本发明专利技术公开了适用于叠放晶圆的高效上料传动装置，包括料盒底板，所述料盒底板顶部的两侧设置有圆形料盒，所述料盒底板顶部的背面一端设置有安装板，所述安装板正面一端的顶部设置有导轨，所述导轨的外侧滑动设置有真空取料组件，所述真空取料组件的底部设置有连接轴，所述连接轴的外侧套设有调节组件，所述连接轴的底部设置有真空吸头安装盘。本发明专利技术通过对料盒底板上固定两组圆形料盒比之前的晶圆盒的容量增加八倍，可以存放更多的晶圆，减少人工进行不断的更换料盒，降低劳动强度，且通过真空取料组件各部件的之间的配合，可以对连接臂进行水平和竖直方向的往复移动，可以实现真空吸头对晶圆的转移和上料，输送至工作的位置处。置处。置处。
【技术实现步骤摘要】
适用于叠放晶圆的高效上料传动装置
[0001]本专利技术涉及半导体分立器件GPP芯片的电参数测试及分类
，具体为适用于叠放晶圆的高效上料传动装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，因为上料端会频繁上下料，在设备布局满足生产工艺的前提下，设备的上料端和工作区域之间会有一定的距离，需要一种设备来运输物料。在PSS工艺中，针对晶圆的上下料，就需要运用到上料装置来运输晶圆。
[0003]当前的上料传动装置存在一定不足：1、上料传动装置上放置晶圆的料盒容量小，每个料盒只能放置18片晶圆，晶圆数量较少，操作工人需要经常更换料盒，频繁的更换料盒，需要操作人员不断的工作，增加操作工人的劳动强度，不仅耽误后续的晶圆上料，还降低上料装置的效率；2、同时在对晶圆吸附转移的时候，真空吸头的内部会吸附一些大量的灰尘，时间久会导致真空吸头的吸力降低，导致晶圆在快速的转移的过程中容易出现滑落的情况，造成晶圆的损坏碎裂；3、同时该上料传动装置，由于真空吸头的位置较为固定，导致装置在对类似的可以叠放的物料或较小的晶圆吸附上料时，较为局限，不能够对不同大小的晶圆进行上料。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供适用于叠放晶圆的高效上料传动装置，以解决上述
技术介绍
中提出的晶圆盒容量小，上料时需要人工进行上料；同时真空吸头长时间的使用，吸力下降，不便于更换；同时不便于调节各个真空吸头的位置，不利于吸附不同的物料或晶圆相关问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：适用于叠放晶圆的高效上料传动装置，包括料盒底板，所述料盒底板顶部的两侧设置有圆形料盒，所述料盒底板顶部的背面一端设置有安装板，所述安装板正面一端的顶部设置有导轨，所述导轨的外侧滑动设置有真空取料组件，所述真空取料组件的底部设置有连接轴，所述连接轴的外侧套设有调节组件，所述连接轴的底部设置有真空吸头安装盘，所述真空吸头安装盘的外侧均匀设置有三组安装槽，三组所述安装槽的内部滑动设置有真空吸头，所述安装板顶部的两侧分别设置有第二伺服电机和第二从动带轮，所述第二伺服电机的输出端设置有第二主动带轮，所述第二主动带轮和第二从动带轮的外侧套设有第一同步齿形带。
[0006]优选的，所述调节组件包括转盘、第一铰接杆、通槽、铰接块、弹簧、限位杆、L型杆、弧形夹板、限位通孔和第二铰接杆，所述转盘外侧与连接轴的外侧，所述转盘顶部的边缘处均匀铰接有三组第一铰接杆，所述第一铰接杆顶部的一侧设置有通槽，所述通槽的内部滑
动设置有铰接块，所述铰接块的背面一端设置有弹簧，所述铰接块顶部的两侧铰接有第二铰接杆，所述第一铰接杆内部的一端设置有限位通孔，所述限位通孔的内部滑动设置有两组限位杆，两组所述限位杆相互远离的一侧设置有L型杆，两组所述L型杆相互靠近的一侧设置有弧形夹板。
[0007]优选的，所述真空取料组件包括滑套、匚型板、螺纹杆、同步带夹板、第一从动带轮、第二同步齿形带、第一主动带轮、第一伺服电机和连接臂，所述滑套位于导轨的外侧，所述滑套的正面一端设置有匚型板，所述匚型板内部的顶部设置有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧套设有连接臂，所述匚型板背面一端的顶部设置有同步带夹板，所述匚型板一侧的顶部设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端设置有第一主动带轮，所述匚型板的顶部设置有第一从动带轮，所述第一从动带轮和第一主动带轮的外侧套设有第二同步齿形带。
[0008]优选的，所述转盘顶部的中间位置处设置有通孔，且通孔的内侧设置有橡胶圈。
[0009]优选的，所述通槽内部的两侧设置有限位滑槽，所述铰接块的两侧设置有限位滑块，且限位滑块位于限位滑槽的内部滑动。
[0010]优选的，所述同步带夹板由同步带上夹板和同步带下夹板螺栓连接而成，且同步带上夹板底部设置有与第一同步齿形带适配的齿牙。
[0011]优选的，所述导轨的横截面呈梯形，所述滑套的横截面呈C型。
[0012]优选的，所述限位杆的一侧设置有挡块。
[0013]优选的，所述连接臂的背面一端设置有螺纹套块，且螺纹套块与螺纹杆螺纹连接。
