X射线管装置制造方法及图纸

根据本发明专利技术的实施方式，X射线管装置包括释放电子的阴极、通过从所述阴极释放的电子的冲击而产生X射线的阳极靶、第一管部、与所述第一管部一起形成冷却液的流路的第二管部以及保护膜。所述保护膜覆盖所述第一管部的内表面，并由硬质金形成。并由硬质金形成。并由硬质金形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】X射线管装置


[0001]本专利技术的实施方式涉及X射线管装置。

技术介绍

[0002]用于荧光X射线分析的X射线管装置包括阴极、阳极靶、冷却管、引水管、连接引水管和冷却管的接头连接部(以下称为接头)。X射线管装置具备冷却液流路，用于冷却冷却管、引水管、接头和由其它结构体构成的阳极靶。阳极靶接合在构成该流路的结构体外侧的规定位置。引水管和冷却管分别连接到接头。引水管例如由设置在内侧的内侧管和设置在外侧的外侧管构成。内侧管的前端喷嘴部设置成沿设置有阳极靶的方向释放冷却液。在这种情况下，冷却管由通过接头连接到内侧管的第一冷却管和通过接头连接到外侧管的第二冷却管构成。在该X射线管装置中，冷却液通过第一冷却管经由接头送至内侧管，并通过内侧管和外侧管之间的流路经由接头从第二冷却管排出。
[0003]在X射线管装置中，阴极释放的电子冲击阳极靶，从而阳极靶及其周边部分变为高温。阳极靶及其周边部分由流过构成在附近的流路的冷却液来冷却。在冷却液流过的流路内的设置有阳极靶的部分附近的流路的壁面上，有可能发生冷却液的过冷沸腾、或在冷却液流动过程中产生空腔等。由于这些过冷沸腾、空腔等，在设置有阳极靶的部分附近的流路、即内侧管道的前端喷嘴部附近，将产生气泡。现有技术文献专利文献
[0004]专利文献1：日本专利特开平6－162974号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0005]本实施方式提供一种能够实现产品寿命长期化的X射线管装置。用于解决技术问题的技术手段
[0006]一个实施方式所涉及的X射线管装置包括：阴极，该阴极释放电子；阳极靶，该阳极靶通过由所述阴极释放的电子冲击而产生X射线；第一管部，该第一管部具有一端部、以及包含被封闭且与所述阳极靶接合的底部的另一端部；第二管部，该第二管部位于所述第一管部的内部，具有第一端部和第二端部，并与所述第一管部一起形成所述冷却液的流路，所述第一端部形成有获取冷却液的入口，所述第二端部与所述底部相对并形成有向所述底部喷出所述冷却液的喷出口；以及保护膜，该保护膜覆盖所述第一管部的内表面，并由硬质金形成。
附图说明
[0007]图1是表示一个实施方式所涉及的X射线管装置的剖视图。图2是用图表方式示出保护膜的厚度相对于上述实施方式的保护膜和比较例的保
护膜分别暴露于冷却液的时间的变化的图。图3是分别用图表方式示出耐腐蚀阻力相对于硬质金中的钴的含量的变化以及热传导率相对于硬质金中的钴的含量的变化的图。
具体实施方式
[0008]下面，参照附图对本专利技术的一个实施方式进行说明。另外，公开只是一个示例，对本领域技术人员而言，关于具备专利技术的主旨的适当变更能够容易想到，当然也包含在本专利技术的范围内。此外，为了进一步明确说明，附图中，与实际的情况相比，有时示意性地表示各部分的宽度、厚度、形状等，这些只是一个示例，并不对本专利技术的理解进行限定。此外，在本说明书和各附图中，关于所述图对于与上述相同的要素可以标注相同的标号，并且适当省略详细的说明。
[0009]图1是表示一个实施方式所涉及的X射线管装置1的剖视图。图1(a)是表示上述X射线管装置1全体的剖视图，图1(b)是放大上述X射线管装置1的一部分后的局部剖视图，图1(c)是放大上述实施方式的X射线管装置1的另一部分后的局部剖视图。在图1(a)中，以管轴TA为中心示出X射线管装置1的一部分的剖面。以下，将与管轴TA平行的方向称为轴向。在轴向上，将X射线管2侧称为下方向(下侧)，将与下方向相反的方向称为上方向(上侧)。另外，将与管轴TA垂直的方向称为径向。
