表面检查装置的激光光源装置及其表面检查装置制造方法及图纸

激光光源装置２由光源单元１１构成，光源单元１１包括将从一个半导体激光器１２射出的激光聚光的一个聚光透镜１４、将从其它半导体激光器１３射出的激光聚光的其它聚光透镜１５、及使由一个聚光透镜聚光的激光和由其它的聚光透镜聚光的激光聚焦射入一个导光手段１６的射入端面１６ａ的聚焦透镜１７。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使用短波长并且输出功率低的激光二极管能提高到所希望的功率的激光光源装置、及使用该激光光源装置的表面检查装置。
技术介绍
表面检查装置中，以前已经知道一种表面检查装置，是使用激光作为光源装置的光源(参照特开2001-235429号公报)。又知道一种表面检查装置，是利用多个激光作为光源，为了消除照明亮暗不均匀，而使光点部分重叠(参照特开平7-243988号报)。还知道一种表面检查装置，是让光源的光射入光纤(导光手段)的射入端面，再从另一端面射出，照射被检查面(参照特开平4-259850号公报)。然而，近些年来，从降低功耗、减小体积、便于维修等角度出发，正采用半导体激光器(激光二极管)LD作为激光光源装置的光源。另外，从提高表面检查装置的分辨率的角度出发，希望使用短波长的半导体激光器LD。例如，以往的表面检查装置以波长515nm、输出功率75mW能检测直径55nm的异物(粒子)。若假设除光源以外的光学系统不变的条件下，要检查比上述直径更小的异物(例如直径30nm的异物)。一般，散射光的强度与粒子大小的6次方成正比并与波长的4次方成反比，而且与入射功率成正比。因而，如考虑能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光光源装置，其特征在于，这种激光光源装置由光源单元构成，光源单元包括将从一个半导体激光器射出的激光聚光的一个聚光光学系统、将从其它的半导体激光器射出的激光聚光的其它聚光光学系统、及将由一个聚光光学系统聚光的激光和由其它聚光光学 系统聚光的激光聚焦射入一个导光手段的射入端面的聚焦光学系统。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：岩阳一郎，关根明彦，宫川一宏，矶崎久，
申请(专利权)人：株式会社拓普康，
类型：发明
国别省市：JP[日本]