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表面检查装置的激光光源装置及其表面检查装置制造方法及图纸
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下载表面检查装置的激光光源装置及其表面检查装置的技术资料
文档序号:3314891
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激光光源装置2由光源单元11构成,光源单元11包括将从一个半导体激光器12射出的激光聚光的一个聚光透镜14、将从其它半导体激光器13射出的激光聚光的其它聚光透镜15、及使由一个聚光透镜聚光的激光和由其它的聚光透镜聚光的激光聚焦射入一个导光手...
该专利属于株式会社拓普康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社拓普康授权不得商用。
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