【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于射频激光器技术,涉及列阵波导CO2激光器。射频激励技术用于波导CO2激光器,是在70年代末才开始发展起来的一项新技术。这种技术发展很快,已经从单管式射频波导CO2激光器发展到折叠式射频波导CO2激光器、列阵式射频波导CO2激光器等。使激光器能在较小的体积内得较大的输出功率。美国联合技术研究中心(VTRC)用长50cm的七列阵射频CO2激光器获得了190W激光输出,预计1m长的器件可获得1KW输出。这种列阵式射频CO2激光器,既利用半导体激光列阵的原理,又避免了折叠式射频CO2激光器中存在的光损伤,能承受并得到更大的激光功率输出。这种器件在比同等长度的单管式射频波导CO2激光器稍大的体积内,能得到比单管式大得多的激光功率输出。输出激光经过相互间的相位锁定,在远场叠加,能得到高功率密度和良好质量的光斑。近几年研究表明由于实际上二维单元波导间几何结构的不等同性,使二维多单元波导列阵相干锁定的实现极为困难。因而,目前各国实际应用中仅限于采用一维波导之间的耦合及分波面的方法来实现波导之间的相干耦合。这样,为进一步提高激光器的输出功率和充分利用放电空间受到制约。本专利技术是要突破现有射频激励列阵波导CO2激光器的结构模式,达到进一步提高输出功率和充分利用放电空间的目的。为实现上述目的采用的技术方案它是一种射频激励二维列阵波导CO2激光器,由有放电通道的列阵波导、射频电极、水冷却接地金属电极和光学谐振腔组成。其结构特点有两块列阵波导,每块列阵波导沿轴向放置在射频电极的两面,每块列阵波导中放电通道数量相同,各放电通道形状尺寸对称一致;在射频电极上开有槽 ...
【技术保护点】
射频激励二维列阵波导CO↓[2]激光器,由有放电通道的列阵波导、射频电极、水冷却接地金属电极以及光学谐振腔组成,其特征是列阵波导[1]分两块构成,各列阵波导中放电通道[4]对称一致;射频电极[2]设在两块列阵波导的中间,在射频电极上开有槽[6]与两块列阵波导中放电通道相对应;两块水冷却接地金属电极[3]分别沿轴向设置在列阵波导的外面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈钰清,王静环,
申请(专利权)人:浙江大学,
类型:发明
国别省市:33[中国|浙江]
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