一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风制造技术

本发明专利技术公开一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，包括置于衬底上表面的绝缘支撑层、分别置于绝缘支撑层两侧的第一、第二压电振膜。衬底采用长方体或者相距一定距离且两底面上有两边相等的三棱柱体形状相同的立体结构。所述两个结构相同的衬底均为每个压电振膜以极少部分设置在绝缘支撑层上，其余部分悬浮设置。本发明专利技术解决了现有技术中存在空腔大小不足、麦克风灵敏度不高、实现声源识别能力需采用大面积压电振膜但声源识别能力不高的问题，使得本发明专利技术具有更小的面积与更好的声源识别能力的优点。本发明专利技术在实际应用于系统芯片中时，不仅占用面积小同时具有更高的灵敏度。灵敏度。灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风


[0001]本专利技术属于电子
，更进一步涉及声电转换
中的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风。本专利技术可用于人耳能听见的声波频段，在满足声电转换的情况下，实现对声波甚至微弱声波信号的感知与采集，同时具有一定的方向识别性，适用于各类电子设备对各种可听声音信号的采集。

技术介绍

[0002]压电麦克风主要与声信号的收集密切相关，其所需的驱动电压、在芯片上的占用面积、受外界环境因素的干扰、信噪比等方面都具良好的可靠性与兼容性而特别适合于目前电子产品高度集成、低功耗发展趋势。然而，由于压电式麦克风本身的结构特点，使得灵敏度这个重要的参数并不理想。所以在实际的应用中会因为灵敏度不高的问题导致对某些微弱声波采集时存在漏声的情况而影响它所在设备的可靠性；同时为了实现声源方向识别，通常会采用多个麦克风而使得在集成到专用芯片上时，其占用面积大而不利于提高集成度。
[0003]中国科学院声学研究所在其申请的专利文献“一种压电传感器及麦克风”(申请号：202110031170.6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，包括置于衬底上表面的绝缘支撑层，其特征在于，还包括分别置于绝缘支撑层两侧的压电振膜单元；所述衬底为长方体(11)或者由两个结构相同的衬底(41)、衬底(42)组成的衬底；所述衬底(41)、衬底(42)均为两底面上有两边相等的三棱柱体，两个三棱柱中与其它两侧面面积不相等的侧面相距至少几百微米且呈对称布置；所述绝缘支撑层采用底面为八边形的立体结构(2)和底面为六边形的立体结构(5)两种；所述压电振膜单元中设置两个结构相同且为等腰三角形的立体薄层的第一压电振膜(31)、第二压电振膜(32)；两个压电振膜结构距等腰三角形底边高度小于等于二分之一高的部分，分别置于绝缘支撑层的两侧，其余部分的压电振膜悬浮设置。2.根据权利要求1所述的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，其特征在于，所述衬底(41)、衬底(42)均为圆柱体或圆台体。3.根据权利要求1所述的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，其特征在于，所述底面为八边形的立体结构(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩根全，姚丹阳，刘艳，蒋智，
申请(专利权)人：西安电子科技大学杭州研究院，
类型：发明
国别省市：