晶片载置台制造技术

本发明专利技术提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、以及电源侧的第一及第二安装孔(61、62)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。第一供电部件(31)具备使第一供电部件(31)从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行方向转换的金属构件(31a)。第二供电部件(32)也是同样的。二供电部件(32)也是同样的。二供电部件(32)也是同样的。

【技术实现步骤摘要】
晶片载置台


[0001]本专利技术涉及晶片载置台。

技术介绍

[0002]在半导体制造装置中，采用用于对晶片进行加热的陶瓷加热器。作为这样的陶瓷加热器，如专利文献1所公开的那样，已知有在埋设有内周侧电阻发热体和外周侧电阻发热体的陶瓷板的背面接合有陶瓷轴的陶瓷加热器。在该陶瓷加热器中，通过对每个电阻发热体经由供电部件分别施加电压，从而能够独立地控制来自各电阻发热体的发热。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2003
‑
133195号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的课题
[0007]在这样的陶瓷加热器中，有时设置于设置陶瓷加热器的设置台上的供电部件的安装位置与设置于陶瓷板上的供电部件的安装位置相比更密集地设置。在该情况下，使供电部件在陶瓷轴内弯曲，但由于埋设于陶瓷加热器的片体与供电部件的接合部会受负荷(力矩)，因此存在接合部有可能脱落这样的问题。该问题在俯视时供电部件的安装位置和与其对应的陶瓷轴的安装位置偏离的情况下可能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶片载置台，具备：具有晶片载置面的陶瓷板；埋设于所述陶瓷板中的电极；中空的陶瓷轴，其设置于所述陶瓷板的与所述晶片载置面相反侧的面上；供电部件，其配置在所述陶瓷轴内，与所述电极的端子连接，供给来自电源的电力；板侧安装位置，在所述陶瓷板中被所述陶瓷轴包围的区域中，与所述电极的端子对应地设置，用于安装所述供电部件；以及电源侧安装位置，在所述陶瓷轴的自由端侧，与所述板侧安装位置对应地且以俯视时与所述板侧安装位置偏离的方式设置，用于安装所述供电部件，所述供电部件具有使所述供电部件从所述电源侧安装位置向所述板侧安装位置强制地进行方向转换的方向转换部。2.根据权利要求1所述的晶片载置台，所述电极是包含加热器电极的多个电极，所述供电部件以与多个所述电极的各个端子连接的方式设置有多个，所述板侧安装位置在所述区域中与所述多个电极的各个端子对应地设置有多个，所述电源侧安装位置与多个所述板侧安装位置对应地设置有多个，多个所述电源侧安装位置中的至少1个在俯视时与对应的所述板侧安装位置偏离，多个所述供电部件中安装于相偏离的所述电源侧安装位置和所述板侧安装位置的所述供电部件具备所述方向转换部...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩田祐磨，井上靖也，渡边玲雄，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：