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本发明提供一种微流体器件及其制作方法，包括器件晶圆和喷嘴晶圆，所述器件晶圆包括衬底、绝缘层和加热器，所述绝缘层设置在衬底的顶部，所述加热器设置在绝缘层的顶部，所述绝缘层的顶部处于加热器两侧的位置处设置有金属导线，所述绝缘层、金属导线和加热器...
该专利属于武汉敏捷微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏捷微电子有限公司授权不得商用。

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