一种蓝宝石衬底研磨废液的回收再利用方法技术

技术编号:33128501 阅读:69 留言:0更新日期:2022-04-17 00:41
蓝宝石研磨废液含有大量碳化硼、碳化硅、有机溶剂和酸碱溶剂,经过回收再利用后可产生显著的经济效益和环保效益。因此,本发明专利技术提供了一种蓝宝石衬底研磨废液的回收再利用方法,包含收集、输送、筛分、送料、离心分级、负压上料、废物收集和废物处置等共八个关键步骤,以解决现有技术中研磨废液的回收再利用成本较高、需要耗费新的资源、会产生新的污染物且不适用于制造企业批量生产蓝宝石衬底的需求等技术问题,研磨废液可回收再利用比例不低于45%,固体废物收集和处置量可达到100%。固体废物收集和处置量可达到100%。固体废物收集和处置量可达到100%。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石衬底研磨废液的回收再利用方法


[0001]本申请涉及一种蓝宝石衬底加工废液的回收再利用技术,特别涉及蓝宝石研磨废液的回收再利用方法。

技术介绍

[0002]蓝宝石俗称刚玉,具有较广泛的应用领域,比如因其具备耐磨、耐高温和耐腐蚀性能而被用于制备器械如轴承、高级陶瓷等,因其莫氏硬度高达9(金刚石的莫氏硬度为10)而被美国苹果公司用于手机面板、摄像镜头和功能键上,因其光线穿透带范围可从近紫外区到中红外区而被广泛应用于光学元件、医疗器械、红外光学窗口和整流罩等方面,因其价格低于碳化硅衬底且与氮化镓发光材料的晶格匹配度较高而被广泛用作LED芯片衬底材料。LED芯片因具有高效率、长寿命和驱动电路简单等特点而被广泛用作新一代光源,应用场景涉及景观、装饰、照明光源等众多领域。
[0003]但是,蓝宝石晶体又因硬度高、加工成本高且需要配套先进的工艺技术、专用设备和辅助耗材等而限制了其在各个领域的应用量。特别是蓝宝石衬底的制备通常需要对蓝宝石晶棒进行线切割,线切割过程中包含有晶棒切割、晶片研磨和晶片抛光等工序,为了使这些工序得以顺利进行并减少本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底研磨废液的回收再利用方法,其特征在于,包含如下步骤:(1)收集:研磨废液流入收集沉淀装置中进行自然沉淀,得到混合物Ⅰ;(2)输送:混合物Ⅰ通过螺旋送料装置流入筛分清洗罐中。所述螺旋送料装置配套安装有螺旋桨,所述螺旋桨长度为5米~100米、可拆解或组装。(3)筛分:混合物Ⅰ流入筛分清洗罐进行初步筛分,实现固液分离,分离出液态混合物Ⅱ和大颗粒固废,液态混合物Ⅱ流入送料装置;(4)送料:液态混合物Ⅱ流入送料装置后被匀速送入离心分级装置;(5)离心分级:液态混合物Ⅱ在步骤(4)所述的离心分级装置内被分级为直径≤80um的混合物Ⅲ和直径超过80um的混合物Ⅳ;(6)负压上料:混合物Ⅲ被负压上料装置定量送入研磨新液配制罐;(7)废物收集:步骤(2)中分离产生的大颗粒固废和步骤(5)中的混合物Ⅳ被高压气动隔膜泵打入压滤机内脱水、压实,形成废物混合物;(8)废物处置:步骤(7)形成的废物混合物被板框压滤机进行接液、翻板、输出和打包。2.如权利要求1所述的一种蓝宝石衬底研磨废液的回收再利用方法,其特征在于:步骤(1)到步骤(8)所用设备路线是:收集沉淀装置

输送装置

筛分清洗罐

送料装置

离心分级装置

负压上料装置

高压气动隔膜泵

板框压滤机。3.如权利要求1或2所述的一种蓝宝石衬底研磨废液的回收再利用方法,其特征在于:所述收集沉淀装置整体为锥桶状,上部开口、中部圆柱、底部为倒圆锥并在锥角位置设有电动阀门,上部开口用于对接每套研磨设备的研磨废液流出口,中部圆柱用于持续、大量收集研磨废液,底部倒圆锥用于废液利用自身重力自然沉淀、流出。4.如权利要求2所述的一种蓝宝石衬底研磨废液的回收再利用方法,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐建明朱泾伟常慧滕斌李学东王子学马树锋
申请(专利权)人:天通银厦新材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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