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本发明脉冲气体激光器的预电离装置，涉及气体激光器技术，适用于高重复频率脉冲气体激光器的预电离装置。本发明中表面预电离阵列位于主电极阴极一侧或两侧。该阴极同时也是预电离阵列电极对中的一个公共电极，预电离阵列电极对的另一个电极由多个相同的窄金属...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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