一种可调节视觉检测设备制造技术

本实用新型专利技术属于视觉检测技术领域，公开了一种可调节视觉检测设备，包括两组摄像装置、两组棱镜调节机构和两组光源调节机构，可配合半导体晶粒取出存放设备同时进行半导体晶粒的筛选和将筛选后合格的半导体晶粒放入相对应的等级序列中的工作。摄像装置上设有一个摄像组件并且可对摄像组件的位置沿X轴和Z轴可调。棱镜调节机构上设有一个棱镜，并且可对棱镜的转动角度和沿X轴和Y轴的位置可调。光源调节机构上设有一组光源，并且可对光源转动角度以及沿X轴的位置可调。每组摄像装置、每组棱镜调节结构和每组光源调节机构均可单独调节，使得半导体晶粒筛选的更加灵活和准确，结构简单，操作方便，占地面积小。占地面积小。占地面积小。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节视觉检测设备


[0001]本技术属于视觉检测
，公开了一种可调节视觉检测设备。

技术介绍

[0002]半导体在收音机、电视、显示屏以及测温等多个领域有着广泛的应用，给人们的生活带来了极大的便利。
[0003]目前人们常见的显示屏等均由可以发出不同颜色光的半导体晶粒组成，可发出不同颜色的半导体晶粒共同发光得到人们所看到的图案。测试与分选是半导体晶粒制造生产过程中的一项必要工序。半导体晶圆在切割成半导体晶粒后，会使用具有半导体晶粒分选功能的装置，例如半导体晶粒分选机，进行半导体晶粒测试和分选的动作。通常针对主波长、发光强度、光通量、色温、工作电压、反向击穿电压等几个关键参数来进行测试和分选，根据使用的要求选取相应规格的半导体晶粒，以满足高精度的使用要求。
[0004]视觉检测设备是半导体晶粒分选机的重要组成部分，对是否能筛选到准确型号的半导体晶粒起着至关重要的作用。现有的视觉检测设备是通过用光源照射半导体晶粒，使得半导体晶粒发出不同的光，摄像组件采集到半导体晶粒发出的光后对这些光进行成像以得到被检测的半导体晶粒的图像的装置，通过对被检测物的图像与参考图像进行对比分析，以确定被检测的半导体晶粒是否合格以及确定被检测的半导体晶粒的等级。
[0005]现有的视觉检测设备包括光源和摄像组件，摄像组件位于待检测的半导体晶粒的上方，沿竖直方向排布，以使半导体晶粒发出的光能够直接进入摄像组件的入光端，但是由于摄像组件沿竖直方向排布使得设备所占空间比较大，不能在比较小的空间使用，并且不方便挪动。<br/>[0006]为了解决上述问题，现有的视觉检测设备还包括棱镜，摄像组件水平设置。棱镜可将半导体晶粒发出的光进行折射，使得半导体发出的光可以经过棱镜的折射进入到水平设置的摄像组件的入光端。摄像组件水平设置可减小视觉检测设备在高度上所占的空间，使得整个设备更加紧凑，总占地面积更小。
[0007]由于半导体晶粒从半导体晶圆中筛选完成后，合格的半导体晶粒需要及时放入对应的等级系列，方便日后取用。现有技术的晶粒筛选机需要有两个视觉检测设备，一个进行晶粒的筛选工作，另一个是配合半导体晶粒取出存放设备将合格的半导体晶粒放入相应的等级序列，操作繁琐，且价格昂贵。
[0008]为了解决上述问题，现有的视觉检测设备为对称结构，配合半导体晶粒取出存放设备，一侧对切割的好的半导体晶圆上的半导体晶粒进行筛选，另一侧将筛选出的半导体晶粒放入对应的等级系列。配合具有半导体晶粒取出和存放功能的设备可以实现一侧的半导体晶粒筛选完成后立马放入另一侧的等级序列中，操作方便，效率高，成本低，占地空间小。
[0009]但是，现有的视觉检测设备上的光源、棱镜及摄像组件均为固定设置，所以，在对半导体晶粒进行筛选时不能对光源进行微调，使半导体晶粒不能得到充分的照射；也不能
调整棱镜，使得棱镜不能很准确的将半导体晶粒发出的光折射入摄像组件的入光端；也不能调整镜头的位置获得更大的视野，使得摄像组件不能充分的采集到待检测的半导体晶粒发出的光，从而使得被检测的半导体晶粒不能很好的成像，进而使得检测结果存在误差。
[0010]虽然现有技术的视觉检测设备为了提高半导体晶粒检测结果的准确性，可对相对称的光源和棱镜同时进行调节，以使得待检测的半导体晶粒得到充分的好的光照发出更加精准的光。但是，现有技术的视觉检测设备的相对称的两个光源和棱镜只能一起移动，不能实现单独调节，从而不能同时针对不同情况灵活设置两个光源和两个摄像组件的位置。当半导体晶粒筛选需要的光源与棱镜的位置和半导体晶粒放入对应等级系列所需要的光源与棱镜的位置不同时，不能对光源和棱镜的位置进行单独的调节。另外现有的视觉检测设备不能实现对安装于其上的光源、棱镜和摄像组件全部单独可调，使得视觉检测设备的操作复杂，且效率低。

