下载一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手的技术资料

文档序号:33061981

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一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手,真空镀膜机内设有相邻的过渡舱及镀膜工艺舱,两者之间设有插板阀分隔;镀膜工艺舱内设有工艺转架,其为一个竖立的多边形柱体壳,固定在工艺转架垂直回转轴上,柱体壳侧面的每一面上设有可钩挂工件挂板的挂钩...
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