一种微区X射线光谱分析系统技术方案

本发明专利技术提供一种微区X射线光谱分析系统，包括：X射线光束会聚模块、样品探测模块、计算机；所述X射线光束会聚模块用于获得聚焦的X射线微焦斑；所述X射线微焦斑包括多色微区X射线微焦斑和单色微区X射线微焦斑；所述样品探测模块用于探测样品被所述X射线微焦斑激发后所产生的特征信号；所述计算机用于根据所述特征信号获得样品表面相关信息。本发明专利技术提出的微区X射线光谱分析装置采用组合透镜的方式，通过毛细管透镜与平晶的组合，可以根据需求产生多色或单色聚焦X射线微束，扩展了其应用范围。扩展了其应用范围。扩展了其应用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种微区X射线光谱分析系统


[0001]本专利技术涉及微区X射线光谱分析
，尤其涉及一种基于毛细管X 光聚焦光学器件的微区X射线光谱分析系统。

技术介绍

[0002]微区X射线光谱分析技术相比于常规X射线光谱分析技术能够获得待测样品的局部信息，经过逐点扫描分析可以获得样品表面信息，其在材料，生物，文物鉴定，化学分析等领域具有广泛应用。
[0003]微区X射线光谱分析技术发展与X射线光学聚焦器件的发展密不可分, 光学器件聚焦性能决定了微区X射线光谱分析装置性能。上世纪90年代苏联科学家Kumakhov专利技术的毛细管X光透镜是目前微区X射线分析装置常用的X射线聚焦器件之一。毛细管X光透镜基于表面全返射原理制造而成，具有高带宽，广角的特点。因此毛细管X光透镜所会聚X射线光束为多色X 射线，会聚多色X射线和单色X射线相比，既有优势又有劣势，优势是会聚光源的多色X射线其光子利用率高，所产生微焦斑光强增益高，探测效率高。另一方面，劣势体现在，例如用于X射线荧光光谱分析，会聚的多色X射线束产生噪声较多，信噪比较差。然而，目前的微区X射线光谱分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微区X射线光谱分析系统，其特征在于，包括：X射线光束会聚模块、样品探测模块、计算机；所述X射线光束会聚模块用于获得聚焦的X射线微焦斑；所述X射线微焦斑包括多色微区X射线微焦斑和单色微区X射线微焦斑；所述样品探测模块用于探测样品被所述X射线微焦斑激发后所产生的特征信号；所述计算机用于根据所述特征信号获得样品表面相关信息。2.根据权利要求1所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，所述X射线光束会聚模块包括能够产生多色微区X射线微焦斑的多色会聚单元；所述多色会聚单元包括：X射线光源(1)、遮光器(2)、对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)、对称设置的两个抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)；所述X射线光源(1)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)前焦点处，所述遮光器(2)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)的入射光或出射光处，用于阻挡直通光；所述对称设置的两抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)后用于接收其出射的多色X射线束，并将其会聚为微焦斑，并照射在样品(7)表面。3.根据权利要求1所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，所述X射线光束会聚模块包括能够产生单色微区X射线微焦斑的单色会聚单元；所述单色会聚单元包括：X射线光源(1)、遮光器(2)、对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)、对称设置的两个抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)、单色器(10)；所述X射线光源(1)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)前焦点处，所述遮光器(2)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)的入射光或出射光处，用于阻挡直通光；所述单色器(10)用于将所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)所出射的多色准平行光束以一定角度入射至单色器(10)，并将其转变为准单色X射线束，并出射至所述对称设置的两个抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)上；所述对称设置的两抛物线型单毛细管聚焦透镜(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙学鹏，孙天希，李成波，
申请(专利权)人：北京师范大学，
类型：发明
国别省市：