半导体Mach-Zehnder光调制器及IQ调制器制造技术

一种半导体Mach

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体Mach
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Zehnder光调制器及IQ调制器


[0001]本专利技术涉及一种用电信号调制光信号的半导体Mach
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Zehnder光调制器、以及一种使用该半导体Mach
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Zehnder光调制器的IQ调制器。

技术介绍

[0002]为了满足日益增长的通信业务需求，需要适用于高级光调制方法的高速光调制器。特别是，通过使用数字相干技术的高阶光调制器在实现具有超过100Gbps的大容量收发器中发挥了重要作用。在这些高阶光调制器中，并联和多级地包括了能够进行零啁啾驱动的MZ(Mach
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Zehnder)干涉光调制器，以将独立信号分别添加到光的幅度和相位。
[0003]最近的挑战是减小光发射器模块的尺寸和降低驱动电压，并且正在积极地推进能够降低驱动电压的紧凑的半导体MZ调制器的研究和开发。此外，在半导体MZ调制器的研究和开发中，正在加速向适应诸如64GBaud或100GBaud之类的更高波特率的移动，并且需要调制器适应更宽的频带。
[0004]同时，不仅旨在单独本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体Mach
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Zehnder光调制器，包括：光波导，形成在半绝缘半导体衬底上；输入侧引出线，形成在所述衬底上的至少一层的介电层上，调制信号被输入到所述输入侧引出线的一端；相位调制电极线，沿所述光波导形成在所述介电层上，并且具有与所述输入侧引出线的另一端连接的一端；电极，向所述光波导施加通过所述相位调制电极线传播的调制信号；导电层，形成在所述衬底与所述光波导之间；多个第一布线层，在所述光波导的延伸方向上断续地形成以与所述光波导交叉，并且连接到所述导电层；以及第二布线层，形成为将用于向所述导电层施加电压的电极焊盘与所述多个第一布线层相连接。2.根据权利要求1所述的半导体Mach
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Zehnder光调制器，其中，所述第一布线层由n型半导体层、金属以及在n型半导体层上形成金属的结构中的任一种制成，以及所述第二布线层由金属制成。3.根据权利要求1或2所述的半导体Mach
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Zehnder光调制器，其中，所述第一布线层和所述第二布线层形成为到所述衬底分别比到所述输入侧引出线和所述相位调制电极线靠近。4.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体Mach
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Zehnder光调制器，其中，多个电极在所述光波导的延伸方向上周期性地设置，以及所述多个第一布线层中的在所述相位调制电极线的区域中形成的第一布线层布置在所述光波导的延伸方向上彼此相邻的两个电极之间的中心位置处。5.根据权利要求1至4中任一项所述的半导体Mach
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Zehnder光调制器，还包括：输出侧引出线，形成在所述介电层上，并且具有与所述相位调制电极线的另一端连接的一端，其中，所述光波导包括：第一臂波导和第二臂波导，所述输入侧引出线包括：第一输入侧引出线，调制信号被输入到所述第一输入侧引出线的一端；以及第二输入侧引出线，形成在与所述第一输入侧引出线相邻的介电层上，与所述调制信号互补的信号被输入到所述第二输入侧引出线的一端，所述相位调制电极线包括：两个第一相位调制电极线和第二相位调制电极线，沿所述第一臂波导和所述第二臂波导形成在所述介电层上，并且具有分别与所述第一输入侧引出线和所述第二输入侧引出线的另一端连接的一端，所述输出侧引出线包括：两个第一输出侧引出线和第二输出侧引出线，具有分别与所述第一相位调制电极线和所述第二相位调制电极线的另一端连接的一端，以及所述电极包括：两个第一电极和第二电极，将通过所述第一相位调制电极线和所述第二相位调制...

【专利技术属性】
技术研发人员：尾崎常祐，小木曾义弘，桥詰泰彰，
申请(专利权)人：日本电信电话株式会社，
类型：发明
国别省市：