激光装置和激光波长转换装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种激光装置及激光波长转换装置。从固体激光装置的泵激室单元（３）出射的１０６４ｎｍ的基波激光入射到第１非线性光学晶体单元，由第１非线性光学晶体单元（２０）转换成２倍波并出射。基波激光和二次谐波入射到第２非线性光学晶体单元。转换成三次谐波（角频率３ω）或四次谐波（角频率４ω），并从输出窗（３４）输出激光。把非线性光学晶体单元（２０）、（３０）收容在对内部表面实施了防水处理的密闭小室内。由于将非线性光学晶体与外部大气隔离并保持在干燥气氛中，因而可防止晶体潮解，并可减少损伤。从而，使得非线性光学晶体不受湿度的影响而劣化，使激光装置能够长期以稳定的状态进行激光振荡。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光装置和激光波长转换装置，具体涉及可容易对进行波长转换的非线性光学晶体进行管理的激光装置和激光波长转换装置。
技术介绍
短波长激光装置，一般，使用非线性光学晶体的波长转换。作为一种短波长激光装置的紫外线固体激光装置的一般构成如下所述。采用波长为1064nm的Nd:YAG激光、Nd:YVO4激光、Nd:YLF激光等作为基波激光。使用非线性光学晶体，生成二次谐波。而且，生成三次或四次谐波。作为二次谐波生成用晶体，使用LBO晶体和KTP晶体。作为三次谐波生成用晶体，使用LBO晶体、BBO晶体和GdYCOB晶体。作为四次谐波生成用晶体，使用BBO晶体和CLBO晶体等。这些各非线性光学晶体，其大多具有潮解性。因此，在激光装置的长期使用中，晶体由于吸湿而发生劣化。与此同时，造成谐波激光的功率下降。但是，如专利文献1所示，尽管作为生成二次谐波的非线性光学晶体，使用KTP晶体，作为生成三次谐波的非线性光学晶体，使用BBO晶体，但是对谐振器内的湿度却未加以特别考虑。对于四次谐波生成用的非线性光学晶体CLBO，在相对湿度30％以上时，晶体发生急剧劣化。作为其具体对策，在Crystal本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光装置，该激光装置具有根据从激光源发出的激光的基波生成高次谐波的非线性光学晶体，其特征在于，具有密封小室，该密封小室具有使激光通过的贯通孔和覆盖上述贯通孔的窗，在该小室内配置上述非线性光学晶体，同时在该小室的内部表面实施防水处理。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：桥本松姬，利根俊文，天野觉，
申请(专利权)人：株式会社ORC制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]