[0010]如图1所示，X射线管装置1包括X射线管2和包含该X射线管2的管容器3。此外，X射线管装置1包括用于插入连接高压电缆的高压插座4、冷却管5、接头连接部(以下简称为接头)6、引水管7、用于电连接高压插座4和引水管7的导体弹簧8、设置在高压插座4的外侧的圆柱形状的绝缘圆柱体9、以及用于隔离调整空间10和内部空间22的波纹管11。
[0011]高压插座4形成为上端部开口、且下端部封闭的有底圆柱形状，以连接高压电缆。高压插座4以液密方式设置在以管轴TA为中心轴的后述的管容器3的上侧。高压插座4包括从内侧贯穿至外侧的底部的连接端子12。连接端子12包括插入高压插座4的外部电路的衬套和端子。连接端子12经由导体弹簧8连接到接头6。绝缘圆柱体9由大致圆柱形状的绝缘体形成。绝缘圆柱体9虽然未图示，但设为绝缘油能够流通的构造。绝缘圆柱体9的上端部例如固定在管容器3的内侧。
[0012]冷却管5是用于流过冷却液、例如作为水冷却液的纯水的导管。冷却管5螺旋状地设置在高压插座4和绝缘圆柱体9之间。冷却管5由第一冷却管5b和第二冷却管5c构成，第一冷却管5b具有供应冷却液的供水口5a，第二冷却管5c具有排出冷却液的排出口5d。在第一冷却管5b中，供水口5a连接到作为冷却液供给源的循环冷却装置等(未图示)，并且供水口5a相反侧的端部连接到接头6。另一方面，在第二冷却管5c中，排出口5d连接到循环冷却装置等(未图示)，排出口5d相反侧的端部连接到接头6。另外，冷却管5也可以不以螺旋状设置。
[0013]接头6设置在X射线管装置1的中心部、例如管轴TA上，并连接冷却管5和引水管7。接头6具有主体部6a，主体部6a形成有三个孔，即：第一通路6p1、大致平行于第一通路6p1形成的第二通路6p2、以及垂直于第一通路6p1和第二通路6p2形成的第三通路6p3。
[0014]例如，如图1(b)所示，第一通路6p1在主体部6a的上部形成为基本上垂直于管轴TA，并且从侧面部(外周部)连通至第三通路6p3。同样地，第二通路6p2在主体部6a的第一通
路6p1的更下部形成为基本上垂直于管轴TA，并且从侧面部连通至第三通路6p3。也就是说，第一通路和第二通路6p1和6p2分别在主体部6a的侧面部、在垂直于管轴TA的方向上开口。此外，第一冷却管5b以液密方式连接到第一通路6p1，第二冷却管5c以液密方式连接到第二通路6p2。第三通路6p3形成为沿管轴TA从主体部6a的下端部连通至第一通路6p1，并且在从连接到第二通路6p2的部分起到连接到第一通路6p1的部分之间具有阶差。也就是说，第三通路6p3形成为沿管轴TA朝向下部开口，并且与第一通路6p1连接的部分的孔径小于与第二通路6p2连接的部分的孔径。以下，在第三通路6p3中，将连接到第一通路6p1的孔径较小的部分称为小径部，将连接到第二通路6p2的孔径较大的部分称为大径部。
[0015]引水管7包括形成为圆柱形状的外侧管7a和设置在外侧管7a内侧的圆柱形状的内侧管7b。此外，引水管7在内部包括弹性构件23和支承构件25。引水管(管部)7沿轴向、例如沿管轴TA延伸设置，并连接到接头6的下部。
[0016]外侧管7a以液密方式分别连接到接头6的主体部6a的下部和后述的阳极块14的上部。外侧管7a的内径形成为与第三通路6p3的小径部大致相同的直径。
[0017]内侧管7b形成为小于外侧管7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种X射线管装置，其特征在于，包括：阴极，该阴极释放电子；阳极靶，该阳极靶通过由所述阴极释放的电子的冲击而产生X射线；第一管部，该第一管部具有一端部、以及包含被封闭且与所述阳极靶相接合的底部在内的另一端部；第二管部，该第二管部位于所述第一管部的内部，具有第一端部和第二端部，并与所述第一管部一起形成所述冷却液的流路，所述第一端部形成有获取冷却液的入口，所述第二端部与所述底部相对并形成有...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边利巳，吉泽博文，曾根准基，
申请(专利权)人：佳能电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：