清洗药剂自动补加装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了清洗药剂自动补加装置，属于单晶硅片清洗技术领域，包括配药箱、第一总管、第二总管、计量箱、控制系统和若干个药剂注入管，第一总管和第二总管分别与配药箱连接，计量箱与配药箱连接，药剂注入管一端与计量箱连接、另一端与清洗槽连接，本实用性能够有效的控制单晶硅片清洗过程中药剂的添加，保证添加量和添加的时间节点符合要求，减少因提前和推迟添加药剂，多加或少加药剂带来的质量问题，提高了工作效率，减少了药剂损耗，保证生产质量。产质量。产质量。

【技术实现步骤摘要】
清洗药剂自动补加装置


[0001]本技术属于单晶硅片清洗
，涉及清洗药剂自动补加装置。

技术介绍

[0002]药剂添加目前仍为人工手动添加，随着单晶清洗工艺窗口的不断缩窄，对于补加药剂添加的准确性要求十分严苛，添加量和添加时间节点均是清洗质量的关键点，当前药剂添加方式存在如下异常：多加/提前加容易出现蓝片，蓝片指过度腐蚀的硅片；少加/推迟加容易出现硅粉脏污。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供清洗药剂自动补加装置，该清洗药剂自动补加装置为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：清洗药剂自动补加装置，包括配药箱、第一总管、第二总管、计量箱、控制系统和若干个药剂注入管，所述第一总管和第二总管分别与配药箱连接，所述计量箱与配药箱连接，所述药剂注入管一端与计量箱连接、另一端与清洗槽连接，
[0004]所述控制系统包括中控机、液位传感器、计量泵、总阀和计数器，所述液位传感器设置在计量箱上，所述第一总管和第二总管的另一端分别与药箱连接，所述第一总管和第二总管与药箱连接的管路上设置计量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.清洗药剂自动补加装置，其特征在于：包括配药箱(1)、第一总管(2)、第二总管(3)、计量箱(4)、控制系统(5)和若干个药剂注入管(6)，所述第一总管(2)和第二总管(3)分别与配药箱(1)连接，所述计量箱(4)与配药箱(1)连接，所述药剂注入管(6)一端与计量箱(4)连接、另一端与清洗槽(7)连接，所述控制系统(5)包括中控机(501)、液位传感器(502)、计量泵(503)、总阀(504)和计数器(505)，所述液位传感器(502)设置在计量箱(4)上，所述第一总管(2)和第二总管(3)的另一端分别与药箱连接，所述第一总管(2)和第二总管(3)与药箱连接的管路上设置计量泵(503)和总阀(...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨超，王艺澄，吴纪清，
申请(专利权)人：江苏美科太阳能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：