本发明专利技术公开了一种大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置，包括转动安装于真空室口两相对侧的翻板和锁紧组件；所述翻板相对于所述真空室口具有开放状态和关闭状态，所述翻板在背向真空室口的一侧固定有承力块，所述承力块具有导向斜面；所述锁紧组件包括转轴以及固定于所述转轴的锁合臂，所述翻板在关闭状态下、所述锁合臂的端部抵压所述导向斜面，驱使所述翻板靠近所述真空室口。所述大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置的翻板在锁紧组件的作用下，能够快速、有效地密封真空室口，整体结构简单，操作方便。方便。方便。
【技术实现步骤摘要】
大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置
[0001]本专利技术涉及真空镀膜设备
，特别是涉及一种大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置。
技术介绍
[0002]真空连续镀膜生产线一般由多个不同功能的工艺腔体构成，待镀膜基板一般从一端进入，经过整个镀膜生产线完成镀膜工艺，为保证真空镀膜的正常运行，两相邻腔体之间需进行真空隔离或气氛隔离，具有方向性的翻板隔离装置是实现真空隔离或气氛隔离的核心部件。
[0003]现有真空镀膜用翻板隔离装置主要包括气缸、传动齿轮、与传动齿轮联动的翻板轴、固定于翻板轴一端的翻板，特别是对于大尺寸玻璃，因玻璃尺寸较大，玻璃镀膜时翻板长度也需要比较大，当对两相邻腔体的室口进行关闭时，气缸活动并通过齿轮将动力作用于翻板轴，从而驱动翻板向室口靠近至室口完全关闭。但这种真空镀膜用翻板隔离装置存在操作费事费力、传动效率差等问题，而且很难保持长期、可靠的关闭状态，导致真空隔离效果不佳，继而影响基板的镀膜质量。
技术实现思路
[0004]本专利技术旨在解决上述问题，提供了一种结构简单、便于控制的大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置，特别是对于翻板长度较长的大尺寸玻璃镀膜，应用于两相邻工艺腔室之间，可实现室口的长效密封。
[0005]本专利技术中，大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置包括转动安装于真空室口两相对侧的翻板和锁紧组件；所述翻板相对于所述真空室口具有开放状态和关闭状态，所述翻板在背向真空室口的一侧固定有承力块，所述承力块具有导向斜面；所述锁紧组件包括转轴以及固定于所述转轴的锁合臂，所述翻板在关闭状态下、所述锁合臂的端部抵压所述导向斜面，驱使所述翻板靠近所述真空室口。
[0006]以下还提供了若干可选方式，但并不作为对上述总体方案的额外限定，仅仅是进一步的增补或优选，在没有技术或逻辑矛盾的前提下，各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合，还可以是多个可选方式之间进行组合。
[0007]可选的，所述锁合臂一端为固定于转轴的连接端，另一端为与所述导向斜面相配合的工作端，所述工作端具有弧形的外周面。
[0008]可选的，所述工作端设有与所述导向斜面相配合的滚轮。
[0009]可选的，所述连接端设有容置所述转轴的轴孔，所述轴孔的周缘开设带有间隙带，该间隙带的两侧形成相互配合箍筋所述转轴的夹持部，两夹持部之间设有调节螺杆。
[0010]可选的，所述间隙带的位置背向所述工作端。
[0011]可选的，所述翻板与所述锁合臂的转轴轴线相互平行，且分布处在所述真空室口横向的两侧，所述锁合臂沿所述转轴间隔排布有多个，所述承力块的数量和位置相应匹配。
[0012]可选的，所述锁合臂具有与所述导向斜面相配合的工作位置以及与所述导向斜面相分离的初始位置，所述锁合臂在工作位置与初始位置之间切换过程中始终位于靠近所述真空室口的一侧。
[0013]可选的，沿所述真空室口横向，所述初始位置位于所述工作位置的外侧。
[0014]可选的，真空室在邻近所述真空室口的部位由自上而下依次固定有多个支撑座，所述转轴依次穿设于各个支撑座。
[0015]可选的，所述转轴的一端连接有动力装置。
[0016]与现有技术相比，本专利技术提供的大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置通过设置的锁紧组件能够实现对翻板的有效锁紧，实现真空室口的封闭，达到良好的真空隔离效果，该结构简单，且易于控制。
附图说明
[0017]图1为大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置的结构示意图；
[0018]图2为图1的局部结构图；
[0019]图3为图2中局部放大图；
[0020]图4为大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置的工作示意图。
