【技术实现步骤摘要】
一种磁编码器芯片
[0001]本专利技术实施例涉及旋转角度测量领域，尤其涉及一种磁编码器芯片。
技术介绍
[0002]目前用于高性能角度测量的旋转编码器解决方案主要为光电式和磁电式两种，其中采用光电式原理的光编码器相对磁编码器测量精度高，但抗恶劣环境干扰能力较差，由灰尘造成的光路遮挡对测量精度影响极大；磁编码器原理为磁场测量，对恶劣环境具有优秀的抵抗能力，但测量精度受敏感元件自身信号-角度相关性以及器件排布影响带来角度误差，自身精度低于光编码器。
技术实现思路
[0003]本专利技术实施例提供一种磁编码器芯片，以实现角度或位置的高精度检测。
[0004]本专利技术实施例提供的磁编码器芯片包括：
[0005]晶圆基板；
[0006]3个或6个扇形磁阻群；每个扇形磁阻群的扇形圆心角为60
°
，所有扇形磁阻群沿同一扇形圆心等角度均匀分布在晶圆基板上且互不交叠；每个扇形磁阻群包括n行圆弧形磁阻段，圆弧形磁阻段的圆心与扇形圆心相同，每行圆弧形磁阻段包括m个磁阻单元，其中，m和n
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁编码器芯片，其特征在于，包括：晶圆基板；3个或6个扇形磁阻群；每个所述扇形磁阻群的扇形圆心角为60
°
，所有所述扇形磁阻群沿同一扇形圆心等角度均匀分布在所述晶圆基板上且互不交叠；每个所述扇形磁阻群包括n行圆弧形磁阻段，所述圆弧形磁阻段的圆心与所述扇形圆心相同，每行所述圆弧形磁阻段包括m个磁阻单元，其中，m和n均为自然数且m
×
n＝35；每行所述圆弧形磁阻段中相邻两个所述磁阻单元的几何中心与所述扇形圆心构成的圆心角为在各行所述圆弧形磁阻段中排位相同的所述磁阻单元与所述扇形圆心形成n条相交于所述扇形圆心的连线，相邻两条所述连线之间的夹角为且任意两个所述夹角不相等，其中，1≤a≤n-1，且a为自然数；多个引线焊盘，所述引线焊盘与所述扇形磁阻群位于所述晶圆基板的同一表面，所述扇形磁阻群与所述引线焊盘通过连接引线连接。2.根据权利要求1所述的一种磁编码器芯片，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：祁彬，薛松生，
申请(专利权)人：江苏多维科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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