【技术实现步骤摘要】
一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器及其制备方法
[0001]本专利技术属于半导体红外探测器
,具体涉及一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器及其制备方法。
技术介绍
[0002]红外探测器是感知和获取目标红外辐射信息的核心器件,具有空间辨识度高、适用于全天候工作及恶劣环境等特点,在国家重大需求和国民经济发展诸多领域具有重要的应用价值。而具有双波段吸收功能的红外探测成像系统能同时获得两个不同波段的目标信息,对复杂的背景噪声进行抑制,提高对目标的探测效果,在气象遥感、导弹预警、精确制导等红外探测系统中发挥着至关重要的作用。
[0003]II类超晶格材料是近年来国内外发展迅速的一种新型红外探测材料,具有禁带宽度可调、覆盖探测波长宽、理论探测率高,与III
‑
V族半导体工艺兼容性强等特点,是下一代高性能红外焦平面探测器的优选材料。但现在常用的II类超晶格红外探测器多为单波段探测器件,并且为了获得较高的光响应强度,需要较厚的吸收层,从而导致器件的暗电流高,抑制背景噪声能力弱,应用场景受限。因此,需要优化红外探测器结构,设计超低暗电流的双波段II类超晶格红外探测器,以克服上述缺陷。
技术实现思路
[0004]有鉴于此,本专利技术的目的之一在于提供一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器;目的之二在于提供一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器的制备方法。
[0005]为达到上述目的,本专利技术提供如下技术方案:
[00 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器,其特征在于,包括以下结构:衬底层;缓冲层,外延于所述衬底层上;电极I、呈光栅阵列状的II类超晶格层,均设置在所述缓冲层上;电极II,设置在所述呈光栅阵列状的II类超晶格层上任一边缘处;金属膜层,设置在所述电极I、电极II上表面和所述II类超晶格层中光栅上表面及光栅之间。2.如权利要求1所述的一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器,其特征在于,所述II类超晶格层中光栅阵列周期P为2
‑
5μm,占空比50
‑
70%。3.如权利要求1所述的一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器,其特征在于,所述II类超晶格层由下往上依次由P掺杂层、本征中波吸收层、本征长波吸收层、N掺杂层和接触层层叠组成;所述P掺杂层厚度为500
‑
800nm,材质为Be掺杂P型InAs/GaSb,掺杂浓度为1
‑2×
10
18
/cm3;所述本征中波吸收层厚度为1
‑
2μm,材质为InAs/GaSb,InAs和GaSb的厚度比为1:1;所述本征长波吸收层厚度为1
‑
2μm,材质为InAs/GaSb,InAs和GaSb的厚度比为7:4;所述N掺杂层厚度为300
‑
500nm,材质为Si掺杂InAs/GaSb,掺杂浓度为1
‑2×
10
18
/cm3;所述接触层厚度为25
‑
50nm,材质为Si掺杂InAs,掺杂浓度为1
‑2×
10
18
/cm3。4.如权利要求1所述的一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器,其特征在于,所述衬底层材质为GaSb,厚度为500
‑
1000nm。5.如权利要求1所述的一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器,其特征在于,所述缓冲层材质为GaSb,厚度为800
‑
1000nm。6.如权利要求1所述的一种具有双波段吸收增强功能的II类超晶格红外探测器,其特征在于,所述电极I和电极II均由下往上依次由Ti层、Pt层和Au层层叠组成...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱鹏,孙泰,史浩飞,肖磊,魏兴战,熊稳,
申请(专利权)人:中国科学院重庆绿色智能技术研究院,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。