一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手制造技术

一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手，真空镀膜机内设有相邻的过渡舱及镀膜工艺舱，两者之间设有插板阀分隔；镀膜工艺舱内设有工艺转架，其为一个竖立的多边形柱体壳，固定在工艺转架垂直回转轴上，柱体壳侧面的每一面上设有可钩挂工件挂板的挂钩；过渡舱内设有储备工件挂板梅花转架，其固定在梅花转架垂直回转轴上，梅花转架上设有竖立的工件挂板固定架，工件挂板固定架上可钩挂工件挂板，工件贴在工件挂板外侧；固定架拉出机构，用于将工件挂板固定架沿滑轨拉出梅花转架外；移动传送工件挂板机械手，用于将工件挂板在过渡舱和工艺舱之间来回移动传送。本机械手结构简化、造价降低、使用方便、故障率低。故障率低。故障率低。

【技术实现步骤摘要】
一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手


[0001]本技术涉及一种机械手，具体是涉及一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。要提高产能和效率，使得设备设计越来越大，装载量越来越多，单只工件挂具也越大、越重；要提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是在各炉次镀膜和装卸工件都在真空中进行而不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。
[0003]因此，近年来真空镀膜设备的发展一方面是大型化，另一方面是多舱化。多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与送料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从送料舱送入镀膜舱，镀膜工艺完成后，在真空状态把工件移出到出料舱。一方面设备大型化，装挂工件的挂具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手，其特征是包括：垂直回转及水平移动机构，其含：在水平的固定底板(27)的底面和支撑板的顶面上，设有固定底板直线导轨滑块机构以及固定底板丝杆螺母驱动直线运动机构，使得固定底板与支撑板可相对来回移动，支撑板底面又固定在一带驱动机构的垂直回转及水平移动机构垂直回转轴(7)上，使得水平移动机构及其上搭载组件整体可垂直回转；移动支架组件，其含：一支承架(19)，固定竖立在所述固定底板(27)上，支承架(19)为桁架式结构，其前立面有竖立的前安装板(19
‑
1)，前安装板中部安装有中心板组件，其包括：竖立且前后平行的矩形的中心板前立板(24)和中心板后立板(24
‑
1)之间以横板(24
‑
2)固连，中心板前立板和中心板后立板分别位于前安装板的前、后方，中心板前立板的前面竖中线的上下各设有一垂直凸出的导向柱(25)，中心板后立板的前面和前安装板的后面上，设有水平的后立板直线导轨滑块机构以及气缸驱动直线运动机构，使得中心板后立板和与其固连的前立板一起相对于前安装板可相对左右移动；上下移动板机构，其含：位于同一平面内、上下竖立安装的上移动板(15)和下移动板(18)，上移动板的上端部设有前伸的上爪块锁板(14)，其前端固定着向下的上爪块(13)；对应地，下移动板的下端部设有前伸的下爪块锁板(17)，其前端固定着向上的下爪块(16)；上移动板的下...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，陈思，李运俊，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：