技术实现思路

[0011]本技术的目的在于提供一种可实现光源、棱镜及摄像组件全部可单独调节，并且在半导体晶粒筛选的同时可以配合半导体晶粒取出存放设备将筛选完成的半导体晶粒放入相应的等级序列的占地面积小的可调节视觉检测设备，以实现半导体晶粒的筛选和将筛选完成的半导体晶粒放入相应的等级序列的灵活操控。
[0012]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0013]一种可调节视觉检测设备，包括设备架和设置于设备架上的摄像装置，作为优选地，摄像装置设置两组，每组摄像装置均包括摄像组件，摄像组件沿X轴和Z轴的位置可调；可调节视觉检测设备还包括：
[0014]两组棱镜调节机构，设置于设备架上，每组棱镜调节机构上均设置有一组棱镜，每组棱镜均与一组摄像组件的镜头对应设置，棱镜调节机构被配置为能够调节其上设置的棱镜的转动角度和沿X轴和Y轴的位置；以及
[0015]两组光源调节机构，设置于设备架上，并位于棱镜调节机构的两侧，每组光源调节机构上均设置有一组光源，光源调节机构被配置为能够调节其上设置的光源的转动角度以及沿X轴的位置。
[0016]作为优选地，光源调节机构包括：
[0017]安装架和连接轴，连接轴与安装架相连，连接轴转动并沿X轴移动设置于设备架上，安装架上设置有一组光源。
[0018]作为优选地，设备架上设置有第一安装孔，第一安装孔沿X轴方向延伸，连接轴转动设置于第一安装孔内，并能够沿第一安装孔的延伸方向移动；
[0019]设备架上设置有螺纹孔，螺纹孔与第一安装孔垂直连通，光源调节机构还包括锁定件，锁定件连接于螺纹孔内，且与连接轴相抵接。
[0020]作为优选地，棱镜调节机构包括：
[0021]第一位置调节件，沿X轴移动设置于设备架上；及
[0022]第二位置调节件，沿Y轴方向移动设置于第一位置调节件上，第二位置调节件上转动设置有一组棱镜。
[0023]作为优选地，第一位置调节件和设备架中的其中一个上开设有沿X轴延伸的第一
长型孔，第一位置调节件和设备架中的另一个上开设有第二安装孔，棱镜调节机构还包括第一紧固件，第一紧固件穿过第一长型孔与第二安装孔，以将第一位置调节件和设备架相锁定，且第一紧固件放松时能够沿第一长型孔滑动。
[0024]作为优选地，第一长型孔设置有多个，多个第一长型孔间隔设置于第一位置调节件上，每个第一长型孔对应设置一个第二安装孔。
[0025]作为优选地，第二位置调节件和第一位置调节件中的其中一个上开设有沿Y轴延伸的第二长型孔，第二位置调节件和第一位置调节件中的另一个上开设有第三安装孔，棱镜调节机构还包括第二紧固件，第二紧固件穿过第二长型孔与第三安装孔，以将第二位置调节件和第一位置调节件相锁定，且第二紧固件放松时能够沿第二长型孔滑动。
[0026]作为优选地，第二长型孔设置有多个，多个第二长型孔间隔设置于第一位置调节件上，每个第二长型孔对应设置一个第三安装孔。
[0027]作为优选地，摄像装置还包括：
[0028]摄像调节机构，设置于设备架上，摄像组件设置于摄像调节机构上，摄像调节机构被配置为能够调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调节视觉检测设备，包括：设备架(100)和设置于所述设备架(100)上的摄像装置(400)，其特征在于，所述摄像装置(400)设置两组，每组所述摄像装置(400)均包括摄像组件(430)，所述摄像组件(430)沿X轴和Z轴的位置可调；所述可调节视觉检测设备还包括：两组棱镜调节机构(200)，设置于所述设备架(100)上，每组所述棱镜调节机构(200)上均设置有一组棱镜(500)，每组所述棱镜(500)均与一组所述摄像组件(430)的镜头(4021)对应设置，所述棱镜调节机构(200)被配置为能够调节其上设置的所述棱镜(500)的转动角度和沿所述X轴和Y轴的位置；以及两组光源调节机构(300)，设置于所述设备架(100)上，并位于所述棱镜调节机构(200)的两侧，每组所述光源调节机构(300)上均设置有一组光源(600)，所述光源调节机构(300)被配置为能够调节其上设置的所述光源(600)的转动角度以及沿所述X轴的位置。2.根据权利要求1所述的可调节视觉检测设备，其特征在于，所述光源调节机构(300)包括：安装架(310)和连接轴(320)，所述连接轴(320)与所述安装架(310)相连，所述连接轴(320)转动并沿所述X轴移动设置于所述设备架(100)上，所述安装架(310)上设置有一组所述光源(600)。3.根据权利要求2所述的可调节视觉检测设备，其特征在于，所述设备架(100)上设置有第一安装孔，所述第一安装孔沿所述X轴方向延伸，所述连接轴(320)转动设置于所述第一安装孔内，并能够沿所述第一安装孔的延伸方向移动；所述设备架(100)上设置有螺纹孔，所述螺纹孔与所述第一安装孔垂直连通，所述光源调节机构(300)还包括锁定件，所述锁定件连接于所述螺纹孔内，且与所述连接轴(320)相抵接。4.根据权利要求1所述的可调节视觉检测设备，其特征在于，所述棱镜调节机构(200)包括：第一位置调节件(210)，沿所述X轴移动设置于所述设备架(100)上；及第二位置调节件(230)，沿所述Y轴方向移动设置于所述第一位置调节件(210)上，所述第二位置调节件(230)上转动设置有一组所述棱镜(500)。5.根据权利要求4所述的可调节视觉检测设备，其特征在于，所述第一位置调节...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小强，杨少刚，
申请(专利权)人：深圳市八零联合装备有限公司，
类型：新型
国别省市：