一种旋涡机构及复合分子泵制造技术

本发明专利技术涉及分子泵技术领域，具体涉及一种旋涡机构及复合分子泵，旋涡机构包括旋涡转子和旋涡定子，旋涡转子适于与驱动轴连接，旋涡定子适于与壳体本体连接，旋涡定子和旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道，在旋涡转子和旋涡定子的二者之一上设置有若干叠层设置的旋涡叶片，在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上相对旋涡叶片设置有导流槽，导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置。由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置，可以实现在夹角部位对介质进行急速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时使气体流动过程中不会发生气体回流的情况，提高抽真空效率和真空度。真空度。真空度。

【技术实现步骤摘要】
一种旋涡机构及复合分子泵


[0001]本专利技术涉及分子泵
，具体涉及一种旋涡机构及复合分子泵。

技术介绍

[0002]分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。半导体的各种生产工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，因此对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。在半导体生产制造工艺中，分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。
[0003]在现有的复合分子泵中，通过转动件将气体分子输入，再通过固定件来阻止气体分子的返流，如此将气体分子进行层层压缩，达到抽气效果，但在气体分子输送过程中由于压缩比有限，在气体压缩输送过程中容易沿气体流道返流至进气口，导致抽真空效率低和抽真空度差。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中气体分子输送过程中由于压缩比有限，在气体压缩输送过程中容易沿气体流道返流至进气口，导致抽真空效率低和抽真空度差的缺陷。
[0005]本专利技术提供了一种旋涡机构，包括：
[0006]旋涡转子和旋涡定子；所述旋涡转子适于与驱动轴连接，所述旋涡定子适于与壳体本体连接，所述旋涡定子和所述旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道；
[0007]若干叠层设置的旋涡叶片，设置在所述旋涡转子和所述旋涡定子的二者之一上；
[0008]导流槽，相对所述旋涡叶片设置在所述旋涡转子和所述旋涡定子二者中的另一个上，所述导流槽的延伸方向与所述旋涡叶片所在平面呈夹角设置。
[0009]可选地，上述旋涡机构，所述导流槽的延伸方向与所述旋涡叶片所在平面呈垂直设置。
[0010]可选地，上述旋涡机构，还包括若干安装槽，相对所述旋涡叶片设置在所述旋涡转子和所述旋涡定子二者中的另一个上，所述安装槽适于所述旋涡叶片的安装；
[0011]相邻的所述安装槽通过连接部连接，所述导流槽成型在所述连接部上。
[0012]可选地，上述旋涡机构，还包括引流槽，所述引流槽成型在所述安装槽的侧壁面上，所述引流槽与所述导流槽连通，所述引流槽与所述导流槽共同构成所述旋涡流道。
[0013]可选地，上述旋涡机构，还包括引流叶片，相对所述旋涡叶片设置在靠近所述旋涡流道的入口侧，所述引流叶片安装在所述安装槽内，所述引流叶片的顶面与所述安装槽的槽底之间留有引流间隙。
[0014]本专利技术还提供了一种复合分子泵，包括：
[0015]壳体本体，具有安装空腔，所述壳体本体还具有与所述安装空腔连通的进气口与
出气口；
[0016]驱动机构，所述驱动机构的驱动轴穿设在所述安装空腔内；
[0017]以及上述任一项所述的旋涡机构。
[0018]可选地，上述复合分子泵，还包括：
[0019]涡轮机构，靠近所述进气口一侧设置，所述涡轮机构包括涡轮转子和涡轮定子；所述涡轮机构的涡轮转子与所述驱动轴连接，所述涡轮机构的涡轮定子与所述壳体本体连接，所述涡轮定子和所述涡轮转子围合为适于介质流通的涡流流道；
[0020]牵引机构，所述牵引机构包括牵引转子和牵引定子；所述牵引机构的牵引转子与所述驱动轴连接，所述牵引机构的牵引定子与所述壳体本体连接，所述牵引定子和所述牵引转子围合为适于所述介质流通的牵引流道，所述牵引流道与所述涡流流道连通；所述牵引流道与所述旋涡流道连通。
[0021]可选地，上述复合分子泵，在所述涡流流道、所述牵引流道和所述旋涡流道中，三者中的至少一个与所述驱动轴同轴设置；或在所述涡流流道、所述牵引流道和所述旋涡流道中，三者中的所有所述流道与所述驱动轴同轴设置。
[0022]可选地，上述复合分子泵，在沿所述驱动轴的径向方向上，所述旋涡流道设置在所述牵引流道内。
[0023]可选地，上述复合分子泵，所述牵引转子与所述旋涡定子之间设有适于所述介质流通的第一连接通道，所述第一连接通道连通所述牵引流道和所述旋涡流道。
[0024]可选地，上述复合分子泵，所述壳体本体上还设有第二连接通道，所述第二连接通道的两端连通所述旋涡流道和所述出气口。