[0014]与现有技术相比，本专利技术提供了适用于叠放晶圆的高效上料传动装置，具备以下有益效果：1、本专利技术通过对料盒底板上固定两组圆形料盒比之前的晶圆盒的容量增加八倍，可以存放更多的晶圆，减少人工进行不断的更换料盒，降低劳动强度，且通过真空取料组件各部件的之间的配合，可以对连接臂进行水平和竖直方向的往复移动，可以实现真空吸头对晶圆的转移和上料，输送至工作的位置处。
[0015]2、本专利技术利用铰接块在通槽的内部推动带动两组第二铰接杆进行铰接旋转，带动两组L型杆可以在水平方向进行相互远离和靠近，从而可以解除对真空吸头的固定和限位，此时便可以将真空吸头在安装槽的内部滑动，将真空吸头进行取下进行更换或者清洁不仅可以防止真空吸头内部灰尘过多造成的吸力不足，还可以减少晶圆掉落的危险。
[0016]3、本专利技术通过转盘在连接轴的外侧进行旋转带动三组第一铰接杆进行移动，从而第一铰接杆通过限位杆带动L型杆以及弧形夹板进行移动，从而拉动真空吸头在安装槽的内部进行滑动，使得真空吸头之间的间距根据具体的物体直径进行调节，可以使得该装置可以运用在类似可以叠放晶圆的其他全自动设备上，增加设备的工作效率，降低劳动成本。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的主视图；图2为本专利技术的侧视图；图3为本专利技术的传动装置立体图；图4为本专利技术的同步带夹板示意图；
图5为本专利技术的真空吸头安装盘俯视图；图6为本专利技术的调节组件俯视图。
[0018]图中：1、料盒底板；2、调节组件；201、转盘；202、第一铰接杆；203、通槽；204、铰接块；205、弹簧；206、限位杆；207、L型杆；208、弧形夹板；209、限位通孔；210、第二铰接杆；3、真空取料组件；301、滑套；302、匚型板；303、螺纹杆；304、同步带夹板；305、第一从动带轮；306、第二同步齿形带；307、第一主动带轮；308、第一伺服电机；309、连接臂；4、第二主动带轮；5、第二伺服电机；6、第一同步齿形带；7、导轨；8、第二从动带轮；9、安装板；10、圆形料盒；11、真空吸头安装盘；12、安装槽；13、真空吸头；14、连接轴。
具体实施方式
[0019]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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6，本专利技术提供技术方案：适用于叠放晶圆的高效上料传动装置，包括料盒底板1，料盒底板1顶部的两侧设置有圆形料盒10，可以放置多组晶圆，料盒底板本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.适用于叠放晶圆的高效上料传动装置，包括料盒底板（1），其特征在于：所述料盒底板（1）顶部的两侧设置有圆形料盒（10），所述料盒底板（1）顶部的背面一端设置有安装板（9），所述安装板（9）正面一端的顶部设置有导轨（7），所述导轨（7）的外侧滑动设置有真空取料组件（3），所述真空取料组件（3）的底部设置有连接轴（14），所述连接轴（14）的外侧套设有调节组件（2），所述连接轴（14）的底部设置有真空吸头安装盘（11），所述真空吸头安装盘（11）的外侧均匀设置有三组安装槽（12），三组所述安装槽（12）的内部滑动设置有真空吸头（13），所述安装板（9）顶部的两侧分别设置有第二伺服电机（5）和第二从动带轮（8），所述第二伺服电机（5）的输出端设置有第二主动带轮（4），所述第二主动带轮（4）和第二从动带轮（8）的外侧套设有第一同步齿形带（6）。2.根据权利要求1所述的适用于叠放晶圆的高效上料传动装置，其特征在于：所述调节组件（2）包括转盘（201）、第一铰接杆（202）、通槽（203）、铰接块（204）、弹簧（205）、限位杆（206）、L型杆（207）、弧形夹板（208）、限位通孔（209）和第二铰接杆（210），所述转盘（201）外侧与连接轴（14）的外侧，所述转盘（201）顶部的边缘处均匀铰接有三组第一铰接杆（202），所述第一铰接杆（202）顶部的一侧设置有通槽（203），所述通槽（203）的内部滑动设置有铰接块（204），所述铰接块（204）的背面一端设置有弹簧（205），所述铰接块（204）顶部的两侧铰接有第二铰接杆（210），所述第一铰接杆（202）内部的一端设置有限位通孔（209），所述限位通孔（209）的内部滑动设置有两组限位杆（206），两组所述限位杆（206）相互远离的一侧设置有L型杆（207），两组所述L型杆（207）相互靠近的一侧设置有弧形夹板（208）。3.根据权利要求1所述的适用于叠放晶圆的高效上料传动装置，其特征在于：所述真空取...
【专利技术属性】
技术研发人员：段成龙，
申请(专利权)人：三河建华高科有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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