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本发明公开一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风,包括置于衬底上表面的绝缘支撑层、分别置于绝缘支撑层两侧的第一、第二压电振膜。衬底采用长方体或者相距一定距离且两底面上有两边相等的三棱柱体形状相同的立体结构。所述两个结构相同的衬底均...该专利属于西安电子科技大学杭州研究院所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学杭州研究院授权不得商用。
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本发明公开一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风,包括置于衬底上表面的绝缘支撑层、分别置于绝缘支撑层两侧的第一、第二压电振膜。衬底采用长方体或者相距一定距离且两底面上有两边相等的三棱柱体形状相同的立体结构。所述两个结构相同的衬底均...