是列阵波导分两块构成,各列阵波导中放电通道对称一致;射频电极设在两块列阵波导的中间,在射频电极上开有槽与两块列阵波导中放电通道相对应;两块水冷却接地金属电极分别沿轴向设置在列阵波导的外面。2.射频激励二维列阵波导CO2激光器,由有放电通道的列阵波导、射频电极、水冷接地金属电极以及光学谐振腔组成,其特征是列阵波导分两块构成,设在射频电极的两面,列阵波导与水冷接地金属电极结合一体,各块沿轴向的槽或缝对称一致,两侧沿轴向分别装有由Al2O3制成的绝缘条;射频电极上的槽与列阵波导上的槽或缝相对应全文摘要射频激励二维列阵波导CO文档编号H01S3/09GK1111406SQ9411585公开日1995年11月8日 申请日期1994年9月1日 优先权日1994年9月1日专利技术者陈钰清, 王静环 申请人:浙江大学 本文档来自技高网...

【技术保护点】
射频激励二维列阵波导CO↓[2]激光器,由有放电通道的列阵波导、射频电极、水冷却接地金属电极以及光学谐振腔组成,其特征是列阵波导[1]分两块构成,各列阵波导中放电通道[4]对称一致;射频电极[2]设在两块列阵波导的中间,在射频电极上开有槽[6]与两块列阵波导中放电通道相对应;两块水冷却接地金属电极[3]分别沿轴向设置在列阵波导的外面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈钰清王静环
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:33[中国|浙江]

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