[0021]图中附图标记说明如下：
[0022]100、壳体；110、真空室口；
[0023]200、翻板；210、承力块；211、导向斜面；220、转轴；230、动力装置；
[0024]300、锁紧组件；310、转轴；320、锁合臂；321、连接端；3211、轴孔；3212、间隙带；3213、调节螺杆；322、工作端；3221、滚轮；330、动力装置；400、支撑座。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0026]需要说明的是，当组件被称为与另一个组件“连接”时，它可以直接与另一个组件连接或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
[0027]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是在于限制本专利技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0028]参见图1，大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置通常具有一壳体100，壳体100的一侧壁开设一真空室口110，真空室口110的至少一侧与一工艺腔室连通。为了实现工艺腔室的真空隔离，大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置包括转动安装于真空室口110两相对侧的翻板200和锁紧组件300；其中翻板200在背向真空室口110的一侧固定有承力块210，承力块210具有导向斜面211；锁紧组件300包括转轴310以及固定于转轴的锁合臂320，翻板200
相对于真空室口110具有开放状态和关闭状态，当翻板200处在关闭状态时，锁合臂320的端部抵压导向斜面211，驱使翻板200靠近真空室口110，如图2所示，拆卸壳体100的部分结构后能够观察到锁合组件与翻板200的配合情况，具体参见图3。而当解除锁合臂320对翻板200的抵压时，翻板200可进入开放状态，即打开真空室口110。
[0029]其中，翻板200的转动安装可通过转轴220与动力装置230实现连接，动力装置可采用伺服电机，与传统气缸驱动和齿轮传动相比，本方法更加省力，通过伺服电机能够更加更好地控制翻板200的转动。
[0030]锁合组件中转轴310的一端与锁合臂320固定，另一端通常用于连接驱使转轴310转动的动力装置330，动力装置330可采用伺服电机，以提升锁合臂320的转动效率。锁合臂320与转轴固定的一端为连接端321，另一端则为工作端322，工作端322具有弧形的外周面，以便于翻板200的导向斜面211相配合。
[0031]为了实现转轴与连接端321的固定，一实施例中，连接端321设有容置转轴的轴孔3211，轴孔3211的周缘开设带有间隙带3212，该间隙带3212的两侧形成相互配合箍筋转轴的夹持部，两夹持部之间设有调节螺杆3213，用于调节间隙带3212的大小，从而箍筋转轴。上述间隙带本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置，其特征在于，包括转动安装于真空室口两相对侧的翻板和锁紧组件；所述翻板相对于所述真空室口具有开放状态和关闭状态，所述翻板在背向真空室口的一侧固定有承力块，所述承力块具有导向斜面；所述锁紧组件包括转轴以及固定于所述转轴的锁合臂，所述翻板在关闭状态下、所述锁合臂的端部抵压所述导向斜面，驱使所述翻板靠近所述真空室口。2.根据权利要求1所述的大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置，其特征在于，所述锁合臂一端为固定于转轴的连接端，另一端为与所述导向斜面相配合的工作端，所述工作端具有弧形的外周面。3.根据权利要求2所述的大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置，其特征在于，所述工作端设有与所述导向斜面相配合的滚轮。4.根据权利要求2所述的大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔离装置，其特征在于，所述连接端设有容置所述转轴的轴孔，所述轴孔的周缘开设带有间隙带，该间隙带的两侧形成相互配合箍筋所述转轴的夹持部，两夹持部之间设有调节螺杆。5.根据权利要求4所述的大尺寸玻璃真空镀膜用翻板隔...
【专利技术属性】
技术研发人员：何涛，朱磊，张继凡，张石亮，
申请(专利权)人：安徽立光电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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