晶片载置台制造技术

本发明专利技术提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、以及电源侧的第一及第二安装孔(61、62)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。第一供电部件(31)具备使第一供电部件(31)从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行方向转换的金属构件(31a)。第二供电部件(32)也是同样的。二供电部件(32)也是同样的。二供电部件(32)也是同样的。

【技术实现步骤摘要】
晶片载置台


[0001]本专利技术涉及晶片载置台。

技术介绍

[0002]在半导体制造装置中，采用用于对晶片进行加热的陶瓷加热器。作为这样的陶瓷加热器，如专利文献1所公开的那样，已知有在埋设有内周侧电阻发热体和外周侧电阻发热体的陶瓷板的背面接合有陶瓷轴的陶瓷加热器。在该陶瓷加热器中，通过对每个电阻发热体经由供电部件分别施加电压，从而能够独立地控制来自各电阻发热体的发热。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2003
‑
133195号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的课题
[0007]在这样的陶瓷加热器中，有时设置于设置陶瓷加热器的设置台上的供电部件的安装位置与设置于陶瓷板上的供电部件的安装位置相比更密集地设置。在该情况下，使供电部件在陶瓷轴内弯曲，但由于埋设于陶瓷加热器的片体与供电部件的接合部会受负荷(力矩)，因此存在接合部有可能脱落这样的问题。该问题在俯视时供电部件的安装位置和与其对应的陶瓷轴的安装位置偏离的情况下可能会发生。另外，虽然也存在使用电缆作为供电部件的结构，但电缆虽能够挠曲但刚性在一定程度上高，接合部的负荷无法充分降低，因此无法充分解决该问题。
[0008]本专利技术是为了解决这样的课题而完成的，其主要目的在于在晶片载置台中，防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落。
[0009]用于解决课题的方案
[0010]本专利技术的晶片载置台具备：
[0011]具有晶片载置面的陶瓷板；
[0012]埋设于所述陶瓷板中的电极；
[0013]中空的陶瓷轴，其设置于所述陶瓷板的与所述晶片载置面相反侧的面上；
[0014]供电部件，其配置在所述陶瓷轴内，与所述电极的端子连接，供给来自电源的电力；
[0015]板侧安装位置，在所述陶瓷板中被所述陶瓷轴包围的区域中，与所述电极的端子对应地设置，用于安装所述供电部件；以及
[0016]电源侧安装位置，在所述陶瓷轴的自由端侧，与所述板侧安装位置对应地且以俯视时与所述板侧安装位置偏离的方式设置，用于安装所述供电部件，
[0017]所述供电部件具有使所述供电部件从所述电源侧安装位置向所述板侧安装位置强制地进行方向转换的方向转换部。
[0018]在该晶片载置台中，相互对应的板侧安装位置和电源侧安装位置在俯视时偏离。另外，供电部件具有方向转换部。方向转换部使供电部件从电源侧安装位置向板侧安装位置强制地进行方向转换。该方向转换部抑制使供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落那样的负荷(力矩)施加于供电部件。因此，能够防止供电部件从端子脱落。需说明的是，电源侧安装位置只要设置于陶瓷轴的自由端侧即可，例如，可以是设置在安装于陶瓷轴的自由端侧的部件上的孔，也可以是在没有这样的部件的状态下由陶瓷轴的自由端侧的空间所界定的位置。
[0019]在本专利技术的晶片载置台中，也可以是，所述电极是包含加热器电极的多个电极，所述供电部件以与多个所述电极的各个端子连接的方式设置有多个，所述板侧安装位置在所述区域中与所述多个电极的各个端子对应地设置有多个，所述电源侧安装位置与多个所述板侧安装位置对应地设置有多个，多个所述电源侧安装位置中的至少1个在俯视时与对应的所述板侧安装位置偏离，多个所述供电部件中安装于相偏离的所述电源侧安装位置和所述板侧安装位置的所述供电部件具备所述方向转换部。这样，能够防止多个供电部件中安装于在俯视时相偏离的电源侧安装位置和板侧安装位置的供电部件从端子脱落。
