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本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种旋涡机构及复合分子泵，旋涡机构包括旋涡转子和旋涡定子，旋涡转子适于与驱动轴连接，旋涡定子适于与壳体本体连接，旋涡定子和旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道，在旋涡转子和旋涡定子的二者之一上设置有若干叠层...
该专利属于北京中科科仪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科科仪股份有限公司授权不得商用。

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