一种微流体器件及其制作方法技术

本发明专利技术提供一种微流体器件及其制作方法，包括器件晶圆和喷嘴晶圆，所述器件晶圆包括衬底、绝缘层和加热器，所述绝缘层设置在衬底的顶部，所述加热器设置在绝缘层的顶部，所述绝缘层的顶部处于加热器两侧的位置处设置有金属导线，所述绝缘层、金属导线和加热器的顶部设置有钝化层，所述喷嘴晶圆包括硅片，所述硅片的底部开设有空腔，所述空腔顶部内侧壁的中心位置处开设有喷嘴，所述喷嘴和空腔的位置与加热器相对应，该微流体器件的制作方法设计合理，进一步改善打印头的制造工艺，提升打印头的可靠性，降低打印头的制造成本。降低打印头的制造成本。降低打印头的制造成本。

【技术实现步骤摘要】
一种微流体器件及其制作方法


[0001]本专利技术属于打印机制造
，特别涉及一种微流体器件及其制作方法。

技术介绍

[0002]热喷墨打印技术越来越广泛地应用于工业、商业和消费打印应用之中，在热喷墨工艺中，打印墨盒由一系列微小的腔室组成，每个腔室都包含一个加热器。为了从每个腔室喷射墨滴，电流脉冲通过加热元件，导致腔室中的墨水快速汽化并形成气泡，导致腔室内压力增加，将墨滴从喷嘴向打印纸喷出，完成打印。
[0003]热喷墨打印头技术不断演进，使每个腔室的发射速度从原来的5
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8khz增加到20khz以上，墨滴量达到5皮升。喷墨的形成与性能受到很多因素的影响，如加热器材料、腔体大小、墨水通道的设计、喷嘴的大小、墨水的性质、蒸汽泡的冷凝等，但是，现有的打印头的制造工艺还能够进一步改善，以提升打印头的可靠性，降低打印头的制造成本。为此，本专利技术提出一种微流体器件及其制作方法。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术存在的问题，本专利技术提供了一种微流体器件及其制作方法，该微流体器件及其制作方法设计合理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微流体器件，包括器件晶圆(1)和喷嘴晶圆(2)，其特征在于，所述器件晶圆(1)包括衬底(10)、绝缘层(3)和加热器(4)，所述绝缘层(3)设置在衬底(10)的顶部，所述加热器(4)设置在绝缘层(3)的顶部，所述绝缘层(3)的顶部处于加热器(4)两侧的位置处设置有金属导线(5)，所述绝缘层(3)、金属导线(5)和加热器(4)的顶部设置有钝化层(6)，所述喷嘴晶圆(2)包括硅片(7)，所述硅片(7)的底部开设有空腔(8)，所述空腔(8)顶部内侧壁的中心位置处开设有喷嘴(9)，所述喷嘴(9)和空腔(8)的位置与加热器(4)相对应。2.一种微流体器件的制作方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤一：器件晶圆的制作；具体步骤如下：
①
绝缘层的制作：在衬底上制作一层绝缘层薄膜，表面清洗，光刻工艺加工，光刻工艺包括涂胶、对准、曝光和显影，衬底是硅、蓝宝石或玻璃，首选衬底材料为硅，尺寸是3
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12寸(75
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300mm)，厚度介于500
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1000um之间，绝缘层薄膜是氧化硅或氮化硅，厚度介于1
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5um之间；
②
加热器的制作：表面清洗，通过溅射的方法在晶圆和光刻胶表面制作一层薄膜电阻层，然后剥离光刻胶表面的薄膜电阻，去除光刻胶，在绝缘层上形成加热器，表面清洗；
③
金属导线的制作：采用蒸发和溅射的方法在绝缘层和加热器上制作一层金属层，厚度为0.1
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2u...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊永辉，陈诚，
申请(专利权)人：武汉敏捷微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：