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本实用新型公开了清洗药剂自动补加装置,属于单晶硅片清洗技术领域,包括配药箱、第一总管、第二总管、计量箱、控制系统和若干个药剂注入管,第一总管和第二总管分别与配药箱连接,计量箱与配药箱连接,药剂注入管一端与计量箱连接、另一端与清洗槽连接,本实...该专利属于江苏美科太阳能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏美科太阳能科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了清洗药剂自动补加装置,属于单晶硅片清洗技术领域,包括配药箱、第一总管、第二总管、计量箱、控制系统和若干个药剂注入管,第一总管和第二总管分别与配药箱连接,计量箱与配药箱连接,药剂注入管一端与计量箱连接、另一端与清洗槽连接,本实...