[0020]在该情况下，多个所述电源侧安装位置也可以均在俯视时与对应的所述板侧安装位置偏离。这样，所有的供电部件通过方向转换部以强制地进行了方向转换的姿势被保持。另外，所述供电部件也可以在所述陶瓷板侧具有凸缘。供电部件的凸缘例如用于在将供电部件加压接合或加热加压接合于板侧安装位置时将供电部件向板侧安装位置按压。这样的凸缘的直径比供电部件的直径大。相邻的供电部件的凸缘彼此需要确保绝缘，相邻的板侧安装位置彼此需要不发生沿面放电。因此，在使用具有凸缘的供电部件的情况下，板侧安装位置需要比电源侧安装位置稀疏(换言之，电源侧安装位置比板侧安装位置更密集)，在俯视时，板侧安装位置与电源侧安装位置容易偏离。因此，适合于应用本专利技术。需说明的是，如后所述，在金属构件具有主体部和电缆保持部的情况下，也可以在主体部与电缆保持部的边界具有凸缘。
[0021]在本专利技术的晶片载置台中，也可以是，所述供电部件具备：与所述电极的端子接合的金属构件；以及与所述金属构接合且从所述金属构件朝向所述电源侧安装位置延伸的电缆，所述金属构兼作为所述方向转换部。这样，由于金属构兼作为方向转换部，因此不需要分别设置金属构件和方向转换部。金属构件的刚性高，不挠曲。电缆是具有刚性却能够挠曲的部件。电缆可以在与接合于金属构件的端部为相反侧的端部具有杆，也可以将该杆安装于电源侧安装位置。
[0022]在这样的晶片载置台中，也可以是，所述金属构件具备：主体部，其从所述板侧安装位置沿着所述陶瓷轴的轴向形成；以及电缆保持部，其与所述主体部一体化，将从所述电源侧安装位置沿着所述陶瓷轴的轴向延伸的所述电缆以强制地倾斜弯曲的姿势保持。
[0023]或者，也可以是，所述金属构件具备：主体部，其从所述板侧安装位置沿着所述陶瓷轴的轴向形成；以及电缆保持部，其以从所述主体部向与所述陶瓷轴的轴向正交的方向偏离的状态与所述主体部一体化，将从所述电源侧安装位置沿着所述陶瓷轴的轴向延伸的所述电缆以原样的姿势保持。这样，由于没有强制地弯曲电缆的部位，因此供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的负荷(力矩)不会施加到供电部件上。
[0024]在本专利技术的晶片载置台中，也可以是，所述供电部件与所述电极的端子焊接。焊接
与螺钉等机械接合相比，在负荷施加到供电部件时容易脱落。因此，适合于应用本专利技术。
附图说明
[0025]图1是陶瓷加热器10的立体图。
[0026]图2是陶瓷板20的俯视图。
[0027]图3是陶瓷加热器10的纵剖视图。
[0028]图4是表示各端子孔23a、24a、27a与各安装孔61～63的位置关系的概略俯视图。
[0029]图5是图3的局部放大图。
[0030]图6是图5的A视图。
[0031]图7是按压夹具70的剖视图。
[0032]图8是图3的局部放大图。
[0033]图9是表示RF供电部件33的前端周边的纵剖视图。
[0034]图10是表示第一供电部件81的前端周边的纵剖视图。
[0035]图11是图10的B视图。
[0036]图12是按压夹具90的剖视图。
[0037]图13是表示第一供电部件131的前端周边的纵剖视图。
[0038]图14是表示第一供电部件231的前端周边的纵剖视图。
[0039]符号说明
[0040]10：陶瓷加热器，20：陶瓷板，20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶片载置台，具备：具有晶片载置面的陶瓷板；埋设于所述陶瓷板中的电极；中空的陶瓷轴，其设置于所述陶瓷板的与所述晶片载置面相反侧的面上；供电部件，其配置在所述陶瓷轴内，与所述电极的端子连接，供给来自电源的电力；板侧安装位置，在所述陶瓷板中被所述陶瓷轴包围的区域中，与所述电极的端子对应地设置，用于安装所述供电部件；以及电源侧安装位置，在所述陶瓷轴的自由端侧，与所述板侧安装位置对应地且以俯视时与所述板侧安装位置偏离的方式设置，用于安装所述供电部件，所述供电部件具有使所述供电部件从所述电源侧安装位置向所述板侧安装位置强制地进行方向转换的方向转换部。2.根据权利要求1所述的晶片载置台，所述电极是包含加热器电极的多个电极，所述供电部件以与多个所述电极的各个端子连接的方式设置有多个，所述板侧安装位置在所述区域中与所述多个电极的各个端子对应地设置有多个，所述电源侧安装位置与多个所述板侧安装位置对应地设置有多个，多个所述电源侧安装位置中的至少1个在俯视时与对应的所述板侧安装位置偏离，多个所述供电部件中安装于相偏离的所述电源侧安装位置和所述板侧安装位置的所述供电部件具备所述方向转换部...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩田祐磨，井上靖也，渡边玲雄，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：