相干光源及其制造方法技术

一种高精度地控制射出角和发光位置的相干光源，将波长可变的ＤＢＲ半导体激光器（１）和光波导型ＱＰＭ－ＳＨＧ器件（２）安装在Ｓｉ底座（７）上，并将Ｓｉ底座（７）固定在管壳（１１）内来作为相干光源。管壳（１１）的底座固定面上形成了作为固定Ｓｉ底座（７）时的基准标记的基准线（Ａ）、（Ｂ）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有半导体激光器和光波导器件，并将其固定在管壳内的。
技术介绍
作为小型短波长光源，利用半导体激光器和伪相位匹配(以下称「QPM」)方式光波导型第二谐波发生(以下称「SHG」)器件(光波导型QPM-SHG器件)的相干光源引起了人们的注意(参照山本等的optics Letters Vol.16，No.15，1156(1991))。图12是使用光波导型QPM-SHG器件的SHG蓝色光源结构概略图。如图12所示，在该SHG蓝色光源中，作为半导体激光器使用了具有分布布拉格反射器(以下称「DBR」)区的波长可变DBR半导体激光器54。波长可变DBR半导体激光器54是0.85μm带的100mW级AlGaAs系列波长可变DBR半导体激光器，具有活性层区56和相位调整区57以及DBR区58。通过同时改变流向相位调整区57和DBR58的注入电流来连续地改变振荡波长。作为波长变换元件的光波导型QPM-SHG器件55由形成在0.5mm厚的X板MgO掺杂LiNbO3衬底59上的光波导60和周期性分极反转区61构成。光波导60是通过在焦磷酸中进行质子交换而形成的。另外，周期性的分极反转区61本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种相干光源，其特征在于，在底座上至少安装了半导体激光器和光波导器件，并将上述底座固定在管壳内，在上述管壳的底座固定面上形成了固定上述底座时的基准标记。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：北冈康夫，水内公典，山本和久，泷川信一，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]