[0025]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0026]1.本专利技术提供的旋涡机构，包括旋涡转子和旋涡定子，旋涡转子适于与驱动轴连接，旋涡定子适于与壳体本体连接，旋涡定子和旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道，在旋涡转子和旋涡定子的二者之一上设置有若干叠层设置的旋涡叶片，在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上相对旋涡叶片设置有导流槽，导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置。
[0027]此结构的旋涡机构，介质在旋涡流道中，由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置，可以实现在夹角部位对介质进行急速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时使介质流动过程中不会发生回流的情况，提高抽真空效率和真空度。
[0028]2.本专利技术提供的旋涡机构，导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈垂直设置。
[0029]此结构的旋涡机构，气体在旋涡流道中，由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈垂直设置可以实现在垂直部位最大限度对气流进行高速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时导流槽与旋涡叶片垂直设置可使气体分子在反射过程中减少气体分子发生反弹回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。
[0030]3.本专利技术提供的旋涡机构，还包括若干相对旋涡叶片设置在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上的安装槽，适于旋涡叶片的安装，相邻的安装槽通过连接部连接，在连接部上成型有导流槽。
[0031]此结构的旋涡机构，安装槽可将叠层设置的旋涡叶片逐层分开，当旋涡转子转动时各层之间的气体可通过导流槽流动至下一层导流槽中，减少气体发生回流的情况，从而
提高抽真空效率和真空度。
[0032]4.本专利技术提供的旋涡机构，还包括成型在安装槽侧壁面上的引流槽，引流槽与导流槽连通共同构成旋涡流道。
[0033]此结构的旋涡机构，引流槽可对在安装槽中流动的气体进行导向，便于气体沿着引流槽的方向流入导流槽中，减少气体发生回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。
[0034]5.本专利技术提供的旋涡机构，还包括相对旋涡叶片设置在靠近旋涡流道的入口侧的引流叶片，引流叶片安装在安装槽内，引流叶片的顶面与安装槽的槽底之间留有引流间隙。
[0035]此结构的旋涡机构，引流叶片的顶面与安装槽的槽底之间的引流间隙可将更多的气体通过引流叶片引流至导流槽中，增加了引流气体的流量，从而提高了抽真空的效率和真空度。
[0036]6.本专利技术提供的复合分子泵，包括壳体本体、驱动机构和旋涡机构，壳体本体具有安装空腔及与安装空腔连通的进气口与出气口，驱动机构的驱动轴穿设在安装空腔内。
[0037]此结构的复合分子泵，通过旋涡机构可将气流进行高速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时可使气体分子在反射过程中减少气体分子发生反弹回流的情况，无需连接机械泵作为前级本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋涡机构，其特征在于，包括：旋涡转子(11)和旋涡定子(12)；所述旋涡转子(11)适于与驱动轴(23)连接，所述旋涡定子(12)适于与壳体本体(3)连接，所述旋涡定子(12)和所述旋涡转子(11)围合为适于介质流通的旋涡流道(13)；若干叠层设置的旋涡叶片(14)，设置在所述旋涡转子(11)和所述旋涡定子(12)的二者之一上；导流槽(16)，相对所述旋涡叶片(14)设置在所述旋涡转子(11)和所述旋涡定子(12)二者中的另一个上，所述导流槽(16)的延伸方向与所述旋涡叶片(14)所在平面呈夹角设置。2.根据权利要求1所述的旋涡机构，其特征在于，所述导流槽(16)的延伸方向与所述旋涡叶片(14)所在平面呈垂直设置。3.根据权利要求1所述的旋涡机构，其特征在于，还包括若干安装槽(18)，相对所述旋涡叶片(14)设置在所述旋涡转子(11)和所述旋涡定子(12)二者中的另一个上，所述安装槽(18)适于所述旋涡叶片(14)的安装；相邻的所述安装槽(18)通过连接部连接，所述导流槽(16)成型在所述连接部上。4.根据权利要求3所述的旋涡机构，其特征在于，还包括引流槽(17)，所述引流槽(17)成型在所述安装槽(18)的侧壁面上，所述引流槽(17)与所述导流槽(16)连通，所述引流槽(17)与所述导流槽(16)共同构成所述旋涡流道(13)。5.根据权利要求3所述的旋涡机构，其特征在于，还包括引流叶片(15)，相对所述旋涡叶片(14)设置在靠近所述旋涡流道(13)的入口侧，所述引流叶片(15)安装在所述安装槽(18)内，所述引流叶片(15)的顶面与所述安装槽(18)的槽底之间留有引流间隙(19)。6.一种复合分子泵，其特征在于，包括：壳体本体(3)，具有安装空腔，所述壳体本体(3)还具有与所述安装空腔连通的进气口(4)与出气口(5)；驱动机构，所述驱动机构的驱动轴(23...

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，李兵，李赏，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：