脉冲气体激光器的预电离装置制造方法及图纸

本发明专利技术脉冲气体激光器的预电离装置，涉及气体激光器技术，适用于高重复频率脉冲气体激光器的预电离装置。本发明专利技术中表面预电离阵列位于主电极阴极一侧或两侧。该阴极同时也是预电离阵列电极对中的一个公共电极，预电离阵列电极对的另一个电极由多个相同的窄金属片组成。该金属片均匀敷在绝缘介质板上，绝缘介质板另一侧与主电极阴极侧面紧密相连。每个金属片与公共阴极形成电极对，当高压脉冲加在该电极对时，通过绝缘介质板表面形成多通道滑闪放电，产生高效的紫外光，为主放电空间提供丰富的初始电子。绝缘介质板还有均匀气流和减少气流损失的作用。这种结构有利于更高效地产生激光和延长气体的使用寿命，有较高的实用价值。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术与气体激光器有关，特别是一种高重复频率脉冲气体激光器的表面多通道滑闪预电离装置。
技术介绍
脉冲气体激光器的性能(包括最大注入能量密度、激光光束质量等)，特别是TEACO2激光器、准分子激光器、脉冲HF/DF化学激光器，主要依赖于气体介质的预电离程度，即依赖于放电空间在放电发展的起始阶段的电子浓度的分布情况，最常见的两种预电离方案是自由火花预电离和电晕预电离，对于高气压脉冲气体激光器，自由火花预电离比电晕预电离更有效。自由火花预电离发生的过程如下储能电容通过电阻由高压电源充至特定高压，高压开关闭合后，由于预电离火花针间的距离比主放电电极间的距离小得多，因此先发生放电。产生的紫外光会使放电空间内的气体产生初始预电离。在自由火花预电离时，产生预电离放电的火花针极容易烧蚀，如果某些火花针烧蚀尤为严重，将引起火花针间预电离放电的不同步，这将直接导致主放电的不均匀，影响激光器输出性能(包括激光脉冲能量、时间和空间分布)的重复性。在多次放电后，还容易产生污染物，降低气体的使用寿命，而且火花针极易烧蚀，需要经常更换。由于自由火花针对风速有很大的阻挡作用，这种结构也不利于激光器重复频率运本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脉冲气体激光器的预电离装置，为表面多通道滑闪预电离装置，其特征在于，ａ）脉冲气体放电激光器中，主放电电极由一对均匀场实心电极组成；ｂ）主放电电极形成的放电空间的初始电子由表面多通道滑闪放电提供，产生预电离放电的电极对中一个公共电极为主放电电极阴极，相对的另一电极为复数个均匀分布的窄金属片，两者由绝缘介质板连接，该介质板为滑闪放电提供爬电通道；ｃ）每一个滑闪放电通道中的窄金属片都与各自独立、相同大小的耦合电容直接相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：柯常军，吴谨，谭荣清，万重怡，刘世明，张阔海，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]