【技术实现步骤摘要】
冷凝回收装置及清洗装备
[0001]本技术涉及半导体清洗装置
，具体地说，涉及一种冷凝回收装置及清洗装备。
技术介绍
[0002]在半导体清洗行业中，通常需要使用化学清洗剂、DI水(超纯水)进行加热后喷淋到产品表面，再通过风淋去除产品表面残留液体后，经过烘干工序完成整个清洗工艺。
[0003]风淋工序中，在清洗设备内部产生的气体，由抽气管道排走，气体中包含大量的化学清洗剂蒸汽，直接排放到大气中，不利于环保管理。大量化学清洗剂蒸发排走，导致化学清洗机消耗量大，生产成本偏高。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种冷凝回收装置及清洗装备，能有效回收超纯水和化学清洗剂，且安装方便、维护简单。
[0005]本技术公开的冷凝回收装置所采用的技术方案是:
[0006]一种冷凝回收装置，用于清洗设备上，包括抽气管道，所述抽气管道一端设进风口，另一端设出风口，所述抽气管道出风口连通冷凝仓，所述冷凝仓内设冷凝器，所述冷凝器用于冷凝回收超纯水和化学清洗剂，所述抽气管道上还开设冷凝回流口，所述...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷凝回收装置，用于清洗设备上，其特征在于，包括抽气管道，所述抽气管道一端设进风口，所述进风口与清洗设备的腔体连通，所述抽气管道另一端设出风口，所述抽气管道出风口连通冷凝仓，所述冷凝仓内设冷凝器，所述冷凝器用于冷凝回收超纯水和化学清洗剂，所述抽气管道上还开设冷凝回流口，所述冷凝回流口位于冷凝仓下方。2.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述冷凝仓包括仓体和盖设于仓体的抽风盖板，所述冷凝器设于仓体内，所述抽气管道的出风口连通仓体，所述抽风盖板上开设抽风口，所述抽风口与外部抽风装置连接。3.如权利要求2所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述抽风盖板与仓...
【专利技术属性】
技术研发人员：方敏，董辉，
申请(专利权)人：深圳市山木电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。